M014 冷陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
上海雙旭M014冷陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
上海雙旭M014冷陰極電離規(guī)是一款專為高真空、超高真空環(huán)境設計的真空測量器件，利用冷陰極放電原理實現(xiàn)真空度的精準檢測，廣泛應用于真空鍍膜、半導體制造、真空熱處理、空間模擬等工業(yè)科研領域，具備測量范圍寬、穩(wěn)定性強、使用壽命長等特點。
核心產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)類別 |
具體參數(shù) |
| 測量范圍 |
1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa |
| 規(guī)管結構 |
冷陰極磁控放電結構，包含陰極、陽極、磁場組件 |
| 工作電壓 |
直流高壓1800V~2200V（可適配配套電源調(diào)節(jié)） |
| 工作磁場 |
內(nèi)置永久磁鐵，磁場強度≥0.15T |
| 響應時間 |
≤3s（真空度突變時的90%響應時間） |
| 規(guī)管材質 |
不銹鋼外殼，電極采用耐高溫金屬材料 |
| 連接方式 |
KF25快速法蘭（可定制其他法蘭接口） |
| 工作溫度 |
-10℃ ~ 150℃（長期工作），最高耐溫200℃（短期） |
| 絕緣電阻 |
≥1000MΩ（室溫，規(guī)管電極與外殼間） |
| 使用壽命 |
正常工作條件下≥5000小時 |
使用注意事項
安裝前準備：安裝前需確保規(guī)管及真空系統(tǒng)內(nèi)部清潔，無油污、灰塵等雜質，避免污染規(guī)管電極影響測量精度；安裝時需對法蘭接口進行真空密封處理，可采用氟橡膠密封圈，確保連接部位無泄漏。
工作環(huán)境要求：規(guī)管需在無腐蝕性氣體（如氯氣、硫化氫）、無大量有機蒸氣的環(huán)境中工作，若被測氣體存在腐蝕性，需提前加裝氣體過濾裝置，防止電極被腐蝕損壞；避免規(guī)管長期暴露在大氣環(huán)境中，防止氧化。
電源匹配：必須使用配套的冷陰極規(guī)管電源供電，禁止私自調(diào)整電源電壓，防止高壓過載損壞規(guī)管；啟動電源時，需先確認真空系統(tǒng)壓力降至1×10⁻¹ Pa以下，再開啟規(guī)管高壓，避免低真空下強放電燒毀電極。
日常維護：定期檢查規(guī)管的絕緣性能，若發(fā)現(xiàn)絕緣電阻下降，需對規(guī)管進行烘烤除氣處理（烘烤溫度≤150℃，時間2~4小時）；測量高活性氣體后，需及時用干燥氮氣沖洗規(guī)管內(nèi)部，防止殘留氣體吸附影響后續(xù)測量。
故障排查：若規(guī)管出現(xiàn)無信號、測量值異常波動等情況，需先排查電源是否正常、真空系統(tǒng)是否泄漏，再檢查規(guī)管電極是否損壞；禁止在未斷電、未卸真空的情況下拆卸規(guī)管，避免高壓電擊及系統(tǒng)污染。
存儲要求：閑置規(guī)管需存放在干燥、通風、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，溫度控制在0℃~30℃，相對濕度≤60%，并定期進行絕緣性能檢測，防止內(nèi)部受潮。
應用場景
該規(guī)管適用于高真空、超高真空工藝的實時監(jiān)測，常見應用場景包括：真空鍍膜設備的腔體真空度監(jiān)控、半導體晶圓制造的真空環(huán)境檢測、真空退火爐的真空度控制、空間模擬艙的真空環(huán)境模擬、電子顯微鏡等科研儀器的真空配套測量。 |
