ZDF-5227 全量程復合真空計（高真空/多路測量）
上海雙旭 ZDF-5227 全量程復合真空計（高真空/多路測量）介紹
產(chǎn)品概述：ZDF-5227 為上海雙旭電子有限公司推出的全量程復合式真空測量儀器，集成熱偶真空計與電離真空計功能，支持高真空及多路測量模式，適用于科研、半導體制造、真空鍍膜、分析儀器等領域，可實現(xiàn)從大氣壓至超高真空范圍的連續(xù)監(jiān)測與自動切換。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa（熱偶段 1×10⁵ ~ 1×10⁻² Pa；電離段 1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁸ Pa）
- 顯示分辨率：0.01 Pa（低真空段）；0.1%讀數(shù)（高真空段）
- 測量通道數(shù)：4路獨立測量接口，可同時接入不同真空規(guī)管并分別顯示
- 控制方式：按鍵+菜單操作，支持自動量程切換、零點校準、滿度校準
- 顯示方式：4.3寸彩色液晶屏，實時曲線顯示，支持數(shù)據(jù)存儲與USB導出
- 規(guī)管適配：兼容ZJ-52T熱偶規(guī)、ZJ-27電離規(guī)等常用規(guī)管型號
- 通訊接口：RS-485、USB、可選以太網(wǎng)，支持Modbus協(xié)議
- 電源要求：AC 220V±10%，50Hz，功率≤30W
- 工作環(huán)境：溫度 5~40℃，濕度 ≤80%RH，無強電磁干擾
- 外形尺寸：320mm(W)×240mm(H)×120mm(D)
- 重量：約4.5kg
功能特點
具備自動識別規(guī)管類型并匹配測量范圍，防止過載損壞；支持多路數(shù)據(jù)同步采集與獨立報警設定，可外接聲光報警器或繼電器控制真空系統(tǒng)閥門；內(nèi)置自診斷程序，實時檢測傳感器狀態(tài)；可在真空系統(tǒng)烘烤過程中保持監(jiān)測穩(wěn)定性，適應高溫工況。
使用注意事項
- 安裝前確認規(guī)管與儀器接口匹配，避免針腳錯位導致短路或損壞接口電路。
- 高真空電離規(guī)必須在粗抽至≤1×10⁻¹ Pa后方可通電工作，否則會加速燈絲氧化燒毀。
- 熱偶規(guī)不可用于高真空段測量，誤用將導致數(shù)據(jù)嚴重偏差且可能損壞規(guī)管。
- 多路測量時每路須單獨校準零點和滿度，確保各通道數(shù)據(jù)準確。
- 避免在高溫（＞50℃）、高濕或強腐蝕性氣體環(huán)境中長期運行，防止電路板腐蝕或液晶失效。
- 更換規(guī)管或長時間停用后需重新進行零點校準，防止漂移誤差累積。
- 禁止在真空系統(tǒng)突然破空（快速進氣至大氣壓）狀態(tài)下直接測量，應待壓力平穩(wěn)后再啟動測量。
- 清潔機殼僅可使用干燥軟布，嚴禁液體或溶劑直接接觸面板與接口。
- 若發(fā)現(xiàn)顯示異�；驘o響應，應立即斷電檢查規(guī)管連接及電源電壓，勿自行拆解內(nèi)部電路。
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