ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
產(chǎn)品概述
ZJ-52T為上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的復(fù)合型真空測(cè)量規(guī)管，集成皮拉尼（Pirani）與電阻（熱陰極電離）兩種測(cè)量原理，可在寬范圍真空度內(nèi)實(shí)現(xiàn)連續(xù)、穩(wěn)定的壓力檢測(cè)。適用于高真空及超高真空系統(tǒng)、科研實(shí)驗(yàn)裝置、半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空爐等場(chǎng)合。
產(chǎn)品參數(shù)
| 項(xiàng)目 |
參數(shù)值 |
| 型號(hào) |
ZJ-52T |
| 測(cè)量原理 |
皮拉尼 + 電阻復(fù)合式（熱陰極電離） |
| 測(cè)量范圍 |
皮拉尼段：105～10-1 Pa；電阻段：10-1～10-5 Pa |
| 工作電壓 |
加熱絲供電：AC/DC 6V±10%；電離規(guī)燈絲：DC 4.5V±5% |
| 工作電流 |
皮拉尼加熱絲：≤100mA；電離規(guī)燈絲：≤20mA |
| 預(yù)熱時(shí)間 |
皮拉尼模式：≤30s；電阻模式：≥5min（達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)） |
| 工作溫度 |
規(guī)管外殼：-25℃～+70℃；環(huán)境濕度≤85%RH（無凝露） |
| 響應(yīng)時(shí)間 |
皮拉尼段：≤2s；電阻段：≤5s（63%階躍變化） |
| 耐壓 |
≤1×105 Pa（大氣壓沖擊） |
| 接口形式 |
標(biāo)準(zhǔn)CF16法蘭（可選KF16/KF25轉(zhuǎn)接） |
| 材料 |
不銹鋼殼體、鎢絲/鉑絲傳感器元件 |
| 重量 |
約150g |
工作原理
皮拉尼段利用氣體導(dǎo)熱率隨壓力變化的特性，通過加熱絲電阻變化反映壓力；當(dāng)壓力低于10-1 Pa時(shí)自動(dòng)切換至電阻段，由熱陰極發(fā)射電子撞擊氣體分子產(chǎn)生離子流，離子流大小與壓力成正比，實(shí)現(xiàn)高真空區(qū)精確測(cè)量。兩段測(cè)量電路可自動(dòng)或手動(dòng)切換。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前檢查規(guī)管外觀無損傷，法蘭密封面清潔無劃痕，避免顆粒進(jìn)入管內(nèi)影響測(cè)量精度。
- 規(guī)管不可在大氣狀態(tài)或高壓下長(zhǎng)時(shí)間通電，防止燈絲過熱燒毀；啟動(dòng)時(shí)應(yīng)先抽低氣壓再供電。
- 電阻段需充分預(yù)熱（≥5min），否則讀數(shù)不穩(wěn)定甚至損壞燈絲；頻繁開關(guān)電源會(huì)縮短燈絲壽命。
- 避免接觸腐蝕性氣體、油蒸氣及顆粒物，污染會(huì)導(dǎo)致熱絲特性改變，需定期清洗或更換。
- 規(guī)管測(cè)量上限受皮拉尼段限制，超過105 Pa會(huì)造成傳感器永久損壞。
- 更換規(guī)管時(shí)需確保系統(tǒng)斷電并充分放氣，防止靜電或殘余電荷擊穿內(nèi)部元件。
- 規(guī)管應(yīng)垂直或按說明書規(guī)定方向安裝，避免傾斜導(dǎo)致熱絲受力不均或氣體對(duì)流異常。
- 長(zhǎng)期停用需存放于干燥環(huán)境，建議每6個(gè)月通電檢測(cè)一次功能。
應(yīng)用領(lǐng)域
高真空鍍膜機(jī)、電子束焊接設(shè)備、粒子加速器真空系統(tǒng)、質(zhì)譜儀、冷凍干燥機(jī)、真空熱處理爐、半導(dǎo)體工藝腔體、科研實(shí)驗(yàn)室真空測(cè)控系統(tǒng)。 |
