ZJ-12CF35 數(shù)字式超高真空真空計(jì)（真空表/配ZJ-12CF35電離規(guī)）
上海雙旭 ZJ-12CF35 數(shù)字式超高真空計(jì)（配ZJ-12CF35電離規(guī)）
產(chǎn)品概述
ZJ-12CF35是一款數(shù)字式超高真空測(cè)量?jī)x器，需配合ZJ-12CF35型電離規(guī)管使用。該儀器采用微處理器控制，適用于科研、半導(dǎo)體、真空鍍膜等領(lǐng)域的高真空和超高真空測(cè)量。
主要技術(shù)參數(shù)
- 測(cè)量范圍： 1.0×10-1 ~ 1.0×10-5 Pa（配合相應(yīng)規(guī)管）
- 顯示方式： 3½位LED數(shù)碼管顯示
- 控制輸出： 繼電器觸點(diǎn)輸出（通常用于自動(dòng)控制或報(bào)警）
- 模擬輸出： 0-10V DC 線性電壓信號(hào)，對(duì)應(yīng)壓強(qiáng)對(duì)數(shù)
- 供電電源： AC 220V ±10%， 50Hz
- 規(guī)管型號(hào)： 配套 ZJ-12CF35 電離規(guī)管（需單獨(dú)安裝）
- 工作環(huán)境： 溫度 0-40°C， 濕度 ≤85% RH
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管安裝： 必須正確安裝配套的ZJ-12CF35電離規(guī)管，確保連接密封可靠，防止漏氣。
- 通電順序： 必須在真空度達(dá)到約1Pa（或按說(shuō)明書要求）以下時(shí)，才能開啟電離規(guī)的高壓進(jìn)行測(cè)量，否則會(huì)燒毀規(guī)管。
- 大氣保護(hù)： 當(dāng)系統(tǒng)壓強(qiáng)高于設(shè)定閾值（如0.1Pa）時(shí)，應(yīng)確保儀器具備自動(dòng)或手動(dòng)切斷規(guī)管燈絲電源的功能，以保護(hù)規(guī)管。
- 清潔與維護(hù)： 規(guī)管和連接部位應(yīng)保持清潔，避免油脂或污染物影響測(cè)量精度或?qū)е路烹姟?/li>
- 電磁干擾： 儀器應(yīng)遠(yuǎn)離強(qiáng)電磁干擾源，信號(hào)線建議使用屏蔽線。
- 定期校準(zhǔn)： 為保證測(cè)量準(zhǔn)確性，建議定期對(duì)真空計(jì)系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)。
基本操作流程
- 將電離規(guī)管安裝到真空系統(tǒng)并確保密封。
- 接通主機(jī)電源，預(yù)熱儀器。
- 啟動(dòng)真空系統(tǒng)抽氣，待真空度優(yōu)于1Pa后（通過(guò)熱偶計(jì)等初步判斷），方可開啟電離規(guī)測(cè)量功能。
- 通過(guò)面板讀取真空度數(shù)值，或使用模擬輸出連接記錄設(shè)備。
- 測(cè)量結(jié)束后，先關(guān)閉電離規(guī)電源，再關(guān)閉主機(jī)電源和真空系統(tǒng)。
注：以上信息基于典型產(chǎn)品資料匯總，具體操作請(qǐng)務(wù)必參照隨附的官方說(shuō)明書。 |
