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上海雙旭ZDF-5210P高真空復(fù)合真空計

ZDF-5210P是上海雙旭推出的一款高精度復(fù)合真空計，集成熱偶規(guī)與電離規(guī)測量系統(tǒng)，可覆蓋從低真空到超高真空的寬量程測量需求，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理、科研實驗等領(lǐng)域。產(chǎn)品兼具高穩(wěn)定性、操作便捷性與數(shù)據(jù)可靠性，是工業(yè)生產(chǎn)及實驗室真空環(huán)境監(jiān)測的核心儀表。

核心產(chǎn)品參數(shù)

• 測量范圍：熱偶規(guī)10⁵～10⁻¹ Pa，電離規(guī)10⁻²～10⁻⁷ Pa，復(fù)合量程10⁵～10⁻⁷ Pa
• 測量精度：熱偶規(guī)≤±15%，電離規(guī)≤±10%
• 規(guī)管配置：標(biāo)配ZJ-52T熱偶規(guī)管、ZJ-27電離規(guī)管，支持規(guī)管校準(zhǔn)功能
• 顯示方式：4位LED數(shù)字顯示，實時切換不同規(guī)管測量數(shù)據(jù)
• 輸出功能：具備0～10V模擬信號輸出，可選RS485通訊接口，支持?jǐn)?shù)據(jù)遠(yuǎn)程傳輸
• 控制功能：內(nèi)置2路繼電器觸點，可設(shè)置真空度上下限報警，實現(xiàn)真空系統(tǒng)自動控制
• 供電電源：AC220V±10%，50Hz，功率≤30W
• 工作環(huán)境：溫度0～40℃，相對濕度≤80%（無冷凝），無強(qiáng)電磁干擾環(huán)境
• 外形尺寸：160×80×280mm（寬×高×深），符合標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜安裝尺寸
• 重量：約2.5kg

使用注意事項

1. 規(guī)管安裝規(guī)范：規(guī)管需垂直安裝，安裝位置應(yīng)避免真空系統(tǒng)內(nèi)的氣流直接沖擊，規(guī)管與主機(jī)的連接電纜應(yīng)遠(yuǎn)離強(qiáng)電線路，避免信號干擾。
2. 電離規(guī)使用限制：電離規(guī)僅能在真空度優(yōu)于10⁻¹ Pa時開啟，嚴(yán)禁在大氣壓或低真空狀態(tài)下啟動電離規(guī)，否則會燒毀規(guī)管燈絲；停機(jī)時需先關(guān)閉電離規(guī)，再關(guān)閉真空系統(tǒng)。
3. 校準(zhǔn)與維護(hù)：首次使用或每12個月需對規(guī)管進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測量精度；定期檢查規(guī)管燈絲狀態(tài)，若發(fā)現(xiàn)燈絲斷裂或老化，需及時更換同型號規(guī)管。
4. 電源與接地：設(shè)備必須可靠接地，避免靜電干擾及觸電風(fēng)險；電源電壓波動較大時，建議配置穩(wěn)壓電源，保護(hù)儀表電路。
5. 環(huán)境防護(hù)：避免在腐蝕性氣體、粉塵過多的環(huán)境中使用，若應(yīng)用于特殊工業(yè)環(huán)境，需對儀表主機(jī)采取防護(hù)措施。
6. 操作禁忌：禁止在測量過程中頻繁切換規(guī)管模式；清潔儀表表面時需斷電，使用干燥軟布擦拭，禁止使用有機(jī)溶劑。
7. 故障排查：若出現(xiàn)顯示異常、測量數(shù)據(jù)波動大等問題，先檢查規(guī)管連接是否松動、電纜是否損壞，排除外部故障后再聯(lián)系廠家售后，非專業(yè)人員嚴(yán)禁拆解儀表內(nèi)部。

ZDF-5210P復(fù)合真空計通過寬量程覆蓋與精準(zhǔn)控制功能，為真空系統(tǒng)提供全流程的真空度監(jiān)測與自動化管理，其穩(wěn)定的性能與人性化設(shè)計，能夠滿足工業(yè)生產(chǎn)與科研實驗的嚴(yán)格需求。