ZDF-5212P 超高真空復(fù)合真空計(jì)（真空儀表/配ZJ-52T ZJ-12）
上海雙旭ZDF-5212P超高真空復(fù)合真空計(jì)（配ZJ-52T/ZJ-12規(guī)管）
產(chǎn)品概述
ZDF-5212P是一款智能型超高真空復(fù)合真空計(jì)，通常與ZJ-52T（超高真空規(guī)管）和ZJ-12（低真空規(guī)管）配套使用，用于精確測(cè)量從大氣壓到超高真空（10e-9 Pa量級(jí)）的寬范圍真空度。該儀器采用微處理器控制，具有高精度、高穩(wěn)定性及友好的用戶界面。
主要技術(shù)參數(shù)
- 測(cè)量范圍： 配ZJ-12規(guī)管：1.0×105 ~ 1.0×10-1 Pa；配ZJ-52T規(guī)管：1.0×10-1 ~ 1.0×10-9 Pa
- 顯示方式： 雙排LED數(shù)碼管顯示，同時(shí)顯示壓強(qiáng)值與規(guī)管類型
- 控制輸出： 提供繼電器觸點(diǎn)輸出，可用于自動(dòng)控制（如閥門(mén)、泵）
- 模擬輸出： 0-10V或4-20mA線性模擬信號(hào)，對(duì)應(yīng)全量程對(duì)數(shù)壓強(qiáng)
- 通訊接口： 標(biāo)配RS-232或RS-485通訊接口，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集
- 規(guī)管電源： 為ZJ-52T規(guī)管提供穩(wěn)定的發(fā)射電流和除氣電源
- 工作環(huán)境： 溫度0~40℃，相對(duì)濕度≤85%
- 電源： AC 220V ±10%，50Hz
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管安裝與連接： 必須確保規(guī)管（ZJ-52T/ZJ-12）與真空系統(tǒng)連接可靠，無(wú)泄漏。ZJ-52T規(guī)管安裝方向應(yīng)保持燈絲水平，避免沉積物垂直落于燈絲。
- 開(kāi)機(jī)順序： 先開(kāi)啟真空計(jì)電源，待儀器自檢完成后再給規(guī)管通電，特別是ZJ-52T規(guī)管，需在真空度優(yōu)于0.1Pa后方可開(kāi)啟并除氣，以防燈絲氧化燒毀。
- 除氣操作： 對(duì)ZJ-52T規(guī)管進(jìn)行除氣時(shí)，需確保真空度已進(jìn)入高真空范圍（通常＜10-1 Pa），且除氣時(shí)間與功率應(yīng)按規(guī)定執(zhí)行，避免過(guò)度加熱損壞規(guī)管。
- 量程切換： 儀器通常自動(dòng)切換量程。注意在低真空（ZJ-12工作）向高真空（ZJ-52T工作）過(guò)渡時(shí)，讀數(shù)需穩(wěn)定后方可確認(rèn)。
- 環(huán)境要求： 避免在強(qiáng)電磁干擾、腐蝕性氣體、劇烈震動(dòng)的環(huán)境中使用。保持儀器通風(fēng)良好。
- 維護(hù)保養(yǎng)： 定期檢查規(guī)管是否污染或失效。清潔規(guī)管時(shí)必須斷電，并避免用手直接接觸規(guī)管玻璃壁和電極部分。
- 安全警告： ZJ-52T規(guī)管工作時(shí)帶有高電壓，嚴(yán)禁在通電狀態(tài)下進(jìn)行拆卸或觸摸電極接頭。系統(tǒng)通大氣前，務(wù)必先關(guān)閉規(guī)管測(cè)量開(kāi)關(guān)。
典型應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、粒子加速器、空間模擬、半導(dǎo)體制造、高能物理、材料研究等需要監(jiān)測(cè)超高真空環(huán)境的領(lǐng)域。 |
