ZDF-5201AX 超高真空復(fù)合真空計（ZJ-52T和ZJ-12復(fù)合）
上海雙旭ZDF-5201AX 超高真空復(fù)合真空計（ZJ-52T和ZJ-12復(fù)合）介紹
產(chǎn)品概述
ZDF-5201AX為上海雙旭電子有限公司推出的超高真空復(fù)合真空計，集成ZJ-52T熱陰極電離規(guī)與ZJ-12冷陰極磁控規(guī)，實現(xiàn)從大氣壓至10-8Pa寬量程連續(xù)測量，適用于科研、半導(dǎo)體、真空鍍膜及高能物理等對真空度要求嚴(yán)苛的場景。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×105Pa ~ 1×10-8Pa（自動切換）
- 規(guī)管組合：ZJ-52T熱陰極電離規(guī) + ZJ-12冷陰極磁控規(guī)
- 顯示分辨率：熱偶段≤0.1Pa；電離段≤1×10-2Pa（低量程可達(dá)1×10-9Pa）
- 控制方式：按鍵+數(shù)字顯示，支持RS-485/232通訊接口
- 供電電源：AC 220V±10%，50Hz，功率≤30W
- 工作溫度：0℃~40℃，相對濕度≤80%（無凝露）
- 預(yù)熱時間：ZJ-52T ≤15min；ZJ-12 ≤5min
- 規(guī)管安裝法蘭：CF35（可根據(jù)需求定制KF/ISO）
- 防護(hù)等級：IP20（室內(nèi)使用）
- 外形尺寸：主機(jī)240mm×160mm×100mm；規(guī)管長度依型號不同約150~250mm
功能特點
采用雙規(guī)復(fù)合設(shè)計，熱陰極段保證中高真空精度與穩(wěn)定性，冷陰段突破超高真空下限且耐沖擊、壽命長；內(nèi)置自動量程切換與過載保護(hù)，避免規(guī)管燒毀；具備零點校準(zhǔn)與滿度修正功能，適應(yīng)長期漂移補(bǔ)償；可連接上位機(jī)實現(xiàn)數(shù)據(jù)記錄與遠(yuǎn)程監(jiān)控。
使用注意事項
- 規(guī)管安裝須嚴(yán)格對中與密封，禁止強(qiáng)行敲擊或傾斜插拔，防止玻璃規(guī)管破裂或電極變形。
- 系統(tǒng)抽氣至1×10-2Pa以下方可開啟電離規(guī)高壓，否則燈絲極易氧化燒毀。
- 在大氣或粗真空狀態(tài)下嚴(yán)禁長時間開啟電離規(guī)電源，冷陰極規(guī)雖耐沖擊但仍需避免頻繁啟停。
- 腐蝕性氣體、粉塵顆粒及油蒸氣會污染規(guī)管電極，測量此類介質(zhì)需加前置過濾與冷凝捕集裝置。
- 更換規(guī)管前必須切斷整機(jī)電源并充分放氣，避免殘余高壓觸電或熱絲遇空氣瞬間氧化。
- 規(guī)管閑置時應(yīng)保持真空封存狀態(tài)，存放環(huán)境干燥、避光，避免機(jī)械振動與強(qiáng)磁場干擾。
- 定期清潔規(guī)管外殼及法蘭面，確保密封性能；建議每6~12個月進(jìn)行一次零點與靈敏度校驗。
- 高溫烘烤系統(tǒng)時，應(yīng)確認(rèn)規(guī)管耐溫指標(biāo)（ZJ-52T通常≤450℃，ZJ-12≤150℃），超溫會導(dǎo)致規(guī)管永久失效。
- 通訊接線須按說明書引腳定義操作，防止信號干擾導(dǎo)致讀數(shù)異�；蚩刂剖ъ`。
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