901 氦質譜檢漏儀
上海雙旭901氦質譜檢漏儀
產品概述
上海雙旭901氦質譜檢漏儀是一種高靈敏度、專業(yè)用于真空系統(tǒng)或密閉容器微小漏孔檢測的精密儀器。它利用質譜分析技術，專門檢測示蹤氣體氦氣（He），是電力、制冷、航空航天、半導體、科研等領域進行無損檢漏的關鍵設備。
主要技術參數
- 檢漏方式： 質譜分析技術（氦質譜法）
- 檢測靈敏度： ≥ 2.0×10-12 Pa·m3/s（標準配置下）
- 啟動時間： ≤ 3分鐘（從開機到可工作狀態(tài)）
- 響應時間： ≤ 1秒（對于標準漏孔）
- 清空時間： ≤ 3秒（清除示蹤氣體至本底）
- 工作壓力： 優(yōu)于 5 Pa（儀器入口處）
- 質譜室真空度： ≤ 5×10-4 Pa
- 顯示方式： 數字顯示，通常為液晶屏
- 輸出信號： 模擬量輸出（供記錄儀或計算機接口）
- 電源要求： AC 220V ± 10%， 50Hz
- 外形尺寸與重量： 約（寬×高×深）mm，重量約 kg（請以實際產品手冊為準）
使用注意事項
- 環(huán)境要求： 儀器應在清潔、干燥、無強電磁干擾、通風良好的室內使用。避免震動和陽光直射。
- 真空系統(tǒng)連接： 連接被檢件前，必須確保管路清潔、無油脂。使用前應對整個檢漏系統(tǒng)（包括儀器自身）進行抽真空和檢漏，確保系統(tǒng)本底良好。
- 氦氣使用： 必須使用高純度氦氣（≥99.999%）作為示蹤氣體。噴氦時需按規(guī)范順序進行，避免氦氣污染環(huán)境導致本底升高，影響檢測準確性。
- 開機與關機順序： 嚴格遵守制造商規(guī)定的開機（先開機械泵，后開儀器電源）和關機順序（先關儀器電源，后關機械泵），以保護分子泵和質譜燈絲。
- 燈絲保護： 必須在質譜室達到規(guī)定的高真空度（通常優(yōu)于5×10-3 Pa）后才能打開燈絲。在空氣或高壓力下開啟燈絲會立即燒毀。
- 防止返油： 停機時，特別是突然斷電，需注意防止機械泵油返流進入真空系統(tǒng)。建議在泵口安裝電磁閥或防返油裝置。
- 校準與維護： 定期使用標準漏孔對儀器靈敏度進行校準。按照手冊要求定期更換泵油、清洗或更換進口過濾器，以保持儀器最佳性能。
- 安全操作： 儀器內部有高壓部件和高溫部件（如離子源），非專業(yè)人員請勿打開機箱。檢修時必須斷電。
備注
以上參數和注意事項基于通用型號的典型描述。在實際操作中，請務必以上海雙旭提供的官方產品說明書和技術手冊為準。 |
