ZJ-12 超高真空規(guī)管（電離規(guī)/BA規(guī)）
上海雙旭 ZJ-12 超高真空規(guī)管（電離規(guī)/BA規(guī)）介紹
產(chǎn)品概述：ZJ-12 為上海雙旭電子有限公司研制的超高真空測(cè)量規(guī)管，兼容電離規(guī)與BA（Bayard-Alpert）規(guī)原理，適用于10⁻²～10⁻⁸ Pa范圍的高精度真空度檢測(cè)，廣泛用于科研、半導(dǎo)體制造、真空爐、粒子加速器等超高真空系統(tǒng)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×10⁻² Pa ～ 1×10⁻⁸ Pa（電離規(guī)模式）；1×10⁻¹ Pa ～ 1×10⁻⁴ Pa（BA規(guī)模式）
- 工作電壓：加熱燈絲 DC 6.3V / AC 6.3V；收集極電壓 -100V～-150V（可調(diào)）；柵極電壓 +200V～+300V（依型號(hào)）
- 燈絲材料：鎢絲（耐高溫、抗中毒性較好）
- 靈敏度：電離規(guī)約 0.15～0.25 Pa⁻¹（N₂標(biāo)定）；BA規(guī)靈敏度提升約5～10倍
- 耐壓強(qiáng)度：殼體可耐 1×10⁵ Pa（大氣）沖擊
- 接口法蘭：CF16、CF35或KF系列可選（依據(jù)訂貨配置）
- 工作溫度：規(guī)管主體 ≤ 50℃（推薦環(huán)境溫度 5～40℃）
- 預(yù)熱時(shí)間：≤ 3 min（穩(wěn)定讀數(shù)）
- 外形尺寸：長(zhǎng)度約 120 mm（不含法蘭），直徑約 18 mm
- 重量：約 80 g
結(jié)構(gòu)與原理
ZJ-12采用電離式真空測(cè)量原理：在規(guī)管內(nèi)，熱陰極發(fā)射電子，經(jīng)柵極加速后與氣體分子碰撞產(chǎn)生離子，離子被收集極捕獲形成離子流，離子流與氣壓成正比關(guān)系實(shí)現(xiàn)測(cè)量。BA結(jié)構(gòu)將離子收集極細(xì)線置于中心，降低X射線效應(yīng)和電暈放電干擾，提高低氣壓段測(cè)量準(zhǔn)確性。規(guī)管外殼為不銹鋼，耐腐蝕，適配超高真空密封法蘭。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)系統(tǒng)真空度低于 1×10⁻¹ Pa，避免規(guī)管在高氣壓下通電燒毀燈絲。
- 通電順序：先抽至安全真空再開規(guī)管電源；關(guān)閉時(shí)先斷規(guī)管電源再放氣，防止燈絲氧化。
- 禁止在含大量可凝性蒸氣（油霧、水蒸氣等）環(huán)境中長(zhǎng)時(shí)間工作，易致燈絲污染中毒失效。
- 規(guī)管燈絲脆弱，搬運(yùn)及安裝時(shí)避免機(jī)械沖擊與振動(dòng)，防止變形斷裂。
- 更換規(guī)管須保證法蘭面清潔無(wú)劃痕，密封墊圈完好，按扭矩規(guī)范緊固以防泄漏。
- 規(guī)管不宜長(zhǎng)期暴露于大氣中，閑置時(shí)應(yīng)存放于干燥潔凈容器。
- 電離規(guī)對(duì)惰性氣體靈敏度較低，若測(cè)氬、氦需校正系數(shù)；BA規(guī)可改善低氣壓段線性但仍有氣體種類依賴性。
- 規(guī)管玻璃或陶瓷絕緣件破損應(yīng)立即停用，防止高壓擊穿危險(xiǎn)。
- 建議配套專用高壓電源與穩(wěn)流控制電路，避免電壓波動(dòng)損傷燈絲。
典型應(yīng)用
適用于分子泵、離子泵、低溫泵支持的超高真空系統(tǒng)監(jiān)控；半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備、電子束蒸發(fā)臺(tái)、表面分析儀器（XPS、AES）、高能物理實(shí)驗(yàn)裝置真空度測(cè)量與控制。 |
