ZJ-52K 真空規(guī)管（電阻規(guī)/皮拉尼規(guī)）
上海雙旭 ZJ-52K 真空規(guī)管（電阻規(guī)/皮拉尼規(guī)）介紹
產(chǎn)品概述
上海雙旭 ZJ-52K 為復(fù)合式真空測(cè)量規(guī)管，集成電阻規(guī)與皮拉尼規(guī)功能，可在寬量程范圍連續(xù)監(jiān)測(cè)真空度。適用于低至中高真空環(huán)境，常用于科研、半導(dǎo)體制造、真空爐、分析儀器及工業(yè)真空系統(tǒng)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 規(guī)管類(lèi)型：電阻規(guī) + 皮拉尼規(guī)復(fù)合結(jié)構(gòu)
- 測(cè)量原理：電阻規(guī)（熱傳導(dǎo)變化）/ 皮拉尼規(guī)（氣體熱導(dǎo)率變化）
- 測(cè)量范圍：1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻² Pa（電阻規(guī)段：1×10³ ~ 1×10⁻² Pa；皮拉尼規(guī)段：1×10⁵ ~ 1×10³ Pa）
- 精度等級(jí)：±15%（全量程典型值）
- 工作溫度：-20℃ ~ +80℃（環(huán)境溫度）
- 烘烤溫度：≤150℃（短時(shí)間，帶保護(hù)）
- 供電電壓：DC 24V ±10%
- 輸出信號(hào)：0~10V 或 4~20mA（可定制）
- 加熱電流：約 30 mA（電阻絲）
- 啟動(dòng)時(shí)間：<5 s（常溫穩(wěn)定讀數(shù)）
- 功耗：<1 W
- 接口形式：DN16 ISO-KF / CF（可選）
- 材質(zhì)：不銹鋼外殼，鎢絲/鉑絲傳感器
- 壽命：>10,000 h（常規(guī)工況）
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)規(guī)管接口與真空系統(tǒng)匹配，法蘭密封面清潔無(wú)損傷，避免漏氣。
- 通電前確保真空度不低于規(guī)管最大耐受壓力（1×10⁵ Pa），禁止在大氣壓下長(zhǎng)時(shí)間通電加熱，防止傳感器燒毀。
- 規(guī)管不耐高壓沖擊，系統(tǒng)排氣需緩慢升壓，避免瞬間超壓損壞敏感元件。
- 皮拉尼段在高真空（<10⁻² Pa）靈敏度下降，應(yīng)依賴(lài)電阻規(guī)段讀數(shù)；避免在超高真空直接使用皮拉尼模式。
- 測(cè)量含腐蝕性氣體、油蒸氣或顆粒物的介質(zhì)時(shí)，須加裝冷阱或過(guò)濾裝置，防止污染傳感器。
- 烘烤系統(tǒng)須控制溫度≤150℃，過(guò)高溫度會(huì)導(dǎo)致規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形或引線斷裂。
- 規(guī)管應(yīng)避免機(jī)械振動(dòng)和沖擊，安裝位置遠(yuǎn)離泵體脈動(dòng)區(qū)，減少讀數(shù)波動(dòng)。
- 長(zhǎng)期停用應(yīng)保存在干燥環(huán)境，再次使用前檢查加熱絲阻值是否正常。
- 更換規(guī)管時(shí)先斷電并卸壓，防止殘余電荷或高溫引燃?xì)埩魵怏w。
- 輸出信號(hào)接線須屏蔽抗干擾，遠(yuǎn)離強(qiáng)電磁場(chǎng)源，保證信號(hào)穩(wěn)定性。
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