RBM-350 電容薄膜真空變送器（真空規(guī)管/真空計(jì)/薄膜規(guī)）
上海雙旭 RBM-350 電容薄膜真空變送器
RBM-350 是一款基于電容薄膜原理的高精度、高穩(wěn)定性的絕對壓力變送器，適用于中低真空范圍的精確測量。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：電容薄膜式
- 測量范圍：通常為 0.1 Pa 至 100 kPa (具體型號可能細(xì)分，如 0.1Pa~1kPa, 1Pa~100kPa等)
- 精度：典型值為讀數(shù)的 ±0.25% 或更高
- 重復(fù)性：優(yōu)于 ±0.05% FS
- 輸出信號：4-20 mA 或 0-10 VDC，兼容RS485通訊（具體取決于配置）
- 供電電源：通常為 24 VDC
- 過程連接：通常為 DN16CF 或 KF 法蘭，或其他定制接口
- 被測介質(zhì)：干燥、潔凈、非腐蝕性氣體
- 工作溫度：傳感器部分通常為 0-50°C，環(huán)境溫度 -10~60°C
- 長期穩(wěn)定性：典型值優(yōu)于 ±0.1% FS /年
使用注意事項(xiàng)
- 介質(zhì)兼容性：嚴(yán)禁測量腐蝕性、易燃易爆、導(dǎo)電性、粉塵或含油霧氣體，否則會永久損壞敏感膜片。
- 壓力沖擊：禁止在超過最大允許壓力（通常為2倍滿量程或約200kPa）下使用，避免快速壓力沖擊，以防膜片過載變形。
- 安裝方向：建議傳感器膜片朝下或水平安裝，避免顆粒物沉積在膜片上。
- 清潔與維護(hù)：保持測量管路及接口的清潔干燥。如需清潔，應(yīng)使用無水乙醇等揮發(fā)性溶劑，并確保完全干燥后再使用。
- 供電與接線：確保供電電壓穩(wěn)定且在規(guī)定范圍內(nèi)，正確連接輸出信號線，避免短路。
- 預(yù)熱與校準(zhǔn)：通電后需預(yù)熱一段時間（如30分鐘）以達(dá)到最佳穩(wěn)定性。建議定期進(jìn)行零點(diǎn)與滿量程校準(zhǔn)。
- 儲存環(huán)境：長期不使用時，應(yīng)在潔凈、干燥、常溫環(huán)境下儲存，并最好保持內(nèi)部為真空或干燥惰性氣體環(huán)境。
注：以上信息為通用介紹，具體技術(shù)規(guī)格請以上海雙旭官方最新產(chǎn)品說明書為準(zhǔn)。
RBM-350 電容薄膜真空變送器（真空規(guī)管/真空計(jì)/薄膜規(guī)）
上海雙旭 RBM-350 電容薄膜真空變送器 使用說明與優(yōu)點(diǎn)
一、產(chǎn)品使用說明
1. 安裝與連接
- 將RBM-350通過法蘭接口（如KF16、KF25等標(biāo)準(zhǔn)接口）直接安裝于真空腔體上，確保密封圈清潔且無損傷。
- 使用配套的DB9或D-sub連接器連接至電源和信號輸出端。供電要求為24V DC (典型值12-30V DC)，功耗低于1W。
- 信號輸出可選擇0-10V模擬電壓或4-20mA電流輸出，根據(jù)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)匹配接線，注意極性。
- 避免在安裝時過度擰緊螺栓，防止膜片受機(jī)械應(yīng)力變形。
2. 啟動與校準(zhǔn)
- 上電后傳感器自動進(jìn)入工作狀態(tài)，預(yù)熱時間約10分鐘以達(dá)到最佳穩(wěn)定性。
- 出廠時已預(yù)校準(zhǔn)絕對壓力范圍（如0.1 mbar至1000 mbar），用戶無需手動調(diào)節(jié)零點(diǎn)和滿量程。
- 若需重新校準(zhǔn)，使用精密標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)（如石英規(guī)）作參考，通過設(shè)備上的微調(diào)電位器或數(shù)字接口（RS485）調(diào)整偏移。
- 在首次使用或長期停機(jī)后，建議進(jìn)行三次“大氣壓-真空”循環(huán)以釋放膜片殘余應(yīng)力。
3. 操作與維護(hù)
- 測量過程中避免快速抽空或加壓，速率應(yīng)控制在100 mbar/s以內(nèi)以保護(hù)敏感膜片。
- 定期檢查法蘭密封和電纜接口，防止漏氣或連接松動。
- 清潔外殼時使用干燥軟布，禁止使用溶劑侵蝕膜片區(qū)域。
- 若顯示漂移或響應(yīng)變慢，可能需更換內(nèi)部干燥劑（位于傳感器腔內(nèi)），聯(lián)系廠家操作。
二、產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 高精度與穩(wěn)定性
- 采用電容薄膜測量原理，分辨可達(dá)滿量程的0.1%，重復(fù)性優(yōu)于±0.2%。
- 長期漂移極低（<0.1% FS/年），得益于陶瓷膜片與預(yù)張緊結(jié)構(gòu)，不受溫度波動或氣體成分影響。
- 全溫度補(bǔ)償范圍0-50°C，溫度系數(shù)小于0.005%/°C，適應(yīng)嚴(yán)苛環(huán)境。
2. 耐腐蝕與通用性
- 接氣部分材質(zhì)為316L不銹鋼與高鋁陶瓷，可耐受大部分腐蝕性氣體（如HCl、NH3、硅烷），無需額外隔離措施。
- 支持絕對壓力測量，不依賴氣體類型或濃度，適用于化學(xué)氣相沉積、刻蝕、鍍膜等工藝。
- 體積小巧，適合空間受限的腔體安裝；提供多種通訊接口（模擬量、RS485、USB），易于集成。
3. 卓越的可靠性
- 無活動部件（無燈絲、無油），耐振動沖擊，壽命超過10萬次壓力循環(huán)。
- 過壓保護(hù)設(shè)計(jì)可承受超過量程10倍的壓力而不損壞（如1 bar規(guī)格可抗10 bar）。
- 自帶診斷功能：輸出故障代碼（如開路、短路、超溫），便于快速排查問題。
4. 易用性與成本效益
- 即插即用，無需額外控制器或電源模塊，直接連接PLC/計(jì)算機(jī)。
- 兼容全球標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭（ISO-KF、CF等），替換安裝便捷。
- 相比同精度其他類型真空計(jì)，維護(hù)成本極低，僅在膜片污染時需清洗或更換（頻率視工藝而定）。 |
