ZDR-27B-II 熱陰極電離真空計(jì)（電離規(guī)）
上海雙旭 ZDR-27B-II 熱陰極電離真空計(jì)（電離規(guī)）
產(chǎn)品概述
ZDR-27B-II 是一款由上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的熱陰極電離真空計(jì)，用于高真空和超高真空范圍的精確測(cè)量。該儀器通常由電離規(guī)管（傳感器）和控制器（測(cè)量顯示單元）組成，通過(guò)熱陰極發(fā)射電子使氣體分子電離，通過(guò)測(cè)量離子流來(lái)反推真空度。
主要技術(shù)參數(shù)
- 測(cè)量范圍： 典型范圍為 1.0×10-1 ~ 1.0×10-5 Pa（可能擴(kuò)展至 10-6 Pa量級(jí)，具體請(qǐng)參閱說(shuō)明書(shū)）。
- 規(guī)管類型： 熱陰極電離規(guī)管（如ZJ-27型或兼容規(guī)管）。
- 發(fā)射電流： 通常為1mA或可調(diào)（依據(jù)規(guī)管要求）。
- 顯示方式： 數(shù)字LED或LCD顯示，單位可切換（Pa、Torr等）。
- 控制輸出： 通常配備模擬電壓輸出（如0-10V）及繼電器控制觸點(diǎn)。
- 供電電源： AC 220V ±10%，50/60Hz。
- 工作環(huán)境： 溫度0-40°C，相對(duì)濕度≤80%。
- 安裝接口： 規(guī)管標(biāo)準(zhǔn)接口為CF法蘭或金屬密封法蘭。
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管保護(hù)： 必須在真空度優(yōu)于10-1 Pa（通常建議<0.1Pa）時(shí)方可開(kāi)啟規(guī)管燈絲，防止燈絲氧化燒毀。
- 大氣暴露： 規(guī)管暴露于大氣時(shí)嚴(yán)禁通電，更換規(guī)管或前級(jí)管道時(shí)必須先關(guān)閉規(guī)管電源。
- 清潔與污染物： 避免測(cè)量腐蝕性、可凝結(jié)性及強(qiáng)氧化性氣體，此類氣體可能污染或損壞規(guī)管。
- 校準(zhǔn)與精度： 儀器需定期進(jìn)行校準(zhǔn)，測(cè)量讀數(shù)對(duì)氣體種類敏感（以氮?dú)鉃樾?zhǔn)基準(zhǔn)），測(cè)量不同氣體時(shí)需乘以修正系數(shù)。
- 安裝位置： 規(guī)管應(yīng)安裝在真空腔體上氣流暢通、代表性好的位置，避免直接對(duì)準(zhǔn)進(jìn)氣口或泵口。
- 電氣安全： 確保接地良好，連接電纜避免與高壓線路并行，防止干擾。
- 燈絲壽命： 頻繁在大氣壓下開(kāi)啟或真空不良時(shí)使用將極大縮短燈絲壽命。
典型應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體工藝、加速器、真空冶金、科研實(shí)驗(yàn)等高真空和超高真空系統(tǒng)的壓力監(jiān)測(cè)與控制。
注：以上信息基于該型號(hào)典型規(guī)格，具體操作請(qǐng)務(wù)必參照隨附的官方說(shuō)明書(shū)。 |
