ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
ZJ-52T是一款基于皮拉尼（電阻）原理的真空測(cè)量規(guī)管，用于低真空范圍的壓強(qiáng)檢測(cè)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍： 1.0×105 ~ 1.0×10-1 Pa (約760 ~ 0.001 Torr)
- 工作電壓： 直流 5V ±0.1V（典型值，具體以控制器匹配為準(zhǔn)）
- 加熱電流： 約 100 ~ 200 mA（取決于真空度及控制器設(shè)定）
- 敏感元件： 鎢絲或鉑絲
- 連接方式： 標(biāo)準(zhǔn)金屬法蘭或電纜插座連接
- 適用氣體： 氮?dú)�、干燥空氣（測(cè)量值對(duì)氣體種類敏感，需修正）
- 工作環(huán)境溫度： -10℃ ~ +50℃
- 外殼材質(zhì)： 通常為玻璃或金屬
使用注意事項(xiàng)
- 防污染： 禁止在可能冷凝、存在活性化學(xué)蒸氣或粉塵的環(huán)境中使用，以免污染燈絲導(dǎo)致測(cè)量失準(zhǔn)或損壞。
- 防過壓： 規(guī)管不得在高于其測(cè)量上限（常壓）的條件下長時(shí)間通電工作，以防燈絲氧化燒毀。
- 氣體依賴性： 皮拉尼規(guī)的讀數(shù)強(qiáng)烈依賴于氣體導(dǎo)熱系數(shù)，測(cè)量不同氣體時(shí)需根據(jù)校準(zhǔn)曲線進(jìn)行換算。
- 安裝方向： 建議規(guī)管開口向下或水平安裝，以減少顆粒物落入。
- 控制器匹配： 必須與配套的專用控制器（如ZJ-52D等）連接使用，不可直接接入電源。
- 清潔處理： 如規(guī)管被污染，需由專業(yè)人員進(jìn)行清洗或高溫除氣，不可用有機(jī)溶劑隨意擦拭。
- 機(jī)械防護(hù)： 玻璃規(guī)管易碎，安裝和拆卸時(shí)需小心，避免機(jī)械沖擊。
ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
產(chǎn)品名稱：上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
一、產(chǎn)品使用說明
安裝步驟：將ZJ-52T規(guī)管通過標(biāo)準(zhǔn)KF16或CF35法蘭接口連接至真空腔體，確保密封圈清潔且無損傷，手動(dòng)擰緊卡箍或螺栓至不漏氣。
電氣連接：使用配套的DB9或五芯航空插頭電纜，將規(guī)管連接至真空計(jì)控制器（如上海雙旭ZDF系列）。確保供電電壓符合DC 12-24V規(guī)格，接線極性正確（通常紅色為電源正，黑色為地，綠色為信號(hào)輸出）。
校準(zhǔn)操作：在系統(tǒng)達(dá)到穩(wěn)定高真空后（通常需抽至1×10⁻³ Pa以下），通過控制器執(zhí)行“大氣標(biāo)定”或“零點(diǎn)校準(zhǔn)”，長按C鍵3秒進(jìn)入校準(zhǔn)模式，單按確認(rèn)保存。建議每半年重新校準(zhǔn)一次。
測(cè)量范圍與顯示：有效測(cè)量范圍1×10⁻¹ Pa至1×10⁵ Pa。輸出信號(hào)為0-10V線性模擬量，對(duì)應(yīng)對(duì)數(shù)壓強(qiáng)值。控制器顯示為帕斯卡（Pa）或托（Torr），可通過菜單切換單位。
維護(hù)與清潔：禁止用手或油污接觸內(nèi)部鎢絲。若測(cè)量偏差超過20%，在關(guān)斷真空后使用無水乙醇擦拭電極，并用干燥氮?dú)獯蹈�。避免暴露于活性氣體（如氯氣、強(qiáng)酸蒸汽）環(huán)境下。
二、產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
寬測(cè)量范圍：單一規(guī)管覆蓋從大氣壓至高真空（10⁵ Pa至10⁻¹ Pa），無需切換不同類型規(guī)管，簡化真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
耐污染性強(qiáng)：采用鎳鉻合金絲，抗腐蝕性氣體和油蒸汽污染能力優(yōu)于普通鎢絲皮拉尼規(guī)，延長使用壽命。
響應(yīng)速度快：熱慣性小，對(duì)壓強(qiáng)變化響應(yīng)時(shí)間小于1秒，滿足動(dòng)態(tài)真空工藝（如鍍膜、刻蝕）的實(shí)時(shí)監(jiān)控需求。
兼容性好：輸出0-10V線性電壓信號(hào)，可直接對(duì)接PLC、觸摸屏或各類品牌真空計(jì)控制器，無需額外信號(hào)轉(zhuǎn)換模塊。
結(jié)構(gòu)堅(jiān)固：外殼采用金屬屏蔽設(shè)計(jì)，有效抗電磁干擾，適用于射頻濺射、離子注入等強(qiáng)干擾環(huán)境。
性價(jià)比高：相比電容薄膜規(guī)或冷陰極規(guī)，在10⁻¹ Pa至大氣壓范圍內(nèi)提供較低成本的連續(xù)測(cè)量方案。 |
