ZDL-14V01 冷陰極高真空電離真空計表（電離規(guī)/冷規(guī)）
上海雙旭 ZDL-14V01 冷陰極高真空電離真空計介紹
產品概述：ZDL-14V01 為上海雙旭推出的冷陰極高真空電離真空計（又稱電離規(guī)/冷規(guī)），采用冷陰極放電原理實現高真空度測量，適用于無油超高真空系統(tǒng)、科研實驗裝置及半導體工藝設備。該規(guī)無需預熱，響應快，抗污染能力優(yōu)于熱陰極規(guī)，可在高真空至超高真空范圍穩(wěn)定工作。
產品參數
- 測量范圍：1×10⁻² Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa（部分量程可擴展至 1×10⁻⁹ Pa）
- 工作電壓：DC ±24 V（或 AC 220 V 供電，內置電源模塊）
- 啟動壓力：≤ 1×10⁻¹ Pa（冷規(guī)可直接啟動，無需預抽至更低壓力）
- 放電電流：0.5 mA ~ 5 mA（可調，根據真空度自動匹配）
- 輸出信號：0~10 V 線性模擬量 / RS485 數字通訊（可選）
- 規(guī)管材質：不銹鋼 304/316L，法蘭接口 CF16 / KF25（可選）
- 耐壓強度：≥ 1500 Pa·m³/s（瞬間耐大氣沖擊）
工作溫度：-20℃ ~ +80℃
- 防護等級：IP54（外殼）
- 響應時間：< 100 ms（從低真空到高真空切換）
- 壽命：連續(xù)工作時間 ≥ 8000 h（視使用環(huán)境而定）
工作原理
ZDL-14V01 基于潘寧放電冷陰極原理，在兩平行電極間施加高壓形成磁場約束電子路徑，使電子與殘余氣體分子反復碰撞產生離子，離子流大小與氣體壓力成正比，通過檢測離子流換算出真空度。冷陰極結構避免了熱燈絲燒損，適合頻繁暴露大氣或存在腐蝕性氣體的場合。
性能特點
- 無需預熱，通電即測，適合快速抽空過程監(jiān)控
- 耐瞬時大氣沖擊，恢復時間短
- 對油污、粉塵耐受性強，維護周期長
- 兼容多種真空獲得設備及控制系統(tǒng)
- 可定制高溫型或耐腐蝕特殊規(guī)管
使用注意事項
- 安裝位置應避開強磁場、大振動源及高頻輻射干擾，確保讀數穩(wěn)定
- 規(guī)管接入真空系統(tǒng)時需保證密封可靠，法蘭面清潔無劃傷，建議使用無氧銅墊片或氟橡膠密封圈
- 在壓力高于 1×10⁻¹ Pa 時避免長時間運行，防止放電功率過大縮短壽命
- 嚴禁規(guī)管暴露在大氣中長時間通電，以免內部絕緣擊穿或電極氧化
- 測量含腐蝕性氣體（如 Cl₂、HCl、HF 等）時需選配耐腐蝕規(guī)管，并定期檢查電極狀態(tài)
- 定期清潔規(guī)管外部及電極組件，防止沉積物影響放電穩(wěn)定性
- 更換規(guī)管或維修時須斷電操作，避免高壓觸電風險
- 若采用數字通訊，應確保通訊協議參數與上位機匹配，并做好屏蔽防干擾處理
- 長期停用應存放在干燥潔凈環(huán)境，建議每 6 個月通電檢查一次
應用領域
適用于真空爐、粒子加速器、表面分析儀器、薄膜沉積設備、半導體刻蝕與CVD系統(tǒng)、空間環(huán)境模擬艙等高真空或超高真空場景的壓力監(jiān)測與控制。 |
