上海雙旭ZDF-X-PRO復(fù)合真空計(jì)（帶控/2路電阻規(guī)低真空/1路電離規(guī)高真空）
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號：ZDF-X-PRO
- 真空測量范圍：1.0×10⁵ ~ 1.0×10⁻⁵ Pa（全量程覆蓋）
- 低真空測量：2路電阻規(guī)（皮拉尼規(guī)），范圍通常為1.0×10⁵ ~ 0.1 Pa
- 高真空測量：1路電離規(guī)（熱陰極或冷陰極），范圍通常為1.0 ~ 1.0×10⁻⁵ Pa
- 控制功能：內(nèi)置繼電器控制輸出，可用于自動控制真空閥門、分子泵等設(shè)備
- 顯示：數(shù)字液晶顯示屏，同時顯示多路真空度
- 輸出接口：通常配備RS232/RS485通訊接口，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄
- 電源：AC 220V ±10%，50/60 Hz
- 工作環(huán)境：溫度0~40°C，濕度≤85% RH
產(chǎn)品簡介
ZDF-X-PRO是一款高性能復(fù)合真空計(jì)，集成了2路電阻規(guī)（用于低真空測量）和1路電離規(guī)（用于高真空測量），可實(shí)現(xiàn)從大氣到高真空的寬范圍連續(xù)監(jiān)測。設(shè)備具備自動切換與控制功能，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體工藝、真空冶金、科研實(shí)驗(yàn)等需要精確真空度測量與過程控制的領(lǐng)域。
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管安裝：電離規(guī)必須在真空度優(yōu)于0.1 Pa時方可開啟，防止燈絲氧化燒毀；電阻規(guī)無特殊限制，但應(yīng)避免沾染油污或粉塵。
- 通電順序：先啟動真空系統(tǒng)，待預(yù)抽至低真空后，再開啟真空計(jì)電源，最后在達(dá)到合適真空度時啟用電離規(guī)。
- 環(huán)境要求：避免在強(qiáng)電磁干擾、腐蝕性氣體、振動或灰塵過多的環(huán)境中使用。
- 定期校準(zhǔn)：建議每年對電阻規(guī)和電離規(guī)進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保測量精度。
- 關(guān)機(jī)順序：先關(guān)閉電離規(guī)，再關(guān)閉真空計(jì)電源，最后關(guān)閉真空系統(tǒng)。
- 安全防護(hù)：設(shè)備外殼需可靠接地，勿在易燃易爆環(huán)境中使用；電離規(guī)工作時部分部件溫度較高，避免觸碰。
