ZDF-V-LED 電阻ZJ-52T冷規(guī)ZJ-14復(fù)合真空計(jì)
以下是上海雙旭ZDF-V-LED電阻ZJ-52T冷規(guī)ZJ-14復(fù)合真空計(jì)的HTML格式介紹，重點(diǎn)突出產(chǎn)品參數(shù)與使用注意事項(xiàng)： ```html
上海雙旭ZDF-V-LED復(fù)合真空計(jì)（ZJ-52T電阻規(guī)+ZJ-14冷規(guī)）
一、產(chǎn)品概述
ZDF-V-LED復(fù)合真空計(jì)是上海雙旭推出的高精度真空測(cè)量設(shè)備，集成ZJ-52T熱陰極電離真空規(guī)（電阻規(guī)）與ZJ-14冷陰極電離真空規(guī)，覆蓋從低真空到超高真空的寬量程測(cè)量需求。設(shè)備搭載LED數(shù)字顯示，讀數(shù)清晰直觀，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空冶煉、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。
二、核心產(chǎn)品參數(shù)
1. ZJ-52T電阻規(guī)參數(shù)
- 測(cè)量范圍：10⁻¹ ~ 10⁵ Pa（可覆蓋低真空至大氣環(huán)境）
- 規(guī)管類型：熱傳導(dǎo)式電阻真空規(guī)
- 工作溫度：規(guī)管加熱絲穩(wěn)定工作溫度約150℃
- 響應(yīng)時(shí)間：≤3s（壓力突變時(shí)的讀數(shù)穩(wěn)定時(shí)間）
- 供電電壓：由主機(jī)提供，無需額外供電
2. ZJ-14冷規(guī)參數(shù)
- 測(cè)量范圍：10⁻¹ ~ 10⁻⁷ Pa（覆蓋高真空至超高真空區(qū)間）
- 規(guī)管類型：冷陰極磁控放電真空規(guī)
- 放電電壓：約2000V DC
- 工作電流：放電電流≤1mA
- 極限真空：≤1×10⁻⁷ Pa（規(guī)管自身可達(dá)到的最低壓力）
3. 主機(jī)參數(shù)
- 顯示方式：LED數(shù)字顯示，可切換雙規(guī)讀數(shù)同時(shí)顯示或單規(guī)獨(dú)立顯示
- 測(cè)量精度：滿量程的±10%（電阻規(guī)）；滿量程的±20%（冷規(guī)）
- 供電電源：AC 220V±10%，50Hz
- 工作環(huán)境：溫度0~40℃，相對(duì)濕度≤80%（無冷凝）
- 輸出接口：可選配4~20mA模擬信號(hào)輸出，支持?jǐn)?shù)據(jù)遠(yuǎn)程傳輸
三、使用注意事項(xiàng)
1. 規(guī)管安裝與防護(hù)
- 安裝位置：規(guī)管應(yīng)垂直安裝于真空系統(tǒng)的平直管道段，避免靠近閥門、泵口或氣流死角，確保壓力測(cè)量的代表性；安裝時(shí)需使用配套的氟橡膠密封圈，保證真空密封性。
- 避免污染：若真空系統(tǒng)存在油污、水汽或腐蝕性氣體，需在規(guī)管前加裝冷阱或過濾裝置，防止規(guī)管內(nèi)部污染導(dǎo)致測(cè)量誤差增大甚至損壞。
- 規(guī)管拆卸：拆卸規(guī)管前，需先將真空系統(tǒng)恢復(fù)至大氣壓狀態(tài)，禁止在真空狀態(tài)下拆卸，避免規(guī)管內(nèi)部組件受氣流沖擊損壞。
2. 操作規(guī)范
- 開機(jī)順序：先開啟主機(jī)電源，待主機(jī)自檢完成后，再根據(jù)測(cè)量需求切換電阻規(guī)或冷規(guī)模式；冷規(guī)需在系統(tǒng)壓力低于10⁻¹ Pa時(shí)開啟，禁止在常壓或高壓力下啟動(dòng)冷規(guī)，防止規(guī)管內(nèi)部放電損壞。
- 關(guān)機(jī)順序：先關(guān)閉冷規(guī)模式（若開啟），再關(guān)閉主機(jī)電源；若長(zhǎng)期停機(jī)，建議斷開主機(jī)電源，并將規(guī)管與真空系統(tǒng)斷開，用保護(hù)帽密封規(guī)管口，防止灰塵進(jìn)入。
- 校準(zhǔn)要求：首次使用前或每半年需進(jìn)行一次校準(zhǔn)，可通過標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)比對(duì)校準(zhǔn)，確保測(cè)量精度；若規(guī)管更換或維修后，必須重新校準(zhǔn)。
3. 維護(hù)與故障排查
- 電阻規(guī)維護(hù)：若電阻規(guī)讀數(shù)漂移過大，需檢查規(guī)管是否被污染，可在10⁻² Pa真空下加熱規(guī)管至200℃烘烤1~2小時(shí)，去除表面吸附的水汽和雜質(zhì)；若烘烤后仍無改善，需更換規(guī)管。
- 冷規(guī)維護(hù)：冷規(guī)長(zhǎng)期使用后內(nèi)部可能沉積金屬離子，導(dǎo)致測(cè)量下限升高，可通過“反放電”清洗（主機(jī)通常自帶該功能），若清洗無效則需更換規(guī)管。
- 常見故障：若冷規(guī)無讀數(shù)，需檢查系統(tǒng)壓力是否低于10⁻¹ Pa、規(guī)管連接線是否松動(dòng)；若電阻規(guī)讀數(shù)異常，需檢查規(guī)管加熱絲是否燒斷，可通過主機(jī)自帶的電阻檢測(cè)功能排查。
4. 安全注意事項(xiàng)
- 冷規(guī)工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生約2000V高壓，禁止在設(shè)備運(yùn)行時(shí)接觸規(guī)管接線端，防止觸電。
- 主機(jī)應(yīng)安裝在干燥、通風(fēng)的環(huán)境中，避免潮濕導(dǎo)致電路短路；禁止在有易燃易爆氣體的環(huán)境中使用。
- 規(guī)管屬于精密部件，避免碰撞和劇烈震動(dòng)，搬運(yùn)時(shí)需做好防護(hù)措施。
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