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CF35 真空規(guī)管法蘭接口

上海雙旭 CF35 真空規(guī)管法蘭接口介紹

產(chǎn)品參數(shù)：

• 型號(hào)：CF35（ConFlat 法蘭規(guī)格）
• 法蘭標(biāo)準(zhǔn)：符合 ISO 2861 / ConFlat 標(biāo)準(zhǔn)，公稱外徑 70 mm，螺栓孔分布圓直徑 54 mm
• 法蘭材質(zhì)：通常為 304 不銹鋼（可選 316L 不銹鋼）
• 密封方式：銅墊圈或氟橡膠 O 型圈（依據(jù)真空度需求選用）
• 適用真空范圍：10⁻⁵ Pa ~ 10⁵ Pa（取決于規(guī)管類型及密封配置）
• 規(guī)管兼容類型：熱陰極電離規(guī)、冷陰極磁控規(guī)、皮拉尼計(jì)等常用真空測(cè)量規(guī)管
• 接口形式：法蘭面平口焊接或?qū)�焊連接，適配 CF35 法蘭腔體或管路
• 耐溫性能：-20℃ ~ +150℃（常規(guī)工況），高溫版本可達(dá) 200℃
• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（裝配合格條件下）
• 安裝螺栓：M8 內(nèi)六角螺栓，數(shù)量 6 枚，推薦扭矩 4~6 N·m

結(jié)構(gòu)與功能概述：

CF35 真空規(guī)管法蘭接口為超高真空與高真空系統(tǒng)常用的標(biāo)準(zhǔn)化連接件，采用金屬密封原理，保證系統(tǒng)在寬壓力范圍內(nèi)的氣密性。法蘭與規(guī)管本體通過(guò)焊接或螺紋轉(zhuǎn)接固定，法蘭面平整度高，可重復(fù)使用且保持良好密封性能。該接口便于在真空腔體、泵組、閥門之間快速拆裝規(guī)管，利于維護(hù)與校準(zhǔn)。

使用注意事項(xiàng)：

• 安裝前檢查法蘭面與密封墊圈無(wú)劃痕、凹陷或污染，必要時(shí)用無(wú)水乙醇或丙酮清潔并干燥。
• 密封墊圈選型須匹配真空度要求：銅墊圈適用于超高真空（≤10⁻⁷ Pa），氟橡膠適用于高真空及中真空。
• 螺栓緊固應(yīng)按對(duì)角順序均勻加力，避免單側(cè)過(guò)緊導(dǎo)致法蘭變形；扭矩過(guò)大可能損傷密封面。
• 規(guī)管插入法蘭前確認(rèn)電氣接頭絕緣與真空密封均完好，防止烘烤或運(yùn)行中泄漏。
• 在烘烤系統(tǒng)時(shí)，需確認(rèn)密封材料耐溫范圍，銅墊圈可在 450℃以下烘烤，氟橡膠應(yīng)在 ≤150℃使用。
• 拆卸時(shí)避免硬撬法蘭，以免損傷面型精度；建議保留原配墊圈用于重復(fù)使用時(shí)評(píng)估狀態(tài)。
• 規(guī)管更換或長(zhǎng)期停用后復(fù)裝，應(yīng)進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏驗(yàn)證接口泄漏率合格后方可投入使用。

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