ZJ-14C 潘寧規(guī)（真空規(guī)管/電離規(guī)管）
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上海雙旭ZJ-14C潘寧規(guī)是一款適用于高真空測量的電離式真空規(guī)管，通過潘寧放電原理實(shí)現(xiàn)寬范圍真空度檢測，常配套真空計(jì)使用，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理等工業(yè)及科研領(lǐng)域。
核心產(chǎn)品參數(shù)：
- 測量范圍：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa，覆蓋高真空區(qū)間核心檢測需求
- 規(guī)管類型：冷陰極電離規(guī)（潘寧規(guī)），無需加熱燈絲，適用于含少量腐蝕性氣體的真空環(huán)境
- 外形結(jié)構(gòu)：采用玻璃外殼封裝，標(biāo)準(zhǔn)金屬電極接口，安裝規(guī)格適配主流真空系統(tǒng)法蘭
- 工作電壓：配套真空計(jì)供電，典型工作電壓為直流2000V~3000V，放電電流范圍10μA~100μA
- 響應(yīng)時(shí)間：≤30s，可快速反饋真空度變化
- 使用壽命：在正常真空環(huán)境下，連續(xù)工作壽命≥10000小時(shí)
使用注意事項(xiàng)：
- 真空環(huán)境適配：需在系統(tǒng)真空度達(dá)到1×10⁻¹ Pa以下時(shí)開啟規(guī)管，避免低真空狀態(tài)下大電流放電損壞電極；禁止在大氣壓或粗真空環(huán)境下給規(guī)管加電。
- 氣體兼容性：雖適用于部分含微量腐蝕性氣體的環(huán)境，但禁止用于含大量活潑性氣體（如氯氣、氟氣）或易燃易爆氣體的真空系統(tǒng)，防止電極腐蝕或發(fā)生安全風(fēng)險(xiǎn)。
- 安裝規(guī)范：規(guī)管需垂直或水平安裝在真空系統(tǒng)的合理位置，避免靠近氣源或放氣量大的部件，連接接口需確保密封良好，防止漏氣影響測量精度。
- 清潔與維護(hù)：長期使用后若出現(xiàn)測量偏差增大，可在真空狀態(tài)下對規(guī)管進(jìn)行烘烤除氣（烘烤溫度≤150℃），禁止拆解規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
- 供電要求：必須使用原廠配套的真空計(jì)控制器，禁止隨意更改供電電壓或電流參數(shù)，防止規(guī)管過載燒毀。
- 存放條件：閑置時(shí)需保持規(guī)管內(nèi)部干燥，存放于常溫、干燥、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免玻璃外殼碰撞碎裂。
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