ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）
上海雙旭 ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）介紹
產(chǎn)品概述：ZJ-27 高真空規(guī)管采用電離式測量原理，玻璃外殼結(jié)構(gòu)，適用于高真空環(huán)境下的壓強檢測。廣泛用于真空爐、電子束蒸發(fā)、離子鍍膜、半導(dǎo)體制造等對真空度要求高的工藝設(shè)備。
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號：ZJ-27
- 測量原理：熱陰極電離真空計
- 測量范圍：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa（高真空段）
- 工作電壓：燈絲加熱電壓 4.5V~6V AC/DC；收集極電壓 -150V~-300V；柵極電壓 +150V~+300V（依控制器而定）
- 燈絲材料：鎢絲或銥絲（耐氧化，適合高真空）
- 外殼材質(zhì)：高硼硅玻璃，耐壓≥0.3MPa，耐溫≤450℃
- 接口形式：玻璃法蘭或KF系列金屬轉(zhuǎn)接法蘭（可選）
- 啟動壓強：≤1Pa（低于此值方可正常測量）
- 預(yù)熱時間：≤3分鐘（穩(wěn)定讀數(shù)）
- 使用壽命：連續(xù)工作≥2000小時（視工況與維護而定）
- 重量：約80g（不含轉(zhuǎn)接件）
使用注意事項
- 必須在系統(tǒng)壓強低于1Pa時才能開啟電離規(guī)功能，否則會燒毀燈絲。
- 安裝時避免機械沖擊和驟冷驟熱，防止玻璃殼體破裂。
- 不可在含氧量高于10⁻² Pa的環(huán)境中長期工作，避免燈絲氧化熔斷。
- 更換或拆卸前須切斷規(guī)管供電并確認(rèn)系統(tǒng)已破空至大氣壓，防止殘余高壓損壞設(shè)備或人身傷害。
- 玻璃規(guī)管應(yīng)垂直或按指定方向安裝，保證內(nèi)部結(jié)構(gòu)不受應(yīng)力影響測量精度。
- 定期清潔規(guī)管玻璃殼表面污染物，保持透光性與絕緣性，避免誤讀。
- 禁止用尖銳物體觸碰燈絲及柵極，防止變形或斷裂導(dǎo)致失效。
- 長期停用需存放于干燥環(huán)境，避免受潮引起漏電或腐蝕。
- 與控制器匹配時注意電壓與極性，錯誤接線會瞬間損壞規(guī)管。
特點與應(yīng)用
ZJ-27 玻璃電離規(guī)管結(jié)構(gòu)簡單、靈敏度高，適合實驗室及工業(yè)高真空監(jiān)測。玻璃外殼可直接觀察內(nèi)部狀態(tài)，便于故障判斷。可與多種真空計控制器配套實現(xiàn)自動量程切換與數(shù)據(jù)輸出，滿足精密真空過程控制需求。 |
