ZDH-1 超高真空計（電離真空計）
上海雙旭 ZDH-1 超高真空計（電離真空計）介紹
產(chǎn)品概述：ZDH-1 為上海雙旭電子有限公司研制的超高真空測量儀器，基于熱陰極電離原理，適用于10-3 Pa至10-9 Pa范圍的超高真空環(huán)境檢測，廣泛用于真空爐、半導(dǎo)體鍍膜、粒子加速器及科研真空系統(tǒng)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：10-3 Pa ～ 10-9 Pa（分段顯示）
- 顯示方式：數(shù)字直讀，LCD/LED雙模式可選
- 分辨率：10-10 Pa（在10-9 Pa檔）
- 精度：±15%（滿量程）
- 響應(yīng)時間：≤1.5 s（從10-4 Pa到10-8 Pa變化）
- 工作電壓：AC 220V ±10%，50Hz
- 發(fā)射電流：0.1 mA～10 mA可調(diào)
- 燈絲材質(zhì)：鎢絲，可更換式結(jié)構(gòu)
- 離子收集極：不銹鋼屏蔽型
- 預(yù)熱時間：≤3 min（達到穩(wěn)定讀數(shù)）
- 工作溫度：5℃～40℃
- 外形尺寸：約240mm×180mm×100mm
- 重量：約2.5 kg
- 接口：標(biāo)準(zhǔn)CF/KF法蘭，支持與真空規(guī)管直接連接
- 防護等級：IP20（室內(nèi)使用）
功能特點
采用模塊化電路設(shè)計，具備自動量程切換與零點校正；內(nèi)置過壓保護與燈絲斷絲報警；兼容多種規(guī)管型號，適配性強；可輸出RS-485或模擬信號用于遠(yuǎn)程監(jiān)控。
使用注意事項
- 必須在真空度高于10-2 Pa時開啟電離真空計，否則會導(dǎo)致燈絲氧化燒毀。
- 高真空狀態(tài)下避免長時間大發(fā)射電流工作，防止燈絲過熱加速老化。
- 規(guī)管安裝須保證密封良好，防止漏氣影響測量準(zhǔn)確性并損壞燈絲。
- 不可在含腐蝕性氣體、粉塵或油蒸氣的環(huán)境中使用，以免污染規(guī)管與電路。
- 更換燈絲需在斷電且規(guī)管內(nèi)壓力低于10-3 Pa條件下進行，避免空氣進入燒損燈絲。
- 定期校準(zhǔn)零點與量程，建議每6個月進行一次性能檢查。
- 長期停用應(yīng)斷開電源并妥善存放，防止潮氣侵入內(nèi)部電路。
- 嚴(yán)禁帶電插拔規(guī)管電纜接頭，防止高壓沖擊損壞電路。
- 如顯示屏出現(xiàn)“FL”等異常代碼，應(yīng)立即停機檢查燈絲狀態(tài)與真空度條件。
應(yīng)用領(lǐng)域
真空冶金、半導(dǎo)體薄膜沉積、電子束蒸發(fā)、空間環(huán)境模擬、高能物理實驗裝置、質(zhì)譜分析系統(tǒng)等需要精確測量超高真空的場合。 |
