ZDK-III-LED 高真空電離真空計(jì)
上海雙旭ZDK-III-LED 高真空電離真空計(jì)
產(chǎn)品參數(shù)
測量范圍：1×10-1 Pa ~ 1×10-8 Pa（可選擴(kuò)展至1×10-9 Pa）
顯示方式：LED數(shù)碼管直讀，支持Pa、Torr、mbar單位切換
工作電源：AC 220V±10% / 50Hz，功耗≤15W
離子流測量精度：±15%（滿量程內(nèi)）
零點(diǎn)漂移：≤±5% / 4h（恒溫環(huán)境）
重復(fù)性誤差：≤±10%
預(yù)熱時(shí)間：≤30min（達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)）
響應(yīng)時(shí)間：≤3s（階躍壓力變化下）
工作溫度：5℃~40℃，相對(duì)濕度≤80%（無凝露）
外形尺寸：240mm×160mm×90mm（寬×高×深）
重量：約2.5kg
接口類型：標(biāo)準(zhǔn)CF16/25法蘭真空接口，兼容主流真空系統(tǒng)
發(fā)射電流：可選0.1mA、1mA、10mA三檔，適配不同壓力段
防護(hù)等級(jí)：IP20（室內(nèi)干燥環(huán)境使用）
產(chǎn)品介紹
ZDK-III-LED為高真空電離真空計(jì)，基于熱陰極電離規(guī)原理，通過測量氣體分子被電子碰撞產(chǎn)生的離子流反推真空度。適用于高真空及超高真空環(huán)境的壓力監(jiān)測，廣泛用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)臺(tái)、加速器真空系統(tǒng)等場景。
采用LED數(shù)碼顯示，讀數(shù)直觀無需外接指示設(shè)備；內(nèi)置發(fā)射電流自動(dòng)/手動(dòng)切換功能，覆蓋從粗高真空到超高真空的壓力區(qū)間。電路集成過壓、過流保護(hù)，提高長期運(yùn)行穩(wěn)定性。結(jié)構(gòu)緊湊，法蘭安裝便捷，可嵌入真空腔體或置于控制柜面板。
核心電離規(guī)管為耐高溫氧化鈹或鎢絲陰極，壽命長且抗污染能力較優(yōu)，可在一定工藝氣體環(huán)境下短時(shí)工作，但需遵循材料兼容性要求。
使用注意事項(xiàng)
必須在真空度低于1×10-1 Pa時(shí)開啟電離規(guī)，否則熾熱陰極易燒毀；斷電前應(yīng)先關(guān)閉發(fā)射電流并確認(rèn)真空度回到粗真空范圍。
禁止在大氣或高壓強(qiáng)下長時(shí)間通電，啟動(dòng)與關(guān)閉需在真空系統(tǒng)抽氣過程中完成，建議配套前級(jí)粗真空計(jì)監(jiān)控。
電離規(guī)管對(duì)油蒸氣、粉塵敏感，真空系統(tǒng)內(nèi)存在擴(kuò)散泵油返流或機(jī)械泵油煙時(shí)應(yīng)加裝冷阱或過濾器，避免污染陰極與柵極。
更換規(guī)管或長時(shí)間停用后重啟，應(yīng)充分烘烤除氣，確保管內(nèi)無殘留氣體影響測量精度。
高電壓部件有觸電風(fēng)險(xiǎn)，維護(hù)時(shí)必須斷電并等待放電完畢再操作，嚴(yán)禁帶電插拔規(guī)管接頭。
發(fā)射電流檔位須與當(dāng)前壓力匹配：高壓強(qiáng)段用大電流提升信噪比，低壓強(qiáng)段用小電流降低離子流噪聲，誤用會(huì)導(dǎo)致測量偏差或規(guī)管損壞。
避免強(qiáng)烈振動(dòng)與沖擊，防止規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)位移或引線斷裂；搬運(yùn)時(shí)需固定主體并保護(hù)法蘭面不受損。
LED顯示異�；蜃x數(shù)跳動(dòng)劇烈時(shí)，先檢查真空度是否進(jìn)入測量范圍、發(fā)射電流設(shè)置是否正確，再排查規(guī)管污染或電路故障。
ZDK-III-LED 高真空電離真空計(jì)
上海雙旭 ZDK-III-LED 高真空電離真空計(jì) 產(chǎn)品使用說明
產(chǎn)品簡介
ZDK-III-LED 是一款高精度高真空電離真空計(jì)，適用于10^-1至10^-5 Pa的真空測量范圍。采用LED數(shù)碼管顯示，具備自動(dòng)量程切換和過載保護(hù)功能。
安裝步驟
1. 將真空規(guī)管（標(biāo)配為ZJ-27或ZJ-32）通過KF或CF法蘭連接至真空系統(tǒng)。
2. 使用專用屏蔽電纜連接規(guī)管與主機(jī)，確保接頭鎖緊。
3. 接通220V AC電源：紅色指示燈亮表示待機(jī)，綠色指示燈亮表示正常工作。
操作流程
1. 待真空系統(tǒng)壓力低于10 Pa時(shí)，按下“啟動(dòng)”鍵，儀器自動(dòng)開始電離測量。
2. LED屏顯示實(shí)時(shí)壓力值（單位：Pa或Torr），可通過“單位”鍵切換。
3. 若壓力超過量程上限，儀器自動(dòng)關(guān)閉電離并報(bào)警（蜂鳴3聲）。
4. 按下“停止”鍵手動(dòng)關(guān)閉電離，延長燈絲壽命。
注意事項(xiàng)
- 禁止在氣壓高于10 Pa時(shí)開啟電離，否則燈絲會(huì)氧化燒毀。
- 長期閑置時(shí)應(yīng)拔掉電源插頭，并將規(guī)管用干燥氮?dú)獗４妗?br />
- 面板上的“校零”旋鈕僅在系統(tǒng)達(dá)到極限真空時(shí)調(diào)整（建議由工程師操作）。
主要優(yōu)點(diǎn)
1. 高精度與寬量程
采用雙燈絲冗余設(shè)計(jì)，測量范圍覆蓋10^-1至10^-5 Pa，精度等級(jí)為±20%，優(yōu)于同類國產(chǎn)儀表。
2. 自動(dòng)保護(hù)機(jī)制
內(nèi)置過流、過壓及壓力超限自動(dòng)斷電保護(hù)，避免因操作失誤導(dǎo)致燈絲損壞。
3. 清晰易讀的顯示
高亮度紅色LED數(shù)碼管，遠(yuǎn)距離仍可清晰讀數(shù)；可切換壓力單位（Pa/Torr/mbar）。
4. 緊湊耐用結(jié)構(gòu)
全金屬外殼，抗電磁干擾設(shè)計(jì)，工作溫度范圍0~50℃，適合工業(yè)環(huán)境持續(xù)運(yùn)行。
5. 易于維護(hù)
模塊化電路板設(shè)計(jì)，更換燈絲或電磁閥無需重新校準(zhǔn)；標(biāo)配RS485接口可選，支持遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集。 |
