上海雙旭ZDM-II 電容薄膜真空計產品介紹
一、核心產品參數
ZDM-II電容薄膜真空計是一款高精度的真空測量設備,核心參數如下:
- 測量范圍:支持寬量程真空測量,覆蓋1×10⁻⁵Pa至10⁵Pa,可滿足從高真空到大氣壓的全范圍測量需求;
- 測量精度:在1×10⁻³Pa至10⁵Pa區(qū)間內,精度優(yōu)于±1%FS(滿量程),高真空區(qū)間精度可達±5%,確保數據準確性;
- 傳感器類型:采用進口電容薄膜傳感器,具備良好的穩(wěn)定性和抗腐蝕性,適配復雜真空環(huán)境;
- 輸出信號:標配4-20mA模擬信號輸出,可選RS485數字通訊接口,方便與PLC、DCS等控制系統(tǒng)對接;
- 顯示方式:配備LED數碼管顯示,實時顯示真空度數值,支持單位自動切換(Pa、mbar、Torr可選);
- 工作環(huán)境:環(huán)境溫度范圍-10℃~50℃,相對濕度≤85%(無冷凝),可適應大多數工業(yè)現場環(huán)境;
- 供電電源:220V AC(±10%)或24V DC可選,滿足不同場景供電需求;
- 連接接口:采用KF16或CF35真空快裝接口,安裝便捷,密封性能可靠。
二、產品特點
ZDM-II電容薄膜真空計依托電容薄膜傳感技術,兼具高精度與實用性:
其一,傳感器采用全金屬密封結構,無油污染,適合對清潔度要求高的真空環(huán)境,如半導體制造、真空鍍膜等領域;其二,具備零點自動校準和滿量程校準功能,用戶可通過按鍵輕松完成校準,長期使用仍能保持測量精度;其三,抗干擾能力強,內置電磁屏蔽設計,可在強電磁干擾的工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定工作;其四,體積小巧,安裝方式靈活,可采用支架安裝或法蘭直接安裝,適配不同真空系統(tǒng)布局。
三、使用注意事項
為確保設備穩(wěn)定運行和測量準確性,使用過程中需注意以下事項:
1. 安裝環(huán)境:避免將設備安裝在溫度劇烈變化、振動強烈或有腐蝕性氣體的環(huán)境中,若必須在特殊環(huán)境使用,需配備相應的防護裝置;安裝時保證真空接口密封良好,可采用真空密封脂輔助密封,防止漏氣影響測量結果。
2. 操作規(guī)范:開機前需確認電源電壓與設備額定電壓一致,避免因電壓不符損壞設備;進行真空系統(tǒng)抽氣時,需緩慢升高真空度,避免氣體壓力驟變沖擊傳感器薄膜,影響其使用壽命;禁止超量程使用,當真空度超出測量范圍上限時,應及時關閉真空計或采取防護措施。
3. 維護保養(yǎng):定期檢查真空接口的密封情況,若發(fā)現密封件老化需及時更換;設備長期停用前,需將真空系統(tǒng)恢復至大氣壓狀態(tài),避免傳感器薄膜長期處于高真空拉伸狀態(tài);校準周期建議為12個月,可聯系廠家或專業(yè)計量機構進行專業(yè)校準,確保測量精度。
4. 故障處理:若出現顯示異;驘o輸出信號,首先檢查電源連接和真空接口密封情況;如傳感器損壞,需由專業(yè)人員更換,禁止自行拆解傳感器,以免破壞其真空密封結構。
四、適用領域
ZDM-II電容薄膜真空計廣泛應用于真空鍍膜、半導體加工、真空熱處理、真空干燥、航空航天模擬等領域,特別適合需要高精度、高穩(wěn)定性真空測量的工業(yè)場景和科研實驗環(huán)境。