13TBVMT 壓阻真空規(guī)（電容真空規(guī)）
上海雙旭13TBVMT 壓阻真空規(guī)（電容真空規(guī)）介紹
產(chǎn)品定位：13TBVMT為上海雙旭電子有限公司推出的高精度壓阻/電容復(fù)合式真空測量儀器，兼容寬量程真空檢測，適用于科研、半導(dǎo)體、鍍膜、真空爐及工業(yè)過程控制領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：壓阻式+電容薄膜傳感復(fù)合，實現(xiàn)低真空到高真空連續(xù)測量
- 測量范圍：1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁴ Pa（支持多檔切換）
- 分辨率：低真空段 ≤0.1% FS；高真空段 ≤0.5% FS
- 精度等級：±1%（全量程典型值），±2%（極限條件）
- 響應(yīng)時間：T90 ≤ 200 ms（受氣體種類與壓力變化速率影響）
- 工作溫度：傳感器 -20℃ ~ +80℃；控制器 0℃ ~ +50℃
- 供電電源：DC 24V ±10%，功耗 ≤5W
- 輸出信號：模擬 0~10V / 4~20mA（可選）；數(shù)字 RS485/Modbus RTU
- 耐壓能力：傳感器可短時承受≤2倍滿量程壓力沖擊
- 材質(zhì)：316L不銹鋼接口，陶瓷/金屬復(fù)合敏感元件，耐腐蝕
- 安裝接口：CF16、KF16、法蘭DN16（可選）
- 防護等級：IP65（控制器部分）
功能特點
復(fù)合傳感架構(gòu)可在不同真空區(qū)間自動切換最佳測量方式，保證全量程線性度與穩(wěn)定性；內(nèi)置溫度補償與零點漂移自校正算法，適應(yīng)長時間連續(xù)運行；支持多通道擴展和遠程校準(zhǔn)；結(jié)構(gòu)緊湊，易集成至真空系統(tǒng)。
使用注意事項
- 安裝前確認真空系統(tǒng)無高壓或顆粒沖擊風(fēng)險，避免傳感器瞬間過壓損壞
- 傳感器需在清潔環(huán)境下安裝，防止油污、粉塵進入敏感腔體影響電容極板絕緣
- 禁止在超過規(guī)定耐壓或逆向壓差條件下使用，尤其從高壓向低壓快速泄壓需加緩沖裝置
- 高真空段測量時避免強電磁干擾源靠近，防止信號失真
- 定期進行零點與量程校準(zhǔn)，建議每6~12個月一次或按工況環(huán)境調(diào)整周期
- 介質(zhì)含腐蝕性成分時需選配專用耐腐蝕版本，并驗證材料兼容性
- 電纜連接須防水防油，屏蔽層單端接地以防共模干擾
- 長期停用應(yīng)置于干燥環(huán)境，避免濕氣侵入導(dǎo)致電路或傳感器失效
- 拆卸維護時注意靜電防護，防止敏感元件擊穿
適用場景
半導(dǎo)體工藝腔室、物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、真空冷凍干燥、高能物理實驗臺、真空冶金爐、分析儀器真空獲得與監(jiān)控。 |
