ZJ-1P-12TBVMT 壓阻真空規(guī)（電容真空規(guī)）
上海雙旭 ZJ-1P-12TBVMT 壓阻/電容復(fù)合真空規(guī)
產(chǎn)品概述
ZJ-1P-12TBVMT 是一款由上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的復(fù)合型真空測(cè)量傳感器。它集成了壓阻式（Pirani）和電容薄膜式（Capacitance Manometer）兩種測(cè)量原理，能夠在從大氣壓到高真空的寬量程范圍內(nèi)提供精確、穩(wěn)定的壓力測(cè)量。該型號(hào)通常配備VMT接頭，適用于工業(yè)真空和科研領(lǐng)域。
核心產(chǎn)品參數(shù)
- 型號(hào)：ZJ-1P-12TBVMT
- 測(cè)量原理：壓阻（低真空段）與電容薄膜（中高真空段）復(fù)合
- 測(cè)量范圍：典型范圍 1.0×105 Pa ~ 1.0×10-1 Pa (760 Torr ~ 約10-3 Torr)，具體取決于傳感器配置
- 精度：電容段精度較高，通�？蛇_(dá)讀數(shù)的0.25%或更高；壓阻段精度稍低，典型為讀數(shù)的1-3%。
- 輸出信號(hào)：通常為模擬信號(hào)（如0-10V DC）或RS485通訊接口，需配套控制器使用。
- 供電要求：由配套控制器或電源提供，常見(jiàn)為24V DC。
- 接液材料：傳感器膜片通常為不銹鋼或特殊合金，密封材料為氟橡膠或金屬密封。
- 過(guò)程連接：VMT快速接頭（或根據(jù)訂單指定的KF、CF法蘭）。
- 適用氣體：氮?dú)獾刃В▽?duì)于電容規(guī)），對(duì)惰性氣體和干燥潔凈氣體測(cè)量準(zhǔn)確，對(duì)輕質(zhì)氣體（如H2、He）需修正。
使用注意事項(xiàng)
- 介質(zhì)兼容性：嚴(yán)禁測(cè)量腐蝕性、易燃易爆、強(qiáng)氧化性、導(dǎo)電性粉塵或會(huì)凝結(jié)在傳感器內(nèi)部的蒸汽。否則會(huì)導(dǎo)致傳感器永久損壞。
- 過(guò)壓保護(hù)：電容薄膜傳感器非常精密，絕對(duì)禁止超過(guò)其規(guī)定的最大耐受壓力（通常為大氣壓或稍高），否則會(huì)導(dǎo)致陶瓷或金屬膜片破裂。
- 清潔與安裝：安裝前確保真空系統(tǒng)管路清潔無(wú)污染。安裝時(shí)避免讓異物、油脂接觸傳感器膜片。對(duì)于VMT接頭，確�？ü堪惭b到位，密封圈完好。
- 供電與接線：務(wù)必在斷電情況下進(jìn)行接線，并確保供電電壓與極性正確，錯(cuò)誤的接線可能燒毀傳感器或控制器。
- 預(yù)熱與校準(zhǔn)：通電后需要一定的預(yù)熱時(shí)間（通常30分鐘以上）以達(dá)到最佳穩(wěn)定性。電容規(guī)需定期進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)，以消除漂移影響。
- 環(huán)境條件：避免在強(qiáng)電磁干擾、劇烈振動(dòng)、溫度急劇變化或冷凝可能發(fā)生的環(huán)境中使用。
- 系統(tǒng)操作：在向真空腔體充入大氣時(shí)，應(yīng)緩慢進(jìn)行，避免氣流直接沖擊傳感器膜片造成過(guò)壓或損壞。
- 維護(hù)：非專(zhuān)業(yè)人員請(qǐng)勿嘗試拆卸傳感器。如被污染，需由廠家或?qū)I(yè)人員進(jìn)行清潔處理。
典型應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體工藝、真空冶金、加速器、空間模擬、冷凍干燥、科研實(shí)驗(yàn)等需要寬量程、高可靠性真空度監(jiān)測(cè)的場(chǎng)合。
注：以上信息基于該系列產(chǎn)品的通用技術(shù)特征。具體技術(shù)指標(biāo)、接口和性能請(qǐng)務(wù)必以上海雙旭電子有限公司提供的官方產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)為準(zhǔn)。 |
