ZJ-14C 高真空規(guī)管(潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī))
上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管屬于冷陰極電離規(guī)(潘寧規(guī))范疇,是一款專門用于高真空、超高真空環(huán)境測量的核心傳感元件。它利用冷陰極放電電離原理,通過檢測真空環(huán)境中氣體電離產(chǎn)生的離子電流來換算真空度,具備無需加熱陰極、抗污染能力強、壽命長等優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空冶煉、空間模擬等工業(yè)及科研領(lǐng)域的真空系統(tǒng)監(jiān)測。
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