ZJ-14C 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）
產(chǎn)品概述
上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管屬于冷陰極電離規(guī)（潘寧規(guī)）范疇，是一款專門用于高真空、超高真空環(huán)境測(cè)量的核心傳感元件。它利用冷陰極放電電離原理，通過(guò)檢測(cè)真空環(huán)境中氣體電離產(chǎn)生的離子電流來(lái)?yè)Q算真空度，具備無(wú)需加熱陰極、抗污染能力強(qiáng)、壽命長(zhǎng)等優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空冶煉、空間模擬等工業(yè)及科研領(lǐng)域的真空系統(tǒng)監(jiān)測(cè)。
核心技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)類別 |
具體參數(shù) |
| 測(cè)量范圍 |
1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁹ Pa |
| 規(guī)管結(jié)構(gòu) |
雙圓柱冷陰極結(jié)構(gòu)，內(nèi)置陽(yáng)極、陰極及磁場(chǎng)組件 |
| 工作電壓 |
直流高壓2000V±100V（需搭配專用ZJ-14C規(guī)管電源使用） |
| 工作磁場(chǎng) |
永久磁鐵提供，磁場(chǎng)強(qiáng)度約0.12T |
| 離子電流范圍 |
1×10⁻¹² ~ 1×10⁻⁴ A（對(duì)應(yīng)測(cè)量真空度區(qū)間） |
| 規(guī)管接口 |
KF16快裝法蘭（可根據(jù)需求定制其他接口形式） |
| 工作環(huán)境溫度 |
-10℃ ~ +50℃ |
| 存儲(chǔ)環(huán)境溫度 |
-20℃ ~ +60℃ |
| 規(guī)管外形尺寸 |
主體直徑φ40mm，總長(zhǎng)度約180mm（不含接口） |
| 使用壽命 |
正常工作條件下≥10000小時(shí) |
使用注意事項(xiàng)
安裝環(huán)節(jié)
- 規(guī)管需垂直安裝，避免因水平放置導(dǎo)致規(guī)管內(nèi)部電極積塵或污染，影響測(cè)量精度；
- 安裝前需清潔真空系統(tǒng)及規(guī)管接口，避免灰塵、油污進(jìn)入規(guī)管內(nèi)部；安裝時(shí)需使用專用密封圈（如氟橡膠圈），并確保接口密封良好，防止漏氣；
- 規(guī)管應(yīng)遠(yuǎn)離真空系統(tǒng)中的放氣源、高溫區(qū)及強(qiáng)磁場(chǎng)干擾源，安裝位置需保證氣體流通順暢，避免測(cè)量死角。
操作使用
- 規(guī)管必須搭配上海雙旭配套的ZJ-14C規(guī)管電源使用，嚴(yán)禁私自搭配其他型號(hào)電源，防止因電壓、電流不匹配損壞規(guī)管；
- 啟動(dòng)測(cè)量前，需確認(rèn)真空系統(tǒng)已抽到預(yù)真空（建議≤1Pa），再開啟規(guī)管電源，避免規(guī)管在低真空（大氣或粗真空）下長(zhǎng)時(shí)間放電，導(dǎo)致電極污染；
- 若真空系統(tǒng)暴露大氣后，需重新抽真空至預(yù)真空狀態(tài)，穩(wěn)定10~15分鐘后再開啟規(guī)管測(cè)量，防止大氣中的水汽、灰塵污染規(guī)管內(nèi)部電極；
- 長(zhǎng)期停用真空系統(tǒng)時(shí)，需先關(guān)閉規(guī)管電源，再關(guān)閉真空機(jī)組，避免規(guī)管在非真空狀態(tài)下閑置。
維護(hù)與保養(yǎng)
- 定期檢查規(guī)管外觀及接口密封情況，若發(fā)現(xiàn)接口松動(dòng)、密封圈老化需及時(shí)處理；
- 若規(guī)管出現(xiàn)測(cè)量值漂移、離子電流異常等情況，可在確保真空系統(tǒng)清潔的前提下，對(duì)規(guī)管進(jìn)行"反電解清潔"（需在專業(yè)人員指導(dǎo)下操作，通過(guò)反向電壓清除電極表面輕度污染）；
- 避免規(guī)管受到機(jī)械碰撞、摔落，防止內(nèi)部電極或磁鐵移位，損壞規(guī)管結(jié)構(gòu)；
- 規(guī)管需存放在干燥、通風(fēng)、無(wú)腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免長(zhǎng)期暴露在高濕度、高污染環(huán)境下。
特別提示：當(dāng)規(guī)管出現(xiàn)測(cè)量值嚴(yán)重偏離真空系統(tǒng)實(shí)際工況，或無(wú)法產(chǎn)生穩(wěn)定離子電流時(shí)，需及時(shí)更換規(guī)管，更換前需對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔，避免新規(guī)管二次污染。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
- 無(wú)熱陰極設(shè)計(jì)：無(wú)需加熱陰極組件，不會(huì)因陰極氧化、蒸發(fā)導(dǎo)致污染，在高污染真空環(huán)境中仍能穩(wěn)定工作；
- 抗污染能力強(qiáng)：冷陰極結(jié)構(gòu)對(duì)油蒸汽、粉塵等污染物的耐受性遠(yuǎn)高于熱陰極規(guī)管，適合復(fù)雜工況的真空測(cè)量；
- 長(zhǎng)壽命特性：避免了熱陰極的損耗問題，正常使用條件下壽命可達(dá)數(shù)萬(wàn)小時(shí)，降低設(shè)備維護(hù)成本；
- 穩(wěn)定性優(yōu)異：內(nèi)置永久磁鐵提供穩(wěn)定磁場(chǎng)，配合優(yōu)化的電極結(jié)構(gòu)，測(cè)量數(shù)據(jù)重復(fù)性好，漂移小。
ZJ-14C 高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）
上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管（潘寧規(guī)/冷陰極電離規(guī)）產(chǎn)品使用說(shuō)明
一、產(chǎn)品概述
上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管屬于冷陰極電離規(guī)（潘寧規(guī)）范疇，主要用于高真空環(huán)境下的壓強(qiáng)測(cè)量，可精準(zhǔn)檢測(cè)10⁻¹～10⁻⁷Pa范圍內(nèi)的真空度，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理、空間模擬等工業(yè)及科研領(lǐng)域。
二、安裝步驟
1. 安裝前請(qǐng)確保真空系統(tǒng)處于大氣狀態(tài)，規(guī)管及連接部位無(wú)雜質(zhì)、油污，避免污染真空環(huán)境。
2. 規(guī)管采用CF法蘭接口，安裝時(shí)需在法蘭密封面放置合格的金屬墊片，使用專用工具均勻擰緊法蘭螺栓，保證密封性能，防止漏氣影響測(cè)量精度。
3. 規(guī)管的電氣連接需嚴(yán)格按照接線說(shuō)明操作，區(qū)分高壓、信號(hào)及接地線，避免接反或短路，連接完成后檢查接線牢固性。
三、操作使用
1. 接通規(guī)管電源前，需確認(rèn)真空系統(tǒng)已達(dá)到預(yù)真空狀態(tài)（通常壓強(qiáng)低于1Pa），防止規(guī)管在高氣壓下啟動(dòng)導(dǎo)致陰極損壞。
2. 打開配套電源設(shè)備，設(shè)置合適的工作參數(shù)，規(guī)管啟動(dòng)后需預(yù)熱15～30分鐘，待輸出信號(hào)穩(wěn)定后開始讀取真空度數(shù)值。
3. 測(cè)量過(guò)程中需實(shí)時(shí)觀察真空度變化，若出現(xiàn)數(shù)值異常波動(dòng)，需檢查真空系統(tǒng)密封性、規(guī)管接線狀態(tài)及電源設(shè)備是否正常。
4. 停止使用時(shí)，先關(guān)閉規(guī)管電源，待真空系統(tǒng)恢復(fù)至大氣狀態(tài)后，再進(jìn)行后續(xù)維護(hù)或拆卸操作。
四、維護(hù)與注意事項(xiàng)
1. 定期檢查規(guī)管密封接口，若發(fā)現(xiàn)墊片老化或密封不良，及時(shí)更換墊片并重新密封。
2. 規(guī)管長(zhǎng)期使用后，內(nèi)部可能會(huì)沉積污染物，影響測(cè)量精度，可在專業(yè)人員指導(dǎo)下進(jìn)行清洗處理，清洗后需充分烘干再投入使用。
3. 避免規(guī)管受到劇烈碰撞或振動(dòng)，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)損壞；存放時(shí)需置于干燥、通風(fēng)環(huán)境，避免接觸腐蝕性氣體。
4. 嚴(yán)禁在規(guī)管未接入真空系統(tǒng)時(shí)通電，防止高壓放電損壞規(guī)管組件。
上海雙旭ZJ-14C高真空規(guī)管產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 寬量程高精度：可覆蓋10⁻¹～10⁻⁷Pa的寬真空度范圍，測(cè)量精度高，能穩(wěn)定輸出準(zhǔn)確的壓強(qiáng)數(shù)值，滿足高真空環(huán)境的精準(zhǔn)檢測(cè)需求。
2. 冷陰極設(shè)計(jì)優(yōu)勢(shì)：采用冷陰極電離原理，無(wú)需加熱陰極，避免了熱陰極規(guī)管因高溫導(dǎo)致的陰極損耗，大大延長(zhǎng)了規(guī)管的使用壽命，降低了維護(hù)成本。
3. 穩(wěn)定性強(qiáng)：在復(fù)雜真空環(huán)境中，規(guī)管輸出信號(hào)穩(wěn)定，抗干擾能力強(qiáng)，不易受環(huán)境溫度、氣體成分變化的影響，確保測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性。
4. 安裝維護(hù)便捷：標(biāo)準(zhǔn)化CF法蘭接口適配多數(shù)真空系統(tǒng)，安裝操作簡(jiǎn)單；日常維護(hù)僅需定期檢查密封狀態(tài)，維護(hù)成本低，減少停機(jī)時(shí)間。
5. 適配性廣泛：可與多種真空測(cè)量控制設(shè)備配套使用，兼容不同類型的真空系統(tǒng)，適用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、科研實(shí)驗(yàn)等多個(gè)領(lǐng)域，具有較強(qiáng)的通用性。 |
