ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì)（超高真空計(jì)）
上海雙旭 ZDV-IC 冷陰極電離真空計(jì)（超高真空計(jì)）介紹
產(chǎn)品概述：ZDV-IC 為上海雙旭電子有限公司研制的冷陰極電離真空計(jì)，專(zhuān)用于測(cè)量超高真空環(huán)境（10⁻³ ~ 10⁻¹⁰ Pa），采用無(wú)熱陰極結(jié)構(gòu)，避免燈絲燒毀風(fēng)險(xiǎn)，適合長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行及惡劣工況下的真空監(jiān)測(cè)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×10⁻³ Pa ~ 1×10⁻¹⁰ Pa（分段線性/對(duì)數(shù)輸出）
- 工作電壓：DC ±15V（控制與供電一體），功耗 ≤5W
- 發(fā)射電流：0.5~5 mA（可調(diào)）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤200 ms（滿量程切換）
- 輸出信號(hào)：0~10V 模擬量 / RS485 數(shù)字通信（可選）
- 耐壓能力：傳感器可短時(shí)承受 1×10⁻² Pa 大氣沖擊（≤10秒）
- 工作溫度：傳感器 -20℃ ~ +80℃，控制器 0℃ ~ +50℃
- 預(yù)熱時(shí)間：≤30 min（達(dá)到穩(wěn)定讀數(shù)）
- 安裝接口：CF16 / KF25 / DN16 ISO-KF（可選法蘭）
- 尺寸重量：傳感器 φ28×120 mm，約 150 g；控制器 160×100×60 mm，約 500 g
功能特點(diǎn)
冷陰極無(wú)燈絲設(shè)計(jì)，壽命長(zhǎng)、抗污染能力強(qiáng)；高靈敏度電離室配合自動(dòng)零點(diǎn)抑制，低真空段亦能精準(zhǔn)測(cè)量；內(nèi)置過(guò)壓保護(hù)與自診斷，異常狀態(tài)自動(dòng)報(bào)警；支持多通道擴(kuò)展與遠(yuǎn)程監(jiān)控，適配真空系統(tǒng)自動(dòng)化集成。
使用注意事項(xiàng)
- 嚴(yán)禁在壓力 ≥1×10⁻² Pa（接近大氣壓）狀態(tài)下長(zhǎng)時(shí)間通電，否則會(huì)導(dǎo)致離子流過(guò)載損壞傳感器。
- 首次安裝或長(zhǎng)期停用后啟用，需按規(guī)程預(yù)熱≥30分鐘，確保讀數(shù)穩(wěn)定后方可記錄數(shù)據(jù)。
- 被測(cè)氣體含油蒸氣、粉塵或腐蝕性成分時(shí)，應(yīng)在真空計(jì)前端加裝冷阱或過(guò)濾裝置，防止污染電離室。
- 避免機(jī)械振動(dòng)與強(qiáng)磁場(chǎng)干擾，傳感器引線須屏蔽并遠(yuǎn)離大功率設(shè)備。
- 定期校準(zhǔn)（建議每12個(gè)月一次），尤其在高精度測(cè)量或關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)前。
- 斷電前若系統(tǒng)處于高真空，應(yīng)先關(guān)閉電離計(jì)電源再放氣，防止瞬時(shí)沖擊。
- 控制器應(yīng)避免潮濕與灰塵侵入，保持通風(fēng)良好，防止過(guò)熱。
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體薄膜沉積、粒子加速器真空系統(tǒng)、表面分析儀器（XPS/AES）、空間模擬艙、科研級(jí)超高真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)等對(duì)真空度穩(wěn)定性與測(cè)量可靠性要求極高的場(chǎng)合。 |
