上海雙旭ZJ-12 超高真空熱陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
ZJ-12超高真空熱陰極電離規(guī)是上海雙旭研發(fā)生產的專業(yè)真空測量器件，采用熱陰極電離原理，可精準測量超高真空區(qū)域的壓強，廣泛應用于真空鍍膜、半導體制造、真空冶煉、空間模擬等科研與工業(yè)領域，為超高真空環(huán)境的監(jiān)測與控制提供可靠數(shù)據(jù)支持。
核心產品參數(shù)
- 測量范圍：1×10⁻¹⁰ Pa ~ 1×10⁻¹ Pa
- 規(guī)管類型：熱陰極電離規(guī)（屬于Bayard-Alpert型規(guī)管結構）
- 陰極材料：氧化釷鎢絲或純鎢絲，具備優(yōu)異的耐高溫和抗中毒性能
- 陽極電壓：200V（典型值）
- 收集極電壓：-25V（典型值）
- 發(fā)射電流：1mA（常規(guī)工作值，可根據(jù)實際需求調整）
- 最高烘烤溫度：300℃（陰極烘烤溫度≤200℃），支持真空系統(tǒng)高溫烘烤除氣
- 規(guī)管接口：通常采用KF25快裝法蘭，可根據(jù)需求定制其他接口類型
- 工作環(huán)境溫度：-10℃ ~ +50℃
- 規(guī)管壽命：在正常超高真空環(huán)境下，陰極壽命可達1000小時以上（具體壽命與使用環(huán)境清潔度相關）
關鍵使用注意事項
- 真空環(huán)境要求：必須在壓強低于1×10⁻¹ Pa的真空環(huán)境下開啟發(fā)射電流，嚴禁在大氣或低真空狀態(tài)下激活陰極，否則陰極會因快速氧化而燒毀。
- 烘烤操作規(guī)范：對真空系統(tǒng)進行烘烤時，需先降低發(fā)射電流或關閉發(fā)射，避免陰極在高溫高氣壓環(huán)境下受損；烘烤溫度不得超過規(guī)管標注的最高限值，且需保證規(guī)管各部件受熱均勻。
- 避免污染中毒：嚴禁在存在大量有機蒸氣、腐蝕性氣體或顆粒物的環(huán)境中使用，此類物質會導致陰極中毒、收集極污染，大幅降低測量精度和規(guī)管壽命。若規(guī)管被污染，可通過長時間高溫烘烤（需控制陰極溫度）嘗試恢復性能。
- 電氣連接規(guī)范：接線時需嚴格按照說明書對應陽極、收集極、陰極的引腳定義，避免接錯電壓導致元件燒毀；規(guī)管電纜應避免與強干擾電源線并行布置，防止電磁干擾影響測量精度。
- 啟動與關機流程：開機時需先確認系統(tǒng)真空度達標，再逐步開啟發(fā)射電流；關機時需先關閉發(fā)射電流，待陰極冷卻后再關閉真空系統(tǒng)，防止陰極在高溫下接觸殘留氣體氧化。
- 校準要求：新規(guī)管安裝或系統(tǒng)維護后，建議通過標準真空校準系統(tǒng)進行校準，確保測量數(shù)據(jù)的準確性；長期使用后，若發(fā)現(xiàn)測量偏差過大，需重新校準。
- 閑置存儲：閑置時需將規(guī)管接口密封，放置在干燥、無腐蝕氣體的環(huán)境中，避免灰塵和濕氣進入規(guī)管內部。
ZJ-12規(guī)管憑借穩(wěn)定的測量性能、寬量程覆蓋和良好的耐高溫烘烤能力，成為超高真空領域可靠的測量工具，使用過程中嚴格遵循操作規(guī)范，可有效延長規(guī)管壽命，保障測量數(shù)據(jù)的精準性。
