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上海雙旭ZDV-I-LED冷陰極電離真空計（超高真空計）

ZDV-I-LED是一款用于測量超高真空環(huán)境的冷陰極電離真空計，采用LED數(shù)字顯示，適用于科研、半導體、真空鍍膜等領(lǐng)域的高真空與超高真空測量。

產(chǎn)品參數(shù)

• 測量范圍：1.0×10⁻⁸ Pa ~ 1.0×10⁻¹ Pa（常規(guī)型號）
• 顯示方式：LED數(shù)碼管顯示，單位Pa
• 控制方式：單片機智能控制，自動量程切換
• 傳感器類型：冷陰極電離規(guī)管（如ZJ-52型）
• 輸出信號：0-10V模擬電壓輸出，對應(yīng)全量程對數(shù)線性
• 通信接口：可選配RS-232或RS-485通訊接口
• 工作環(huán)境：溫度0-40°C，濕度≤85% RH
• 電源要求：AC 220V ±10%，50Hz，功耗約15W
• 外形尺寸：臺式機箱，具體尺寸參考產(chǎn)品手冊

使用注意事項

• 規(guī)管保護：避免在壓強高于1Pa時開啟電離規(guī)，防止規(guī)管燒毀。建議與熱偶計配合使用，在低真空穩(wěn)定后再開啟。
• 清潔與安裝：規(guī)管安裝需保持垂直，連接部位清潔無泄漏，避免油脂或污染物進入真空系統(tǒng)。
• 磁場干擾：冷陰極規(guī)管工作時依賴磁場，應(yīng)遠離強磁場源，避免測量誤差。
• 開機順序：先啟動真空系統(tǒng)，待本底真空達到規(guī)管啟動閾值（通常≤1×10⁻² Pa）后再開啟電離規(guī)電源。
• 氣體類型影響：該儀器針對氮氣（干燥空氣）校準，測量其他氣體需根據(jù)電離系數(shù)進行修正。
• 維護：定期檢查規(guī)管電極污染情況，嚴重污染時需清洗或更換。長期不用應(yīng)保持規(guī)管處于真空狀態(tài)。
• 安全：規(guī)管高壓約2000-4000V，維修前必須斷電并充分放電。