上海雙旭ZDF-5210 高真空數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)（電阻規(guī)/電離規(guī)）

ZDF-5210是上海雙旭推出的一款集電阻規(guī)與電離規(guī)于一體的高真空數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)，可實(shí)現(xiàn)從低真空到超高真空的寬范圍連續(xù)測(cè)量，數(shù)顯讀數(shù)直觀(guān)精準(zhǔn)，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、電子器件制造等工業(yè)及科研領(lǐng)域。

核心產(chǎn)品參數(shù)

• 測(cè)量范圍：電阻規(guī)10⁵Pa～10⁻¹Pa，電離規(guī)10⁻¹Pa～10⁻⁵Pa（部分型號(hào)可擴(kuò)展至10⁻⁶Pa），復(fù)合測(cè)量覆蓋大氣至超高真空區(qū)間
• 規(guī)管配置：標(biāo)配電阻規(guī)管（如ZJ-52T）+電離規(guī)管（如ZJ-27），支持規(guī)管類(lèi)型自定義適配
• 顯示精度：數(shù)字顯示分辨率0.1Pa（低真空段）、1×10⁻ⁿPa（高真空段），測(cè)量誤差≤±10%（滿(mǎn)量程）
• 控制功能：具備真空度上下限報(bào)警輸出（繼電器觸點(diǎn)信號(hào)），可聯(lián)動(dòng)真空系統(tǒng)閥門(mén)、泵組等設(shè)備
• 操作界面：LED數(shù)字顯示屏，按鍵式操作，支持單位切換（Pa/Torr/mbar）、數(shù)據(jù)鎖定、規(guī)管校準(zhǔn)
• 電源規(guī)格：AC 220V±10%，50Hz，功率≤30W
• 工作環(huán)境：溫度0℃～40℃，相對(duì)濕度≤80%（無(wú)冷凝），無(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)、強(qiáng)振動(dòng)環(huán)境
• 外觀(guān)尺寸：臺(tái)式機(jī)型約240mm×280mm×100mm（長(zhǎng)×寬×高），支持嵌入式機(jī)柜安裝

使用注意事項(xiàng)

規(guī)管安裝與防護(hù)：電阻規(guī)和電離規(guī)需嚴(yán)格按照說(shuō)明書(shū)要求垂直或水平安裝于真空系統(tǒng)的規(guī)管座上，確保規(guī)管與系統(tǒng)連接密封可靠；電離規(guī)在大氣狀態(tài)下禁止通電，避免規(guī)管燈絲燒毀，需待系統(tǒng)真空度達(dá)到10⁻¹Pa以下時(shí)再開(kāi)啟電離規(guī)測(cè)量。

開(kāi)機(jī)與停機(jī)操作：開(kāi)機(jī)前先檢查電源連接是否正確，確認(rèn)真空系統(tǒng)處于安全狀態(tài)；開(kāi)機(jī)后優(yōu)先啟動(dòng)電阻規(guī)測(cè)量，待真空度降至電離規(guī)啟動(dòng)閾值后，再切換至電離規(guī)模式；停機(jī)前需先關(guān)閉電離規(guī)電源，再逐步關(guān)閉真空泵，避免高真空狀態(tài)下規(guī)管暴露于大氣。

日常維護(hù)與校準(zhǔn)：定期檢查規(guī)管清潔度，若規(guī)管玻璃內(nèi)壁出現(xiàn)發(fā)黑、積垢現(xiàn)象，需及時(shí)更換規(guī)管；每半年至一年需進(jìn)行一次精度校準(zhǔn)，可使用標(biāo)準(zhǔn)真空比對(duì)系統(tǒng)或校準(zhǔn)規(guī)管完成校準(zhǔn)操作。

異常情況處理：若顯示數(shù)值異常波動(dòng)、無(wú)讀數(shù)或報(bào)警誤觸發(fā)，需先檢查規(guī)管連接線(xiàn)是否松動(dòng)、規(guī)管是否損壞；如遇真空度無(wú)法達(dá)標(biāo)，需排查系統(tǒng)密封泄漏、泵組性能下降等問(wèn)題，而非單純調(diào)整儀表參數(shù)。

安全規(guī)范：設(shè)備運(yùn)行時(shí)外殼需可靠接地，避免靜電干擾；禁止在易燃易爆、腐蝕性氣體環(huán)境中使用；非專(zhuān)業(yè)人員不得擅自拆卸主機(jī)及規(guī)管內(nèi)部組件，防止高壓電路觸電損壞。