ZDY-IV01 壓阻真空計(jì)（真空規(guī)/壓阻規(guī)）
上海雙旭 ZDY-IV01 壓阻真空計(jì)
產(chǎn)品概述：ZDY-IV01 壓阻真空計(jì)由上海雙旭電子科技有限公司研發(fā)，采用壓阻式傳感原理，用于測量氣體絕對壓力，量程覆蓋中低真空范圍。適用于科研、半導(dǎo)體、鍍膜、真空爐及各類工業(yè)真空系統(tǒng)的壓力監(jiān)測與控制。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：壓阻式（Piezo-resistive）
- 測量范圍：105 ~ 10-1 Pa（約760 Torr ~ 0.001 Torr）
- 精度等級：±1% F.S.（滿量程）
- 分辨率：≤1% F.S.
- 響應(yīng)時(shí)間：< 500 ms（典型值）
- 工作溫度：0℃ ~ +50℃（傳感器部分可耐 -20℃ ~ +80℃）
- 供電電壓：DC 24V ±10%
- 輸出信號(hào)：4~20 mA（兩線制）/ RS485（可選）
- 防護(hù)等級：IP65（外殼）
- 材質(zhì)：不銹鋼接口，陶瓷傳感器芯體
- 安裝方式：KF16/KF25/法蘭等（依型號(hào)配置）
- 重量：約200 g
- 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)：符合 JJG 932-1998 壓力控制器檢定規(guī)程
功能特點(diǎn)
采用高穩(wěn)定性壓阻芯片，長期漂移小；具備溫度補(bǔ)償，保證不同工況下測量一致性；結(jié)構(gòu)緊湊，易集成至真空系統(tǒng)；支持多種通訊接口，方便與 PLC/DCS 或數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)對接；抗振動(dòng)沖擊性能較好，適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)被測介質(zhì)與傳感器材質(zhì)兼容，避免腐蝕性氣體或顆粒進(jìn)入導(dǎo)致?lián)p壞。
- 禁止在超過最大耐壓（≥150% F.S.）條件下使用，否則會(huì)永久損壞傳感器。
- 在高真空段（<10-1 Pa）測量時(shí)，壓阻規(guī)靈敏度下降，需結(jié)合電離規(guī)使用以獲得更寬量程覆蓋。
- 通電前應(yīng)檢查供電極性及電壓范圍，防止反接或過壓燒毀電路。
- 傳感器應(yīng)避免劇烈機(jī)械沖擊和強(qiáng)磁場干擾，以免影響零點(diǎn)及靈敏度。
- 定期校準(zhǔn)（建議每 12 個(gè)月一次），確保測量精度；校準(zhǔn)應(yīng)在與工況相近的溫度和壓力下進(jìn)行。
- 介質(zhì)溫度變化較大時(shí)，應(yīng)等待熱平衡后再讀數(shù)，以免溫度漂移影響結(jié)果。
- 清潔維護(hù)時(shí)勿用有機(jī)溶劑浸泡傳感器本體，僅可用干燥壓縮空氣或惰性氣體吹掃。
- 信號(hào)電纜應(yīng)選用屏蔽線并良好接地，減少電磁干擾對輸出穩(wěn)定性的影響。
典型應(yīng)用
真空獲得設(shè)備監(jiān)控、真空干燥箱壓力檢測、薄膜沉積工藝過程控制、制冷系統(tǒng)低壓側(cè)測量、科學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)真空度反饋。 |
