ZDY-IV01 壓阻真空計(真空規(guī)/壓阻規(guī))
上海雙旭 ZDY-IV01 壓阻真空計
產(chǎn)品概述:ZDY-IV01 壓阻真空計由上海雙旭電子科技有限公司研發(fā),采用壓阻式傳感原理,用于測量氣體絕對壓力,量程覆蓋中低真空范圍。適用于科研、半導(dǎo)體、鍍膜、真空爐及各類工業(yè)真空系統(tǒng)的壓力監(jiān)測與控制。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理:壓阻式(Piezo-resistive)
- 測量范圍:105 ~ 10-1 Pa(約760 Torr ~ 0.001 Torr)
- 精度等級:±1% F.S.(滿量程)
- 分辨率:≤1% F.S.
- 響應(yīng)時間:< 500 ms(典型值)
- 工作溫度:0℃ ~ +50℃(傳感器部分可耐 -20℃ ~ +80℃)
- 供電電壓:DC 24V ±10%
- 輸出信號:4~20 mA(兩線制)/ RS485(可選)
- 防護等級:IP65(外殼)
- 材質(zhì):不銹鋼接口,陶瓷傳感器芯體
- 安裝方式:KF16/KF25/法蘭等(依型號配置)
- 重量:約200 g
- 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn):符合 JJG 932-1998 壓力控制器檢定規(guī)程
功能特點
采用高穩(wěn)定性壓阻芯片,長期漂移。痪邆錅囟妊a償,保證不同工況下測量一致性;結(jié)構(gòu)緊湊,易集成至真空系統(tǒng);支持多種通訊接口,方便與 PLC/DCS 或數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)對接;抗振動沖擊性能較好,適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境。
使用注意事項
- 安裝前確認被測介質(zhì)與傳感器材質(zhì)兼容,避免腐蝕性氣體或顆粒進入導(dǎo)致?lián)p壞。
- 禁止在超過最大耐壓(≥150% F.S.)條件下使用,否則會永久損壞傳感器。
- 在高真空段(<10-1 Pa)測量時,壓阻規(guī)靈敏度下降,需結(jié)合電離規(guī)使用以獲得更寬量程覆蓋。
- 通電前應(yīng)檢查供電極性及電壓范圍,防止反接或過壓燒毀電路。
- 傳感器應(yīng)避免劇烈機械沖擊和強磁場干擾,以免影響零點及靈敏度。
- 定期校準(zhǔn)(建議每 12 個月一次),確保測量精度;校準(zhǔn)應(yīng)在與工況相近的溫度和壓力下進行。
- 介質(zhì)溫度變化較大時,應(yīng)等待熱平衡后再讀數(shù),以免溫度漂移影響結(jié)果。
- 清潔維護時勿用有機溶劑浸泡傳感器本體,僅可用干燥壓縮空氣或惰性氣體吹掃。
- 信號電纜應(yīng)選用屏蔽線并良好接地,減少電磁干擾對輸出穩(wěn)定性的影響。
典型應(yīng)用
真空獲得設(shè)備監(jiān)控、真空干燥箱壓力檢測、薄膜沉積工藝過程控制、制冷系統(tǒng)低壓側(cè)測量、科學(xué)實驗平臺真空度反饋。
ZDY-IV01 壓阻真空計(真空規(guī)/壓阻規(guī))
上海雙旭ZDY-IV01壓阻真空計(真空規(guī)/壓阻規(guī))
產(chǎn)品使用說明
1. 安裝準(zhǔn)備:安裝前需確認真空系統(tǒng)處于無泄漏、無雜質(zhì)狀態(tài),選擇干燥、通風(fēng)且無強電磁干擾的環(huán)境進行安裝。將壓阻規(guī)通過適配接口與真空系統(tǒng)連接,確保接口密封良好,避免因漏氣影響測量精度。安裝過程中避免碰撞壓阻規(guī)敏感元件,防止損壞內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
2. 開機與校準(zhǔn):接通電源后,設(shè)備進入預(yù)熱模式,預(yù)熱時間建議不少于30分鐘,待系統(tǒng)穩(wěn)定后進行校準(zhǔn)操作?筛鶕(jù)實際需求選擇零點校準(zhǔn)或滿量程校準(zhǔn),校準(zhǔn)時需使用標(biāo)準(zhǔn)真空源作為參照,按照設(shè)備說明書步驟完成參數(shù)設(shè)置,確保測量基準(zhǔn)準(zhǔn)確。
3. 測量操作:校準(zhǔn)完成后,進入測量界面,設(shè)備將實時顯示真空度數(shù)值。如需記錄數(shù)據(jù),可通過設(shè)備自帶的數(shù)據(jù)存儲功能或連接外部計算機進行數(shù)據(jù)導(dǎo)出。測量過程中若出現(xiàn)數(shù)值異常波動,需檢查真空系統(tǒng)密封性或壓阻規(guī)連接狀態(tài),排除故障后再繼續(xù)測量。
4. 維護與保養(yǎng):定期檢查壓阻規(guī)接口密封性,清理接口處的灰塵和雜質(zhì);每月進行一次零點校準(zhǔn),確保測量精度。避免壓阻規(guī)接觸腐蝕性氣體或液體,如遇污染需及時使用專用清潔劑清潔。長期不使用時,應(yīng)斷開電源,將壓阻規(guī)存放在干燥、陰涼的環(huán)境中,并做好防塵保護。
5. 注意事項:設(shè)備運行過程中禁止打開外殼,防止觸電;若出現(xiàn)故障,需聯(lián)系專業(yè)維修人員進行處理,切勿自行拆解;測量高真空環(huán)境時,需確保壓阻規(guī)符合對應(yīng)量程要求,避免超量程使用造成元件損壞。
產(chǎn)品優(yōu)點
1. 寬量程高精度:ZDY-IV01壓阻真空計覆蓋寬量程真空測量范圍,從低真空到高真空環(huán)境均可精準(zhǔn)測量,測量精度可達行業(yè)先進水平,能滿足多數(shù)工業(yè)生產(chǎn)、科研實驗對真空度的嚴苛要求。
2. 響應(yīng)速度快:采用高性能壓阻式敏感元件,對真空度變化的響應(yīng)時間短,可實時反饋真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力變化,尤其適用于動態(tài)真空環(huán)境的監(jiān)測與控制,幫助用戶及時調(diào)整系統(tǒng)參數(shù)。
3. 穩(wěn)定性強:設(shè)備具備良好的抗干擾能力,可在復(fù)雜電磁環(huán)境下穩(wěn)定運行,測量數(shù)值波動小。同時,元件材質(zhì)經(jīng)過特殊處理,耐磨損、耐腐蝕,長期使用仍能保持出色的性能穩(wěn)定性。
4. 操作便捷:配備人性化操作界面,菜單設(shè)計簡潔易懂,用戶無需復(fù)雜培訓(xùn)即可快速上手。支持數(shù)據(jù)存儲、導(dǎo)出功能,方便后續(xù)數(shù)據(jù)分析與記錄,提升工作效率。
5. 適配性廣:提供多種規(guī)格的連接接口,可與不同類型的真空系統(tǒng)靈活適配,適用于電子制造、半導(dǎo)體加工、真空鍍膜、科研實驗室等多種場景,具備較強的通用性。 |