ZDR-10BV01 熱陰極電離真空計（電離規(guī)）
上海雙旭 ZDR-10BV01 熱陰極電離真空計（電離規(guī)）介紹
產品概述：ZDR-10BV01 為上海雙旭電子有限公司推出的熱陰極電離真空計，基于熱陰極發(fā)射電子與氣體分子碰撞產生離子電流的原理測量真空度，適用于高真空及超高真空環(huán)境，可集成于真空系統(tǒng)實現實時壓力監(jiān)測與控制。
產品參數
- 測量范圍：1×10⁻¹ Pa ～ 1×10⁻⁷ Pa（部分型號可擴展至 1×10⁻⁸ Pa）
- 精度等級：±15%（在額定范圍內）
- 響應時間：≤ 1 s（從大氣壓到工作真空狀態(tài)穩(wěn)定讀數）
- 工作電壓：加熱燈絲 DC 6.3 V ±0.5 V；加速極/收集極高壓 DC 0～+1000 V（可調）
- 燈絲材料：鎢絲或銥鎢合金（耐高溫、抗中毒）
- 發(fā)射電流：0.5 mA～5 mA（可調，常用 1 mA）
- 工作溫度：環(huán)境溫度 5 ℃～40 ℃；規(guī)管殼體耐溫 ≤200 ℃
- 預熱時間：≤ 3 min（達到穩(wěn)定發(fā)射）
- 接口類型：標準 CF16 / KF16 法蘭（可選配其他規(guī)格）
- 輸出信號：模擬量 0～10 V 或 4～20 mA（與真空度線性對應）
- 供電要求：DC 24 V ±10%，功率 ≤5 W
- 防護等級：IP54（規(guī)管主體），控制器 IP20
使用注意事項
- 規(guī)管必須在真空度低于 1×10⁻¹ Pa 時才能通電加熱燈絲，否則高溫燈絲會與大氣氧反應燒毀。
- 避免暴露于含大量可凝性蒸氣（如水、油霧、有機溶劑）的環(huán)境，防止燈絲污染中毒導致靈敏度下降或失效。
- 安裝時確保規(guī)管法蘭密封良好，防止漏氣造成測量誤差或損壞規(guī)管。
- 高壓電極嚴禁接觸金屬外殼或其他導體，以防電擊及電路損壞。
- 更換燈絲或維護前必須切斷規(guī)管電源并充分放氣至常壓，防止殘余電荷擊穿或燙傷。
- 在高氧氣分壓（＞10⁻³ Pa）或腐蝕性氣體環(huán)境下禁止使用，以免燈絲快速氧化腐蝕。
- 規(guī)管長期停用應存放在干燥潔凈環(huán)境，建議定期通電檢查發(fā)射穩(wěn)定性。
- 信號線需屏蔽并遠離強電磁干擾源，避免輸出波動影響測量準確性。
- 校準周期建議每 12 個月一次，使用已知真空基準進行比對。
功能特點
采用熱陰極電離原理，具備寬量程、高靈敏度特性；結構緊湊易集成，適配多種真空系統(tǒng)；內置防過載保護，延長燈絲壽命；支持多種輸出接口便于數據采集與自動化控制。 |
