RBF-181 電阻電離復(fù)合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計(jì)）
上海雙旭 RBF-181 電阻電離復(fù)合真空變送器（皮拉尼冷陰極真空計(jì)）介紹
產(chǎn)品概述：RBF-181 為上海雙旭電子有限公司研制的電阻電離復(fù)合式真空測量儀器，集成皮拉尼熱導(dǎo)與冷陰極離子化兩種測量原理，可在寬量程范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高精度真空度檢測，適用于科研、半導(dǎo)體、鍍膜、真空爐及分析儀器等場景。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：皮拉尼熱導(dǎo) + 冷陰極（潘寧放電）復(fù)合式
- 測量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-8 Pa（連續(xù)覆蓋）
- 分 辨 率：≤0.01 Pa（高真空段可達(dá) 1×10-9 Pa 顯示分辨率）
- 精 度：±15%（皮拉尼段），±30%（冷陰極段，取決于氣體種類）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤1 s（皮拉尼段），≤2 s（冷陰極段切換）
- 工作溫度：0℃ ~ 50℃
- 存儲(chǔ)溫度：-20℃ ~ 70℃
- 供電電壓：DC 24 V ±10%，功耗 ≤5 W
- 輸出信號(hào)：模擬 0~10 V / 4~20 mA（可選），RS485/Modbus（可選）
- 探頭耐溫：≤100℃（傳感器部分）
- 耐壓能力：≤2000 Pa（瞬間），連續(xù)運(yùn)行≤1500 Pa
- 氣體兼容性：空氣、N2、O2、Ar、He 等，特殊氣體需校準(zhǔn)
- 安裝接口：CF16 / KF16 / DN16（可定制）
- 重量：約 250 g（不含電纜）
功能特點(diǎn)
采用雙原理自動(dòng)切換技術(shù)，低真空由皮拉尼快速響應(yīng)，進(jìn)入中高真空后自動(dòng)切入冷陰極提高靈敏度；內(nèi)置溫度補(bǔ)償和防污染算法，提升長期穩(wěn)定性；結(jié)構(gòu)緊湊，法蘭兼容主流真空系統(tǒng)，適配多種工業(yè)總線與模擬控制系統(tǒng)。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前確認(rèn)法蘭規(guī)格與系統(tǒng)匹配，避免漏氣；安裝時(shí)保持探頭垂直或按說明書指定方向，防止熱偶絲與陰極受機(jī)械應(yīng)力。
- 通電前確保真空腔體壓力在測量范圍內(nèi)，禁止在高壓強(qiáng)（＞1×105 Pa）下直接啟動(dòng)冷陰極，以防陰極損壞。
- 首次使用或長時(shí)間停用后，需在進(jìn)氣過程中逐步降壓，避免壓差沖擊損壞皮拉尼元件。
- 冷陰極對油污、粉塵、水汽敏感，高污染環(huán)境應(yīng)先加防護(hù)或定期清潔/更換探頭。
- 不同氣體類型會(huì)影響冷陰極校準(zhǔn)系數(shù)，測非標(biāo)氣體需重新標(biāo)定或使用修正系數(shù)。
- 避免探頭暴露于超過 100℃ 的熱源或機(jī)械振動(dòng)環(huán)境，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)位移影響精度。
- 模擬輸出型注意負(fù)載阻抗匹配，RS485 通信需設(shè)正確波特率及地址，防止通訊異常。
- 定期（建議每 6~12 個(gè)月）進(jìn)行零點(diǎn)與量程檢查，必要時(shí)返廠或經(jīng)培訓(xùn)人員校準(zhǔn)。
- 斷電前若系統(tǒng)為高真空，應(yīng)避免快速進(jìn)氣至大氣壓，應(yīng)緩慢破空以防熱脹冷縮損傷元件。
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