ZDF-5227V01 電阻電離復(fù)合真空計(jì)
上海雙旭 ZDF-5227V01 電阻電離復(fù)合真空計(jì)
產(chǎn)品概述
ZDF-5227V01 是一款由上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的電阻規(guī)與電離規(guī)復(fù)合型真空測(cè)量?jī)x器，用于寬范圍高精度的真空度測(cè)量與監(jiān)控，廣泛應(yīng)用于科研、真空鍍膜、半導(dǎo)體、制冷等行業(yè)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍： 1.0×105 ~ 1.0×10-5 Pa (電阻規(guī)：1.0×105 ~ 1.0×10-1 Pa；電離規(guī)：1.0×10-1 ~ 1.0×10-5 Pa)
- 控制輸出： 標(biāo)配繼電器觸點(diǎn)輸出，用于自動(dòng)控制或報(bào)警。
- 顯示方式： 數(shù)碼管或液晶顯示，實(shí)時(shí)顯示壓強(qiáng)值。
- 規(guī)管型號(hào)： 配套電阻規(guī)（如ZJ-52T）和電離規(guī)（如ZJ-27）。
- 電源要求： AC 220V ±10%， 50/60Hz。
- 工作環(huán)境： 溫度 0~40°C，濕度 ≤85% RH。
- 外形尺寸： 臺(tái)式或面板安裝式結(jié)構(gòu)，具體尺寸請(qǐng)參考產(chǎn)品手冊(cè)。
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管保護(hù)： 電離規(guī)必須在真空度優(yōu)于0.1Pa時(shí)方可開(kāi)啟加熱除氣或使用，防止燈絲氧化燒毀。在粗真空階段僅使用電阻規(guī)進(jìn)行測(cè)量。
- 系統(tǒng)清潔： 確保被測(cè)真空系統(tǒng)清潔，避免油蒸氣、粉塵等污染物進(jìn)入規(guī)管，影響測(cè)量精度與規(guī)管壽命。
- 通電順序： 先啟動(dòng)真空系統(tǒng)抽氣，待真空度達(dá)到電阻規(guī)有效測(cè)量范圍后，再給真空計(jì)通電。關(guān)機(jī)時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉電離規(guī)，待其冷卻后再切斷總電源。
- 防止過(guò)壓： 嚴(yán)禁在高于大氣壓或電阻規(guī)量程上限的條件下開(kāi)啟規(guī)管，以免損壞傳感器。
- 定期校準(zhǔn)： 為保證測(cè)量準(zhǔn)確性，建議根據(jù)使用頻率定期對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)。
- 環(huán)境要求： 儀器應(yīng)放置于通風(fēng)良好、無(wú)強(qiáng)電磁干擾、無(wú)腐蝕性氣體的環(huán)境中使用。
- 專業(yè)操作： 操作人員需具備基本的真空技術(shù)知識(shí)，詳細(xì)操作請(qǐng)務(wù)必參閱隨機(jī)的官方說(shuō)明書(shū)。
ZDF-5227V01 電阻電離復(fù)合真空計(jì)
上海雙旭 ZDF-5227V01 電阻電離復(fù)合真空計(jì) 產(chǎn)品使用說(shuō)明
1. 安裝與連接
將電阻規(guī)（ZJ-52T）和電離規(guī)（ZJ-27）分別對(duì)應(yīng)連接至儀器背面“電阻”和“電離”接口。確保供電電源為AC 220V±10%，頻率50/60Hz。開(kāi)機(jī)前檢查真空系統(tǒng)密封性，避免漏氣導(dǎo)致測(cè)量誤差。
2. 操作步驟
接通電源后，儀器自動(dòng)進(jìn)入“電阻模式”進(jìn)行低真空測(cè)量（10^5 ~ 10^-1 Pa）。當(dāng)系統(tǒng)壓力降至2.0×10^-1 Pa以下時(shí)，需手動(dòng)按下“電離啟動(dòng)”鍵，切換至電離模式測(cè)量高真空（10^-1 ~ 10^-5 Pa）。注意：電離規(guī)絲式電子發(fā)射電流默認(rèn)設(shè)定為0.5mA，非必要勿修改。
3. 校準(zhǔn)與維護(hù)
建議每季度使用標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)進(jìn)行比對(duì)校準(zhǔn)。電阻規(guī)零點(diǎn)偏移時(shí)，可在大氣壓下調(diào)節(jié)“零點(diǎn)”旋鈕歸零。電離規(guī)污染需拆下用丙酮清洗并烘干，禁止用手觸摸燈絲。長(zhǎng)期閑置時(shí)應(yīng)關(guān)閉電離燈絲供電。
4. 常見(jiàn)故障處理
若電阻模式顯示“Err”，檢查規(guī)管連接或更換。電離模式無(wú)故中斷可能是燈絲老化，需更換新規(guī)管。所有更換操作必須斷電進(jìn)行。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. 寬量程覆蓋
通過(guò)電阻與電離復(fù)合技術(shù)，實(shí)現(xiàn)10^5至10^-5 Pa的連續(xù)測(cè)量，無(wú)需頻繁切換不同儀表，簡(jiǎn)化真空系統(tǒng)監(jiān)測(cè)流程。
2. 高精度與穩(wěn)定性
電離部分采用恒流控制電路，電子發(fā)射波動(dòng)小于0.1%，配合數(shù)字線性化補(bǔ)償，在10^-3~10^-5 Pa范圍內(nèi)測(cè)量誤差＜5%。電阻部分溫度漂移自動(dòng)修正，冷熱環(huán)境均可信賴。
3. 快速響應(yīng)與保護(hù)機(jī)制
電離規(guī)燈絲具備壓力超限自動(dòng)斷電功能，當(dāng)系統(tǒng)意外漏氣升至10^-1 Pa以上時(shí)，立即切斷燈絲電源，防止氧化損壞。響應(yīng)時(shí)間<0.5秒，適應(yīng)快速變化的真空工藝。
4. 易用性設(shè)計(jì)
LED雙行數(shù)字顯示屏同時(shí)顯示當(dāng)前壓強(qiáng)與模式（R/離子），無(wú)刻度讀數(shù)誤差。支持RS-485可選通訊接口，便于遠(yuǎn)程集成。體積緊湊（1/2 19英寸機(jī)箱），可安裝于標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜。 |
