ZDF-5227V01 電阻電離復(fù)合真空計
上海雙旭 ZDF-5227V01 電阻電離復(fù)合真空計
產(chǎn)品概述
ZDF-5227V01 是一款由上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的電阻規(guī)與電離規(guī)復(fù)合型真空測量儀器，用于寬范圍高精度的真空度測量與監(jiān)控，廣泛應(yīng)用于科研、真空鍍膜、半導(dǎo)體、制冷等行業(yè)。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍： 1.0×105 ~ 1.0×10-5 Pa (電阻規(guī)：1.0×105 ~ 1.0×10-1 Pa；電離規(guī)：1.0×10-1 ~ 1.0×10-5 Pa)
- 控制輸出： 標(biāo)配繼電器觸點輸出，用于自動控制或報警。
- 顯示方式： 數(shù)碼管或液晶顯示，實時顯示壓強值。
- 規(guī)管型號： 配套電阻規(guī)（如ZJ-52T）和電離規(guī)（如ZJ-27）。
- 電源要求： AC 220V ±10%， 50/60Hz。
- 工作環(huán)境： 溫度 0~40°C，濕度 ≤85% RH。
- 外形尺寸： 臺式或面板安裝式結(jié)構(gòu)，具體尺寸請參考產(chǎn)品手冊。
使用注意事項
- 規(guī)管保護： 電離規(guī)必須在真空度優(yōu)于0.1Pa時方可開啟加熱除氣或使用，防止燈絲氧化燒毀。在粗真空階段僅使用電阻規(guī)進行測量。
- 系統(tǒng)清潔： 確保被測真空系統(tǒng)清潔，避免油蒸氣、粉塵等污染物進入規(guī)管，影響測量精度與規(guī)管壽命。
- 通電順序： 先啟動真空系統(tǒng)抽氣，待真空度達到電阻規(guī)有效測量范圍后，再給真空計通電。關(guān)機時，應(yīng)先關(guān)閉電離規(guī)，待其冷卻后再切斷總電源。
- 防止過壓： 嚴(yán)禁在高于大氣壓或電阻規(guī)量程上限的條件下開啟規(guī)管，以免損壞傳感器。
- 定期校準(zhǔn)： 為保證測量準(zhǔn)確性，建議根據(jù)使用頻率定期對儀器進行校準(zhǔn)。
- 環(huán)境要求： 儀器應(yīng)放置于通風(fēng)良好、無強電磁干擾、無腐蝕性氣體的環(huán)境中使用。
- 專業(yè)操作： 操作人員需具備基本的真空技術(shù)知識，詳細操作請務(wù)必參閱隨機的官方說明書。
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