上海雙旭ZDF-5227BZ 復(fù)合真空計（電阻電離真空計）

產(chǎn)品概述

上海雙旭ZDF-5227BZ復(fù)合真空計是一款集成電阻真空計與電離真空計功能的高精度真空測量設(shè)備，可實現(xiàn)從低真空到高真空的寬范圍連續(xù)測量。設(shè)備結(jié)合了電阻式真空計在低真空段的穩(wěn)定性和電離真空計在高真空段的高靈敏度，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理、科研實驗室等對真空度測量有嚴(yán)格要求的場景。

核心技術(shù)參數(shù)

• 測量范圍：電阻計10⁵～10⁻¹ Pa，電離計10⁻²～10⁻⁵ Pa，復(fù)合量程覆蓋10⁵～10⁻⁵ Pa
• 測量精度：電阻計±10%（滿量程），電離計±15%（滿量程）
• 顯示方式：4位LED數(shù)碼管顯示，可切換電阻/電離測量模式，實時顯示真空度數(shù)值及單位
• 控制功能：具備真空度超限報警功能，可自定義上下限報警閾值；支持繼電器輸出，可聯(lián)動控制真空設(shè)備
• 規(guī)管配置：標(biāo)配ZJ-52T電阻規(guī)管+ZJ-27電離規(guī)管，規(guī)管與主機采用航空插頭連接，安裝便捷
• 電源要求：AC 220V±10%，50Hz，功耗≤30W
• 工作環(huán)境：溫度0～40℃，相對濕度≤80%（無冷凝），無強電磁場干擾環(huán)境
• 外形尺寸：主機160mm×80mm×220mm（寬×高×深），符合標(biāo)準(zhǔn)機柜安裝尺寸（19英寸2U規(guī)格）
• 接口配置：RS485通訊接口（可選），支持MODBUS協(xié)議，可實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)采集

使用注意事項

1. 規(guī)管安裝與維護：規(guī)管應(yīng)垂直安裝于真空系統(tǒng)的平直管道段，避免靠近閥門、泵口或氣流死角；電阻規(guī)管需定期清潔電極表面，電離規(guī)管在暴露大氣后需進行除氣處理（開啟規(guī)管除氣功能10～30分鐘），防止污染影響測量精度。

2. 開機與操作規(guī)范：開機前需確認(rèn)真空系統(tǒng)已達(dá)到低真空狀態(tài)（≤10 Pa），再開啟電離計模式，禁止在大氣壓下啟動電離規(guī)管，否則會燒毀規(guī)管燈絲；切換測量模式時，需等待2～3秒讓系統(tǒng)穩(wěn)定后讀取數(shù)據(jù)。

3. 環(huán)境與電源防護：設(shè)備應(yīng)避免安裝在高溫、高濕或有腐蝕性氣體的環(huán)境中，主機需可靠接地；電源線路需避免與大功率設(shè)備同路，防止電壓波動損壞內(nèi)部電路。

4. 故障排查與保養(yǎng)：若出現(xiàn)顯示不穩(wěn)定或數(shù)值異常，先檢查規(guī)管連接是否松動，真空系統(tǒng)是否存在泄漏；長期不使用時，需關(guān)閉電源并將規(guī)管密封保存，防止灰塵進入；每12個月需對設(shè)備進行校準(zhǔn)，可聯(lián)系廠家或第三方計量機構(gòu)進行精度校準(zhǔn)。

5. 電離規(guī)管燈絲保護：電離規(guī)管燈絲為易損件，連續(xù)工作時間建議不超過8小時；當(dāng)真空度高于10⁻² Pa時，應(yīng)及時關(guān)閉電離計，延長燈絲使用壽命。