ZDF-5227AXV01 電阻電離復合真空計
上海雙旭 ZDF-5227AXV01 電阻電離復合真空計
產(chǎn)品概述
ZDF-5227AXV01 為上海雙旭電子有限公司研制的電阻電離復合式真空計，集成熱阻規(guī)與電離規(guī)測量原理，覆蓋從大氣壓至超高真空寬范圍壓力檢測。適用于科研、半導體、真空鍍膜、分析儀器等需要精確真空監(jiān)控的場合，具備自動量程切換與數(shù)字顯示功能。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁸ Pa（電阻規(guī) 1×10⁵~1×10⁻² Pa；電離規(guī) 1×10⁻¹~1×10⁻⁸ Pa）
- 分辨率：電阻規(guī) ≤0.1% FS；電離規(guī) ≤5% RD（滿量程或讀數(shù)）
- 精度等級：±15%（電阻規(guī)，1×10⁴~1×10⁻² Pa）；±30%（電離規(guī)，1×10⁻¹~1×10⁻⁷ Pa）
- 響應時間：<1 s（電阻規(guī)）；<2 s（電離規(guī)切換后穩(wěn)定）
- 工作溫度：5℃~40℃；存儲溫度：-20℃~60℃
- 供電電源：AC 220V ±10%，50/60 Hz，功耗≤25 W
- 顯示方式：4位 LED 數(shù)字顯示，帶單位指示（Pa、Torr、mbar 可選）
- 控制接口：RS-485/RS-232（可選），支持模擬輸出 0~10 V / 4~20 mA
- 規(guī)管類型：標配 ZJ-52T 電阻規(guī) + ZJ-14 電離規(guī)（可替換兼容型號）
- 安裝方式：面板嵌入式或支架固定，法蘭接口 CF16/CF35/KF16（依規(guī)管定）
- 防護等級：IP20（面板部分）
工作原理
采用雙規(guī)復合測量：在低真空段由電阻規(guī)（皮拉尼）通過熱敏元件溫度變化換算壓力；進入中高真空段自動切換至電離規(guī)，利用氣體分子電離產(chǎn)生的離子流與壓力線性關(guān)系檢測。控制電路實時判斷壓力區(qū)間并切換規(guī)管工作模式，保證全量程連續(xù)監(jiān)測。
主要功能特點
- 自動量程切換，無需手動干預
- 數(shù)字濾波抗干擾，顯示穩(wěn)定
- 規(guī)管老化提示及自診斷功能
- 多單位切換，適配不同系統(tǒng)需求
- 可選遠程通信，便于系統(tǒng)集成
- 結(jié)構(gòu)緊湊，適配多種真空腔體接口
使用注意事項
- 規(guī)管安裝前確保真空腔體清潔，避免油蒸氣或顆粒物污染影響測量準確性與壽命。
- 電離規(guī)對大氣沖擊敏感，必須在腔體壓力低于 1×10⁻¹ Pa 方可開啟電離規(guī)高壓，否則極易燒毀燈絲。
- 電阻規(guī)在高壓力下長時間工作可能導致熱絲氧化或斷裂，應避免在 >100 Pa 環(huán)境持續(xù)通電。
- 更換規(guī)管需斷電操作，確認型號匹配且密封面無損傷，按規(guī)范扭矩緊固法蘭螺栓。
- 不可在強電磁干擾、高頻放電或腐蝕性氣體環(huán)境中直接使用，必要時加屏蔽與過濾裝置。
- 定期校準（建議每 12 個月一次），尤其用于高精度工藝控制的場合。
- 長期停用應斷開電源，規(guī)管存放于干燥潔凈環(huán)境，防止潮氣侵入。
- 模擬輸出信號負載須在規(guī)定阻抗范圍內(nèi)，避免超出驅(qū)動能力導致誤差或損壞。
- 嚴禁帶電插拔規(guī)管信號線，防止靜電或電涌損壞電路。
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