ZDF-III-LED 電阻電離真空計(jì)（復(fù)合真空計(jì)）
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上海雙旭ZDF-III-LED 電阻電離真空計(jì)（復(fù)合真空計(jì)）
ZDF-III-LED是一款集成電阻規(guī)與電離規(guī)的復(fù)合真空測(cè)量?jī)x器，可覆蓋寬范圍真空度檢測(cè)，憑借LED顯示、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理等工業(yè)與科研場(chǎng)景。
核心產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：電阻規(guī)10⁵~10⁻¹ Pa，電離規(guī)10⁻²~10⁻⁵ Pa，復(fù)合覆蓋10⁵~10⁻⁵ Pa全量程
- 顯示方式：LED數(shù)字顯示，可切換電阻規(guī)/電離規(guī)測(cè)量數(shù)值，直觀讀取真空度
- 規(guī)管配置：標(biāo)配熱陰極電離規(guī)管與電阻規(guī)管，支持規(guī)管校準(zhǔn)功能
- 控制功能：具備電離規(guī)燈絲過流保護(hù)、真空度超限聲光報(bào)警（可選）
- 輸出接口：模擬量輸出（0~10V/4~20mA），支持與PLC、上位機(jī)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)
- 工作環(huán)境：溫度0~40℃，濕度≤80%RH（無冷凝），電源AC220V±10% 50Hz
- 外形尺寸：臺(tái)式機(jī)型約280×220×120mm，安裝式可選嵌入式面板設(shè)計(jì)
使用注意事項(xiàng)
1. 規(guī)管安裝規(guī)范：電阻規(guī)與電離規(guī)需垂直安裝于真空系統(tǒng)，規(guī)管接口需密封可靠，避免漏氣影響測(cè)量精度；電離規(guī)燈絲脆弱，安裝時(shí)避免碰撞、震動(dòng)。
2. 開機(jī)預(yù)熱與啟動(dòng)順序：開機(jī)后先預(yù)熱30分鐘再進(jìn)行測(cè)量；真空系統(tǒng)需先通過電阻規(guī)抽到10⁻¹ Pa以下真空度，方可開啟電離規(guī)，防止高氣壓下燒毀電離規(guī)燈絲。
3. 燈絲維護(hù)：電離規(guī)燈絲使用壽命受真空環(huán)境影響，若發(fā)現(xiàn)燈絲頻繁損壞，需檢查系統(tǒng)真空度是否達(dá)標(biāo)，是否存在腐蝕性氣體；定期清潔規(guī)管內(nèi)部，去除油污、灰塵沉積。
4. 校準(zhǔn)周期：建議每年對(duì)規(guī)管進(jìn)行一次專業(yè)校準(zhǔn)，或在測(cè)量精度異常時(shí)及時(shí)校準(zhǔn)，校準(zhǔn)需使用標(biāo)準(zhǔn)真空源或比對(duì)校準(zhǔn)法。
5. 環(huán)境與電源要求：避免在高溫、高濕、強(qiáng)電磁干擾環(huán)境下使用；電源需接地良好，防止靜電干擾測(cè)量數(shù)據(jù)，雷雨天氣建議斷開電源。
6. 故障應(yīng)急處理：若電離規(guī)顯示異常，需立即關(guān)閉電離規(guī)電源，檢查真空度是否符合啟動(dòng)條件，燈絲是否斷裂；如出現(xiàn)測(cè)量值跳變，排查系統(tǒng)是否漏氣、規(guī)管是否失效。
7. 日常保養(yǎng)：定期清潔儀器表面與規(guī)管接口，保持通風(fēng)良好；長(zhǎng)期停機(jī)時(shí)，需關(guān)閉電離規(guī)燈絲，斷開電源，將規(guī)管密封保存。
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