復(fù)合式測(cè)量，自動(dòng)切換電阻規(guī)與電離規(guī)工作區(qū)間，無(wú)需手動(dòng)更換規(guī)管；具備零點(diǎn)校正和滿度校準(zhǔn)功能；支持多點(diǎn)校準(zhǔn)曲線存儲(chǔ)；具有過(guò)壓、過(guò)流及規(guī)管失效保護(hù)；可連接外部控制器實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制；抗干擾能力強(qiáng)，適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境。
上海雙旭ZDF-5227AZ 復(fù)合真空計(jì)（電阻電離真空計(jì)）使用說(shuō)明
產(chǎn)品使用說(shuō)明
1. 安裝與連接
將電阻規(guī)（皮拉尼規(guī)）和電離規(guī)分別通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)KF或CF法蘭連接至真空系統(tǒng)。確保密封圈完好，連接緊固。使用配套電纜連接傳感器至主機(jī)對(duì)應(yīng)的“電阻規(guī)”和“電離規(guī)”接口，注意防反插。
2. 開機(jī)與預(yù)熱
接通電源（AC 220V 50Hz），按下電源開關(guān)。主機(jī)自動(dòng)進(jìn)入自檢狀態(tài)，顯示屏顯示初始數(shù)值。電阻規(guī)部分需預(yù)熱5分鐘，電離規(guī)部分需在真空度≤10⁻¹ Pa時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)或手動(dòng)切換，避免燈絲氧化損壞。
3. 模式切換與測(cè)量
電阻規(guī)測(cè)量范圍：大氣壓至10⁻¹ Pa，適用于低真空段。電離規(guī)（熱陰極）測(cè)量范圍：10⁻¹至10⁻⁵ Pa，用于高真空段。儀器自動(dòng)或手動(dòng)切換測(cè)量模式：當(dāng)真空度高于10⁻¹ Pa時(shí)，自動(dòng)啟用電阻規(guī)；低于10⁻¹ Pa時(shí)，切換至電離規(guī)。用戶可通過(guò)面板按鍵手動(dòng)選擇“電阻”“電離”或“自動(dòng)”模式。
4. 設(shè)定與校準(zhǔn)
使用“設(shè)置”鍵進(jìn)入?yún)?shù)菜單：可調(diào)節(jié)電離規(guī)燈絲電流、量程上下限、報(bào)警閾值等。電阻規(guī)需用干燥氮?dú)膺M(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)（大氣壓下校準(zhǔn)至1.0×10⁵ Pa）。電離規(guī)需在10⁻³ Pa高真空環(huán)境下進(jìn)行校準(zhǔn)，確保線性度。
5. 數(shù)據(jù)輸出與報(bào)警
支持RS485通訊接口（Modbus協(xié)議），可遠(yuǎn)程讀取實(shí)時(shí)真空度。內(nèi)置獨(dú)立繼電器觸點(diǎn)輸出（常開/常閉），可設(shè)置真空度上下限報(bào)警，用于連鎖控制如真空閥門、泵組等。
6. 關(guān)機(jī)與維護(hù)
首先關(guān)閉電離規(guī)（若已啟動(dòng)），待燈絲冷卻后，方可切斷主機(jī)電源。定期用無(wú)塵布蘸酒精清潔傳感器內(nèi)部，避免油污污染。電離規(guī)燈絲壽命約3000小時(shí)，需定期更換。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
寬量程一體化
集成電阻規(guī)和電離規(guī)，測(cè)量范圍從大氣壓至10⁻⁵ Pa連續(xù)覆蓋，無(wú)需頻繁更換傳感器或外部切換裝置。
高精度與穩(wěn)定性
采用皮拉尼電阻橋和熱陰極電離雙重技術(shù)，電阻規(guī)精度±10%讀數(shù)值，電離規(guī)精度±5%讀數(shù)值，長(zhǎng)期漂移小，重復(fù)性好。
快速響應(yīng)與自動(dòng)保護(hù)
傳感器信號(hào)響應(yīng)時(shí)間＜0.5秒，實(shí)時(shí)顯示變化。電離規(guī)內(nèi)置過(guò)電流和真空突升保護(hù)，防止燈絲因曝氣燒斷。
模塊化設(shè)計(jì)與易維護(hù)
電阻規(guī)和電離規(guī)可獨(dú)立更換，主機(jī)后置接口標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一，支持熱插拔傳感器。前面板帶狀態(tài)指示燈，故障時(shí)直接提示錯(cuò)誤代碼。
工業(yè)級(jí)抗干擾
外殼采用金屬屏蔽箱體，抗射頻和電磁干擾能力強(qiáng)，適用于真空鍍膜機(jī)、刻蝕設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室高真空系統(tǒng)等惡劣環(huán)境。
操作界面友好
配備高亮度LCD顯示屏，支持中英文菜單切換。5個(gè)物理按鍵配合旋鈕調(diào)節(jié)，邏輯簡(jiǎn)潔，新手可快速上手。
