ZDF-5227AZ 復(fù)合真空計(jì)（電阻電離真空計(jì)）
上海雙旭 ZDF-5227AZ 復(fù)合真空計(jì)（電阻電離真空計(jì)）介紹
產(chǎn)品概述：ZDF-5227AZ 為上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的復(fù)合型真空測(cè)量?jī)x器，集成電阻規(guī)與電離規(guī)于一體，可覆蓋從大氣壓到高真空范圍的連續(xù)測(cè)量。適用于科研、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空爐及各類真空系統(tǒng)的壓力監(jiān)測(cè)與控制。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-8 Pa（電阻規(guī)：105~100 Pa；電離規(guī)：100~10-8 Pa）
- 顯示分辨率：電阻規(guī) ≤ 1 Pa；電離規(guī)低段 ≤ 1×10-9 Pa（顯示值）
- 測(cè)量精度：±15%（全量程，恒溫條件下）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤ 1 s（電阻規(guī)），≤ 0.5 s（電離規(guī)）
- 工作溫度：0℃ ~ +40℃（主機(jī)）；規(guī)管適用溫度 -20℃ ~ +100℃
- 供電電源：AC 220V ±10%，50Hz / 60Hz，功率 ≤ 30W
- 輸出接口：模擬輸出 0~10V / 4~20mA（可選），RS485/232 數(shù)字通訊
- 規(guī)管類型：內(nèi)置或外接 ZJ-52T 電阻規(guī)、ZJ-27 熱陰極電離規(guī)
- 顯示方式：LED 或 LCD 數(shù)字顯示（多單位切換：Pa、mbar、Torr）
- 防護(hù)等級(jí)：IP20（主機(jī)），規(guī)管按型號(hào)不同可達(dá) IP65
- 重量：約 2.5 kg（不含規(guī)管）
- 尺寸：寬 240 mm × 高 90 mm × 深 280 mm（主機(jī)）
功能特點(diǎn)
復(fù)合式測(cè)量，自動(dòng)切換電阻規(guī)與電離規(guī)工作區(qū)間，無(wú)需手動(dòng)更換規(guī)管；具備零點(diǎn)校正和滿度校準(zhǔn)功能；支持多點(diǎn)校準(zhǔn)曲線存儲(chǔ)；具有過壓、過流及規(guī)管失效保護(hù)；可連接外部控制器實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制；抗干擾能力強(qiáng)，適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境。
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管安裝須保證密封良好，避免漏氣；連接法蘭與密封圈需匹配系統(tǒng)真空度要求。
- 電離規(guī)在高壓力下長(zhǎng)時(shí)間工作會(huì)燒毀燈絲，必須在進(jìn)入電離規(guī)測(cè)量范圍前確認(rèn)真空度低于 1 Pa，否則禁止開啟電離規(guī)。
- 嚴(yán)禁在含腐蝕性氣體、粉塵或油蒸氣環(huán)境中直接使用未加防護(hù)的規(guī)管，必要時(shí)加裝冷阱或過濾裝置。
- 測(cè)量過程中避免強(qiáng)烈振動(dòng)與沖擊，以免影響規(guī)管加熱絲及電極結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。
- 電源電壓必須符合額定值，防止電壓波動(dòng)損壞電路；接地必須可靠。
- 定期清潔規(guī)管外殼與感應(yīng)元件，保持規(guī)管散熱良好；長(zhǎng)期停用應(yīng)斷開電源并妥善存放。
- 更換規(guī)管時(shí)須斷電操作，并確認(rèn)新規(guī)格與原型號(hào)匹配，避免測(cè)量誤差或損壞主機(jī)。
- 在高溫或強(qiáng)輻射環(huán)境下使用前需評(píng)估規(guī)管耐環(huán)境性能，超范圍使用將導(dǎo)致壽命急劇下降。
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