ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）
上海雙旭 ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）
產(chǎn)品概述
ZJ-27 是一種熱陰極電離真空規(guī)管，用于高真空和超高真空范圍的精確測量。其玻璃外殼適用于大多數(shù)常規(guī)真空系統(tǒng)，通過測量氣體分子電離產(chǎn)生的離子流來反推真空度。
主要技術(shù)參數(shù)
- 測量范圍： 1.0×10⁻¹ Pa ~ 1.0×10⁻⁵ Pa（常規(guī)型）
- 陰極（燈絲）材料： 鎢絲
- 柵極電壓： +225 V（典型工作值）
- 收集極電壓： -25 V（典型工作值）
- 發(fā)射電流： 通常為 1 mA 或 10 mA（可切換）
- 靈敏度（氮?dú)獾刃В?/strong> 約 0.15 Pa⁻¹（具體值以出廠校準(zhǔn)為準(zhǔn)）
- 連接方式： 標(biāo)準(zhǔn)玻璃芯柱，配相應(yīng)電連接器
- 外殼材質(zhì)： 硼硅玻璃
- 安裝方式： 通常為標(biāo)準(zhǔn)法蘭（如CF、KF或金屬法蘭接口，具體取決于型號配置）
使用注意事項(xiàng)
- 大氣保護(hù)： 規(guī)管必須在真空度優(yōu)于 10⁻¹ Pa 時才能開啟燈絲加熱，絕對禁止在大氣或低真空狀態(tài)下通電，否則將瞬間燒毀燈絲。
- 安裝方向： 建議開口向下或水平安裝，避免顆粒物落入規(guī)管內(nèi)部。
- 清潔與烘烤： 如系統(tǒng)需要烘烤，烘烤溫度不得超過玻璃承受極限（通常≤450°C），且應(yīng)斷開規(guī)管電連接。避免油脂或污染物接觸規(guī)管內(nèi)部。
- 燈絲使用： 通常配備兩根燈絲，可切換使用以延長壽命。當(dāng)一根燈絲斷裂或污染后，可切換至備用燈絲。
- 氣體影響： 測量讀數(shù)對氣體種類敏感，校準(zhǔn)系數(shù)通常針對氮?dú)�。測量活性氣體或有機(jī)蒸汽可能導(dǎo)致靈敏度變化、燈絲中毒或碳化，影響精度與壽命。
- 電氣連接： 確保電極電壓（柵壓、收集極電壓、燈絲電壓）嚴(yán)格符合配套控制器要求，錯誤接線會導(dǎo)致規(guī)管損壞或測量失準(zhǔn)。
- 振動與沖擊： 玻璃外殼易碎，應(yīng)避免機(jī)械沖擊和劇烈振動。
- 存放： 存放于干燥清潔環(huán)境，最好保持真空或充干燥惰性氣體密封。
典型應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于科研實(shí)驗(yàn)室、真空鍍膜、粒子加速器、半導(dǎo)體工藝、空間模擬、真空冶金等高真空和超高真空系統(tǒng)。
ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）
### 上海雙旭ZJ-27高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）產(chǎn)品使用說明
1. **安裝規(guī)范**：安裝前需確認(rèn)規(guī)管接口與真空系統(tǒng)接口匹配，安裝過程中避免碰撞玻璃外殼，防止碎裂。規(guī)管應(yīng)垂直或水平安裝于真空系統(tǒng)的合適位置，確保測量區(qū)域氣體流通順暢，避免安裝在高氣流沖擊或溫度突變區(qū)域。
2. **預(yù)熱與校準(zhǔn)**：接通電源后，需預(yù)熱15-30分鐘，待規(guī)管內(nèi)部溫度穩(wěn)定后再進(jìn)行測量。首次使用或長時間停用后，需使用標(biāo)準(zhǔn)真空校準(zhǔn)系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。校準(zhǔn)過程需嚴(yán)格按照操作手冊步驟執(zhí)行，記錄校準(zhǔn)參數(shù)以備后續(xù)參考。
3. **測量操作**：通過配套的真空計(jì)控制器設(shè)置測量參數(shù)，包括電離電流、測量量程等。測量過程中密切關(guān)注真空計(jì)顯示數(shù)據(jù)，若出現(xiàn)數(shù)據(jù)異常波動，需檢查規(guī)管與系統(tǒng)的連接密封性，或排查電源穩(wěn)定性。當(dāng)真空度低于規(guī)管測量下限（通常為10^-1 Pa）時，應(yīng)及時關(guān)閉規(guī)管電源，防止規(guī)管燈絲損壞。
4. **維護(hù)與保養(yǎng)**：定期檢查規(guī)管玻璃外殼是否有裂紋、污漬，若有污漬可用無水乙醇輕輕擦拭外殼表面。長期使用后，規(guī)管燈絲可能會老化，需根據(jù)使用頻率定期更換燈絲。更換燈絲時需關(guān)閉電源并確保真空系統(tǒng)處于大氣壓狀態(tài)，操作過程中避免觸碰燈絲電極。
5. **注意事項(xiàng)**：規(guī)管工作時內(nèi)部處于高溫狀態(tài)，避免觸碰外殼以防燙傷。禁止在規(guī)管通電狀態(tài)下拆卸或調(diào)整接口，防止觸電或損壞規(guī)管。若規(guī)管出現(xiàn)故障，請勿自行拆解，應(yīng)聯(lián)系專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行維修。
### 上海雙旭ZJ-27高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
1. **高精度測量**：采用先進(jìn)的電離規(guī)技術(shù)，能夠精準(zhǔn)測量10^-1 ~ 10^-8 Pa范圍內(nèi)的高真空度，測量誤差小，數(shù)據(jù)穩(wěn)定性強(qiáng)，適用于對真空度要求嚴(yán)格的科研、工業(yè)生產(chǎn)場景。
2. **優(yōu)質(zhì)玻璃材質(zhì)**：外殼選用高強(qiáng)度耐高溫玻璃，具備良好的氣密性和化學(xué)穩(wěn)定性，可適應(yīng)復(fù)雜的真空環(huán)境，耐腐蝕性強(qiáng)，有效延長規(guī)管的使用壽命。
3. **快速響應(yīng)性能**：規(guī)管燈絲啟動速度快，預(yù)熱時間短，能夠迅速捕捉真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力變化，實(shí)時反饋準(zhǔn)確數(shù)據(jù)，提高工作效率。
4. **兼容性強(qiáng)**：標(biāo)準(zhǔn)化接口設(shè)計(jì)，可與市面上大多數(shù)真空計(jì)控制器配套使用，無需額外適配改造，方便集成到現(xiàn)有真空系統(tǒng)中。
5. **低功耗設(shè)計(jì)**：優(yōu)化內(nèi)部電路結(jié)構(gòu)，降低工作能耗，在保證測量精度的同時，減少能源消耗，符合節(jié)能環(huán)保的生產(chǎn)理念。 |
