ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
產(chǎn)品類(lèi)型：復(fù)合式真空測(cè)量規(guī)管，集成皮拉尼（Pirani）與電阻（熱陰極電離）兩種測(cè)量原理，可覆蓋從大氣壓到高真空范圍的連續(xù)測(cè)量。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量范圍：皮拉尼段 1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻¹ Pa；電阻規(guī)段 1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa（部分型號(hào)擴(kuò)展至 1×10⁻⁶ Pa）
- 工作電壓：加熱絲供電 DC 0~32 V（可調(diào)），控制電路電壓 AC 220V±10% / DC 24V（依配套控制器）
- 加熱絲材料：鎢絲（皮拉尼）+ 銥絲或鎢絲（電阻規(guī)熱陰極）
- 燈絲電流（典型值）：皮拉尼 20~100 mA；電阻規(guī) 10~30 mA（依壓力區(qū)間變化）
- 響應(yīng)時(shí)間：≤1 s（皮拉尼段），≤5 s（電阻規(guī)段，從 1×10⁻¹ Pa 降至 1×10⁻⁴ Pa）
- 工作溫度：環(huán)境溫度 5℃~40℃，規(guī)管外殼耐溫 ≤80℃
- 耐壓能力：可短時(shí)間承受 1.5 倍大氣壓力沖擊
- 接口形式：DN16 CF / KF16 / 法蘭定制（根據(jù)型號(hào)）
- 壽命：皮拉尼段 ≥5000 h；電阻規(guī)熱陰極 ≥2000 h（在推薦工況下）
- 精度等級(jí)：皮拉尼 ±15%（相對(duì)誤差）；電阻規(guī) ±20%（相對(duì)誤差，需校準(zhǔn)）
- 重量：約 150 g（不含線纜）
工作原理概述
ZJ-52T 采用雙原理結(jié)構(gòu)：在低真空段（≥1×10⁻¹ Pa）由皮拉尼規(guī)通過(guò)測(cè)量加熱絲與環(huán)境氣體熱導(dǎo)的變化換算壓力；在高真空段（≤1×10⁻¹ Pa）切換為電阻規(guī)，利用熱陰極發(fā)射電子使氣體分子電離，離子流與壓力成正比實(shí)現(xiàn)測(cè)量。自動(dòng)或手動(dòng)切換量程以適應(yīng)不同真空階段。
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管?chē)?yán)禁在未連接真空系統(tǒng)或暴露于大氣狀態(tài)下長(zhǎng)時(shí)間通電加熱，否則燈絲極易氧化燒毀。
- 安裝時(shí)避免規(guī)管受機(jī)械沖擊、振動(dòng)，CF/KF法蘭須均勻緊固防止受力不均導(dǎo)致玻璃/陶瓷殼破裂。
- 首次啟用或長(zhǎng)期停用后，應(yīng)緩慢抽氣至 1×10² Pa 以下再開(kāi)啟加熱電源，避免熱沖擊損壞燈絲。
- 規(guī)管不可用于含腐蝕性氣體（如酸霧、氯氣、硫化物等）或高活性粉塵環(huán)境，以免污染燈絲影響測(cè)量或損壞元件。
- 測(cè)量高真空前必須確保皮拉尼段已脫離工作區(qū)，否則高溫?zé)艚z會(huì)導(dǎo)致氣體解吸干擾電阻規(guī)讀數(shù)。
- 更換規(guī)管時(shí)應(yīng)先斷電并確認(rèn)真空系統(tǒng)壓力低于 1×10⁻¹ Pa 再進(jìn)行插拔操作，防止空氣瞬間進(jìn)入燒毀熱陰極。
- 規(guī)管線纜應(yīng)避免強(qiáng)電磁干擾源，信號(hào)線宜用屏蔽線并確保接地良好，防止讀數(shù)漂移或噪聲過(guò)大。
- 定期校準(zhǔn)：建議每 6~12 個(gè)月進(jìn)行一次全量程校準(zhǔn)，特別是用于工藝控制的場(chǎng)合。
- 存儲(chǔ)時(shí)應(yīng)保持干燥、無(wú)塵環(huán)境，規(guī)管宜存放在原包裝內(nèi)并避免擠壓。
適用范圍
適用于真空爐、半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備、科研分析儀器、凍干機(jī)、工業(yè)真空系統(tǒng)等需要在寬量程內(nèi)進(jìn)行連續(xù)真空監(jiān)測(cè)的場(chǎng)合，尤其適合自動(dòng)化控制系統(tǒng)中作過(guò)程反饋元件。 |
