ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭ZJ-52T真空規(guī)管是一款基于皮拉尼電阻原理的真空測量器件，通過檢測規(guī)管內(nèi)部熱敏電阻的阻值變化來反映環(huán)境真空度，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空干燥、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域的真空系統(tǒng)中，為真空度的實(shí)時(shí)監(jiān)測提供穩(wěn)定可靠的信號(hào)輸出。
核心產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)類別 |
具體參數(shù) |
| 測量范圍 |
105 Pa ~ 10-1 Pa |
| 規(guī)管類型 |
皮拉尼電阻規(guī)（熱傳導(dǎo)式） |
| 工作電壓 |
配套真空計(jì)供電（通常為DC 12V或定制適配電壓，需匹配對(duì)應(yīng)型號(hào)真空計(jì)） |
| 輸出信號(hào) |
模擬信號(hào)（電壓/電流信號(hào)，具體需結(jié)合配套真空計(jì)定義） |
| 規(guī)管材質(zhì) |
不銹鋼外殼，內(nèi)部熱敏電阻元件采用耐高溫合金材質(zhì) |
| 連接方式 |
KF16快裝接口（標(biāo)準(zhǔn)配置，可定制其他接口類型） |
| 工作溫度范圍 |
-10℃ ~ +60℃（存儲(chǔ)溫度：-20℃ ~ +80℃） |
| 響應(yīng)時(shí)間 |
≤3s（真空度變化≥一個(gè)數(shù)量級(jí)時(shí)） |
| 重復(fù)性誤差 |
≤±5%（滿量程范圍內(nèi)） |
使用注意事項(xiàng)
- 規(guī)管預(yù)熱要求：規(guī)管接入真空系統(tǒng)并通電后，需預(yù)熱15~30分鐘，待熱敏電阻元件溫度穩(wěn)定后再進(jìn)行真空度測量，避免初始測量數(shù)據(jù)波動(dòng)。
- 清潔與維護(hù)：
- 避免規(guī)管暴露在高濃度腐蝕性氣體、油污或粉塵環(huán)境中，防止熱敏電阻元件被污染，影響測量精度；
- 若規(guī)管內(nèi)部被污染，需在專業(yè)人員指導(dǎo)下進(jìn)行清潔，禁止自行拆解規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
- 真空系統(tǒng)適配：
- 規(guī)管需與上海雙旭配套的ZJ系列真空計(jì)（如ZDF-5227等型號(hào)）搭配使用，不同型號(hào)真空計(jì)的校準(zhǔn)曲線不同，混用可能導(dǎo)致測量誤差；
- 規(guī)管接入真空系統(tǒng)前，需確保系統(tǒng)已完成初步抽真空，避免大氣狀態(tài)下長時(shí)間通電，防止熱敏電阻因過熱損壞。
- 安裝規(guī)范：
- 安裝時(shí)需保證規(guī)管接口密封良好，可使用真空硅脂輔助密封，防止漏氣影響測量結(jié)果；
- 規(guī)管應(yīng)垂直安裝，避免規(guī)管內(nèi)部熱敏電阻受重力影響導(dǎo)致測量偏差；
- 安裝位置應(yīng)遠(yuǎn)離真空系統(tǒng)中的放氣源、發(fā)熱源，避免局部環(huán)境干擾真空度測量。
- 過載保護(hù)：禁止在規(guī)管未接入真空系統(tǒng)的情況下長時(shí)間通電，大氣環(huán)境下連續(xù)通電超過2小時(shí)可能導(dǎo)致熱敏電阻元件燒毀。
- 校準(zhǔn)與校準(zhǔn)周期：
- 新規(guī)管投入使用前需進(jìn)行校準(zhǔn)，后續(xù)每1~2年或在測量精度出現(xiàn)明顯偏差時(shí)，應(yīng)聯(lián)系廠家或?qū)I(yè)計(jì)量機(jī)構(gòu)重新校準(zhǔn)；
- 校準(zhǔn)需在標(biāo)準(zhǔn)真空環(huán)境中進(jìn)行，嚴(yán)格按照校準(zhǔn)規(guī)程完成曲線標(biāo)定。
- 儲(chǔ)存與運(yùn)輸：未使用的規(guī)管需密封包裝，存放于干燥、無腐蝕氣體的環(huán)境中，運(yùn)輸過程中避免劇烈震動(dòng)和碰撞。
特別提示：ZJ-52T真空規(guī)管僅作為真空度檢測的傳感元件，無法直接顯示真空度數(shù)值，必須搭配對(duì)應(yīng)的真空計(jì)使用，真空計(jì)將規(guī)管輸出的信號(hào)轉(zhuǎn)換為直觀的真空度讀數(shù)。使用過程中若出現(xiàn)測量數(shù)據(jù)異常，需先排查真空系統(tǒng)密封性、真空計(jì)狀態(tài)及規(guī)管連接情況，確認(rèn)故障來源后再進(jìn)行處理。 |
