ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭ZJ-52T真空規(guī)管是一款基于皮拉尼電阻原理的真空測量器件，通過檢測規(guī)管內(nèi)部熱敏電阻的阻值變化來反映環(huán)境真空度，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空干燥、科研實驗等領(lǐng)域的真空系統(tǒng)中，為真空度的實時監(jiān)測提供穩(wěn)定可靠的信號輸出。
核心產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)類別 |
具體參數(shù) |
| 測量范圍 |
105 Pa ~ 10-1 Pa |
| 規(guī)管類型 |
皮拉尼電阻規(guī)（熱傳導(dǎo)式） |
| 工作電壓 |
配套真空計供電（通常為DC 12V或定制適配電壓，需匹配對應(yīng)型號真空計） |
| 輸出信號 |
模擬信號（電壓/電流信號，具體需結(jié)合配套真空計定義） |
| 規(guī)管材質(zhì) |
不銹鋼外殼，內(nèi)部熱敏電阻元件采用耐高溫合金材質(zhì) |
| 連接方式 |
KF16快裝接口（標準配置，可定制其他接口類型） |
| 工作溫度范圍 |
-10℃ ~ +60℃（存儲溫度：-20℃ ~ +80℃） |
| 響應(yīng)時間 |
≤3s（真空度變化≥一個數(shù)量級時） |
| 重復(fù)性誤差 |
≤±5%（滿量程范圍內(nèi)） |
使用注意事項
- 規(guī)管預(yù)熱要求：規(guī)管接入真空系統(tǒng)并通電后，需預(yù)熱15~30分鐘，待熱敏電阻元件溫度穩(wěn)定后再進行真空度測量，避免初始測量數(shù)據(jù)波動。
- 清潔與維護：
- 避免規(guī)管暴露在高濃度腐蝕性氣體、油污或粉塵環(huán)境中，防止熱敏電阻元件被污染，影響測量精度；
- 若規(guī)管內(nèi)部被污染，需在專業(yè)人員指導(dǎo)下進行清潔，禁止自行拆解規(guī)管內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
- 真空系統(tǒng)適配：
- 規(guī)管需與上海雙旭配套的ZJ系列真空計（如ZDF-5227等型號）搭配使用，不同型號真空計的校準曲線不同，混用可能導(dǎo)致測量誤差；
- 規(guī)管接入真空系統(tǒng)前，需確保系統(tǒng)已完成初步抽真空，避免大氣狀態(tài)下長時間通電，防止熱敏電阻因過熱損壞。
- 安裝規(guī)范：
- 安裝時需保證規(guī)管接口密封良好，可使用真空硅脂輔助密封，防止漏氣影響測量結(jié)果；
- 規(guī)管應(yīng)垂直安裝，避免規(guī)管內(nèi)部熱敏電阻受重力影響導(dǎo)致測量偏差；
- 安裝位置應(yīng)遠離真空系統(tǒng)中的放氣源、發(fā)熱源，避免局部環(huán)境干擾真空度測量。
- 過載保護：禁止在規(guī)管未接入真空系統(tǒng)的情況下長時間通電，大氣環(huán)境下連續(xù)通電超過2小時可能導(dǎo)致熱敏電阻元件燒毀。
- 校準與校準周期：
- 新規(guī)管投入使用前需進行校準，后續(xù)每1~2年或在測量精度出現(xiàn)明顯偏差時，應(yīng)聯(lián)系廠家或?qū)I(yè)計量機構(gòu)重新校準；
- 校準需在標準真空環(huán)境中進行，嚴格按照校準規(guī)程完成曲線標定。
- 儲存與運輸：未使用的規(guī)管需密封包裝，存放于干燥、無腐蝕氣體的環(huán)境中，運輸過程中避免劇烈震動和碰撞。
特別提示：ZJ-52T真空規(guī)管僅作為真空度檢測的傳感元件，無法直接顯示真空度數(shù)值，必須搭配對應(yīng)的真空計使用，真空計將規(guī)管輸出的信號轉(zhuǎn)換為直觀的真空度讀數(shù)。使用過程中若出現(xiàn)測量數(shù)據(jù)異常，需先排查真空系統(tǒng)密封性、真空計狀態(tài)及規(guī)管連接情況，確認故障來源后再進行處理。
ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）產(chǎn)品使用說明
1. 產(chǎn)品概述
ZJ-52T 是一款基于皮拉尼（Pirani）熱導(dǎo)原理的電阻式真空規(guī)管，主要用于低真空和粗真空區(qū)域的壓力測量。其測量范圍通常覆蓋 1×10⁻¹ Pa 至 1×10⁵ Pa（取決于配套儀表校準）。該規(guī)管通過測量加熱絲在氣體中散熱變化引起的電阻變化來推算真空壓力，適用于工業(yè)真空鍍膜、冷凍干燥、真空爐、科研實驗等場景。
2. 安裝與連接
規(guī)管采用標準 KF16、KF25 或 CF35 真空接口（根據(jù)型號版本），安裝時確保密封圈潔凈且無劃傷。電氣連接為五芯插頭或航空插頭，定義如下：引腳 1 和 2 連接加熱絲（通常 2-4 歐姆），引腳 3 和 4 連接補償電阻（約 100 歐姆），引腳 5 為屏蔽接地。建議使用屏蔽電纜，最長距離不超過 50 米。
3. 操作步驟
通電前確認規(guī)管已安裝在真空系統(tǒng)中。將 ZJ-52T 連接到配套的真空計控制儀表（如上海雙旭 ZDF 系列），儀表需設(shè)置為“電阻規(guī)”模式。通電后預(yù)熱 5-10 分鐘以使溫度穩(wěn)定。在 1×10⁵ Pa（大氣壓）下，儀表應(yīng)顯示約 1.0×10⁵ Pa（或 760 Torr）；若偏差較大，需通過儀表菜單執(zhí)行“大氣校準”。測量時避免氣流直接沖擊規(guī)管，否則可能導(dǎo)致讀數(shù)波動。
4. 維護與注意事項
規(guī)管測量精度受環(huán)境溫度影響（每 10°C 漂移約 1-2%），建議在 15-35°C 范圍內(nèi)使用。長期暴露于腐蝕性氣體、油蒸汽或粉塵會縮短壽命，此時需更換規(guī)管。清潔時可用無水乙醇擦拭外殼，但嚴禁拆解內(nèi)部敏感結(jié)構(gòu)。若讀數(shù)不穩(wěn)定或明顯偏離預(yù)期，首先檢查密封漏氣、電纜接觸不良或規(guī)管污染。
5. 故障排除
- 無顯示或顯示“Err”：檢查電源和電纜連接；
- 讀數(shù)偏大：可能存在漏氣或規(guī)管污染，需清潔或更換；
- 讀數(shù)偏小：加熱絲斷路（電阻無窮大）或儀表設(shè)置錯誤；
- 讀數(shù)跳變：接地不良或存在電磁干擾。
產(chǎn)品優(yōu)點
1. 寬測量范圍與良好線性： ZJ-52T 在 10⁻¹ Pa 到 10⁵ Pa 范圍內(nèi)保持較穩(wěn)定的輸出信號，尤其在中低真空段（1-1000 Pa）線性度優(yōu)于傳統(tǒng)熱偶規(guī)管，減少頻繁校準需求。
2. 高響應(yīng)速度： 加熱絲熱容小，響應(yīng)時間約 50-200 毫秒（取決于壓力變化幅度），適合快速真空系統(tǒng)或動態(tài)過程監(jiān)控，如真空鍍膜機中工藝氣體切換監(jiān)測。
3. 抗污染能力強： 相比于電離規(guī)或電容薄膜規(guī)，皮拉尼規(guī)對水蒸氣、油蒸汽和輕度灰塵的耐受性更好，在工業(yè)環(huán)境中維護周期更長。加熱絲表面自熱作用可部分驅(qū)散吸附分子。
4. 結(jié)構(gòu)緊湊且成本低廉： 全金屬封裝設(shè)計（不銹鋼外殼），體積小巧（約 Ø25×100 mm），便于集成到空間有限的真空設(shè)備中。價格僅為電容薄膜規(guī)的 1/10 左右，適合批量使用。
5. 兼容性極佳： 采用通用電氣接口和標準真空法蘭，可直接替換其他主流品牌的皮拉尼規(guī)管（如 INFICON、Pfeiffer 等同類型號），無需更改儀表設(shè)置。
6. 長期穩(wěn)定性優(yōu)秀： 采用鎳鉻合金加熱絲和鉑電阻溫度補償元件，在正常工況下連續(xù)工作 2 萬小時以上仍可保持 ±5% 以內(nèi)精度漂移，遠優(yōu)于早期熱偶規(guī)管。 |
