ZDF-5227 復(fù)合真空計
上海雙旭ZDF-5227復(fù)合真空計
上海雙旭ZDF-5227復(fù)合真空計是一款集成熱偶規(guī)與電離規(guī)測量功能的高精度真空檢測設(shè)備，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、真空熱處理、科研實驗室等場景，能夠覆蓋從低真空到高真空的寬范圍真空度測量需求，為工業(yè)生產(chǎn)與科研實驗提供可靠的真空環(huán)境數(shù)據(jù)支持。
核心產(chǎn)品參數(shù)
| 參數(shù)類別 |
具體參數(shù) |
| 測量范圍 |
熱偶規(guī)：10⁵ Pa ～ 10⁻¹ Pa；電離規(guī)：10⁻¹ Pa ～ 10⁻⁵ Pa |
| 測量精度 |
熱偶規(guī)：±15%；電離規(guī)：±10% |
| 規(guī)管配置 |
標(biāo)配ZJ-52T熱偶規(guī)管、ZJ-27電離規(guī)管，支持規(guī)管兼容性適配 |
| 顯示方式 |
四位LED數(shù)碼管顯示，真空度數(shù)值與單位自動切換 |
| 控制功能 |
具備規(guī)管保護功能，當(dāng)真空度低于電離規(guī)啟動閾值時，自動切斷電離規(guī)供電 |
| 電源需求 |
AC 220V ±10%，50Hz/60Hz，功率≤30W |
| 工作環(huán)境 |
溫度：0℃～40℃；相對濕度：≤80%（無凝露） |
| 外形尺寸 |
臺式：280mm×240mm×120mm（長×寬×高） |
| 輸出接口 |
具備RS485通訊接口（可選），支持?jǐn)?shù)據(jù)遠程傳輸與監(jiān)控 |
使用注意事項
1. 規(guī)管安裝要求：熱偶規(guī)與電離規(guī)需嚴(yán)格按照說明書標(biāo)識連接對應(yīng)接口，安裝時確保規(guī)管與真空系統(tǒng)的密封連接，避免漏氣影響測量精度；電離規(guī)管屬于精密部件，安裝過程中避免碰撞、摔落。
2. 開機與測量順序：開機前需確認(rèn)真空系統(tǒng)已處于低真空狀態(tài)（≥10⁻¹ Pa），先開啟熱偶規(guī)測量，待真空度降至電離規(guī)啟動閾值以下后，再切換至電離規(guī)測量，嚴(yán)禁直接在高氣壓環(huán)境下啟動電離規(guī)，防止規(guī)管燒毀。
3. 規(guī)管老化處理：新安裝或長期未使用的電離規(guī)管，需進行老化處理。在真空度≤10⁻² Pa的環(huán)境下，開啟電離規(guī)"老化"模式運行30分鐘以上，以穩(wěn)定規(guī)管性能，減少測量誤差。
4. 環(huán)境與維護：設(shè)備應(yīng)放置在干燥、通風(fēng)、無腐蝕性氣體的環(huán)境中，避免陽光直射與劇烈震動；定期檢查規(guī)管的清潔度，若規(guī)管內(nèi)壁出現(xiàn)污染，需及時清潔或更換，否則會導(dǎo)致測量精度下降；長期不使用時，需斷開電源，將規(guī)管與真空系統(tǒng)密封保存。
5. 故障預(yù)警處理：當(dāng)設(shè)備顯示"超量程"、"規(guī)管故障"等報警信息時，應(yīng)立即停止測量，檢查真空系統(tǒng)密封性、規(guī)管連接是否松動、規(guī)管是否損壞，排除故障后方可繼續(xù)使用，嚴(yán)禁在報警狀態(tài)下強行運行設(shè)備。
6. 安全操作規(guī)范：設(shè)備運行過程中，嚴(yán)禁觸摸規(guī)管與內(nèi)部電路，防止高溫或電擊傷害；電離規(guī)工作時會產(chǎn)生微量輻射，需確保設(shè)備放置區(qū)域通風(fēng)良好，避免長期近距離接觸。 |
