ZJ-12 超高真空熱陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）
上海雙旭ZJ-12 超高真空熱陰極電離規(guī)（真空規(guī)管）產(chǎn)品參數(shù)
1. 測(cè)量范圍：1×10⁻¹⁰ Pa ~ 1×10⁻¹ Pa，可覆蓋超高真空到低真空區(qū)間，滿足多種真空環(huán)境監(jiān)測(cè)需求。
2. 規(guī)管結(jié)構(gòu)：采用熱陰極電離結(jié)構(gòu)，陰極材質(zhì)選用耐高溫、抗濺射的特殊合金，確保在超高真空環(huán)境下的穩(wěn)定性與使用壽命。
3. 工作環(huán)境溫度：-10℃ ~ +45℃，適應(yīng)大多數(shù)工業(yè)實(shí)驗(yàn)室及生產(chǎn)場(chǎng)景的溫度條件。
4. 加熱電流：陰極加熱電流可在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，常規(guī)工作電流約為1.2A~1.5A，具體可根據(jù)實(shí)際真空環(huán)境優(yōu)化設(shè)置。
5. 規(guī)管接口：標(biāo)配KF16快裝法蘭接口，也可根據(jù)需求定制其他規(guī)格接口，便于與真空系統(tǒng)快速連接密封。
6. 響應(yīng)時(shí)間：≤3s（滿量程變化），能夠快速捕捉真空環(huán)境的壓力變化，為真空系統(tǒng)控制提供實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)支持。
使用注意事項(xiàng)
1. 規(guī)管激活：首次使用或長(zhǎng)期放置后啟用，需按照說(shuō)明書(shū)進(jìn)行規(guī)管激活處理，通過(guò)逐步升溫除氣，去除規(guī)管內(nèi)部吸附的氣體，避免影響測(cè)量精度。
2. 真空環(huán)境適配：嚴(yán)禁在大氣壓或高真空（＞1×10⁻¹ Pa）環(huán)境下開(kāi)啟陰極加熱，高氣壓下陰極易被氧化燒毀，需確保真空系統(tǒng)壓力降至1×10⁻² Pa以下再啟動(dòng)加熱。
3. 除氣操作：當(dāng)規(guī)管內(nèi)部因吸附氣體導(dǎo)致測(cè)量數(shù)據(jù)漂移時(shí)，需進(jìn)行除氣操作，可通過(guò)規(guī)管自身加熱除氣或外部烘烤除氣，烘烤溫度建議不超過(guò)200℃，且需避免長(zhǎng)時(shí)間高溫烘烤規(guī)管底座。
4. 污染防護(hù)：避免在含有大量油污、粉塵或腐蝕性氣體的真空系統(tǒng)中使用，若真空系統(tǒng)存在污染風(fēng)險(xiǎn)，需在規(guī)管前端加裝冷阱或過(guò)濾器，防止污染物進(jìn)入規(guī)管內(nèi)部損壞陰極或影響電離室性能。
5. 安裝規(guī)范：安裝時(shí)需保證規(guī)管與真空系統(tǒng)連接密封可靠，避免漏氣；規(guī)管電離室應(yīng)盡量正對(duì)真空系統(tǒng)氣流方向，減少測(cè)量死角。
6. 維護(hù)保養(yǎng)：定期檢查規(guī)管陰極狀態(tài)，若發(fā)現(xiàn)陰極斷裂、變形或發(fā)射電流異常，應(yīng)及時(shí)更換規(guī)管；日常使用后需關(guān)閉陰極加熱，延長(zhǎng)陰極使用壽命。
7. 電磁干擾防護(hù)：規(guī)管信號(hào)輸出線應(yīng)避免與強(qiáng)電磁干擾源（如高壓電纜、電機(jī)）并行布置，必要時(shí)可采用屏蔽線傳輸信號(hào)，防止電磁干擾導(dǎo)致測(cè)量數(shù)據(jù)波動(dòng)。 |
