ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）
上海雙旭 ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）介紹
產(chǎn)品概述：ZJ-27為高真空電離規(guī)管，采用玻璃外殼結(jié)構(gòu)，基于熱陰極電離原理測(cè)量高真空范圍壓力，適用于科研、電子器件制造及高精度真空系統(tǒng)監(jiān)控。其玻璃材質(zhì)具備優(yōu)良絕緣與耐腐蝕特性，可在潔凈或腐蝕性氣體環(huán)境中穩(wěn)定工作。
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號(hào)：ZJ-27
- 類型：熱陰極電離規(guī)（玻璃規(guī)管）
- 測(cè)量范圍：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa（高真空段）
- 工作電壓：燈絲加熱電壓 4.5V~6V AC/DC；收集極電壓 -150V~-200V；柵極電壓 +100V~+200V（具體依控制器而定）
- 發(fā)射電流：常用 5mA（可調(diào)）
- 靈敏度：約 0.15~0.25 Torr⁻¹（視氣體種類不同有差異）
- 耐壓強(qiáng)度：玻璃殼體可承受內(nèi)部高真空與外部大氣壓差無(wú)滲漏
- 工作溫度：-20℃~+80℃（環(huán)境溫度），規(guī)管內(nèi)燈絲耐溫≤1200℃瞬時(shí)
- 接口形式：玻璃法蘭或標(biāo)準(zhǔn)CF/KF接頭（依版本）
- 壽命：正常使用≥5000小時(shí)（取決于氣體成分與操作頻率）
結(jié)構(gòu)與原理
ZJ-27由直熱式鎢絲陰極、螺旋柵極和圓筒形收集極構(gòu)成，封裝在硬質(zhì)玻璃殼內(nèi)。通電后陰極發(fā)射電子，在柵極加速下與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子，收集極捕獲離子形成離子流，離子流與氣體壓力在一定范圍內(nèi)呈線性比例，通過(guò)外部控制器換算為真空度讀數(shù)。
使用注意事項(xiàng)
- 必須在低于1×10⁻¹ Pa的壓力下啟動(dòng)電離規(guī)，否則會(huì)導(dǎo)致陰極燒毀或規(guī)管永久損壞。
- 嚴(yán)禁在大氣或中真空狀態(tài)下長(zhǎng)時(shí)間通電，首次上電需確認(rèn)系統(tǒng)已預(yù)抽到高真空。
- 玻璃殼體易碎，安裝與搬運(yùn)須避免沖擊、擠壓及驟冷驟熱。
- 不可暴露于機(jī)械振動(dòng)劇烈環(huán)境，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)位移或燈絲斷裂。
- 若用于含腐蝕性或高分子裂解產(chǎn)物的工藝氣體，應(yīng)定期清潔或更換規(guī)管以防污染導(dǎo)致讀數(shù)漂移。
- 更換規(guī)管前務(wù)必對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行充分放氣與清洗，防止污染物進(jìn)入新規(guī)管。
- 規(guī)管與控制器匹配必須保證電壓、極性、發(fā)射電流一致，錯(cuò)誤接線會(huì)立即損壞規(guī)管。
- 停機(jī)時(shí)應(yīng)先關(guān)閉規(guī)管電源再停泵，避免規(guī)管在高氣壓下冷卻造成玻璃裂痕。
- 規(guī)管為消耗件，長(zhǎng)時(shí)間使用后靈敏度下降屬正常，應(yīng)按校準(zhǔn)周期檢定或更換。
典型應(yīng)用
高真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝腔體、粒子加速器真空段、質(zhì)譜儀分析室、高能物理實(shí)驗(yàn)裝置等對(duì)真空度要求達(dá)10⁻⁴ Pa以下且需連續(xù)監(jiān)測(cè)的場(chǎng)合。 |
