ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）
上海雙旭 ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）介紹
產(chǎn)品概述：ZJ-27為高真空電離規(guī)管，采用玻璃外殼結(jié)構(gòu)，基于熱陰極電離原理測量高真空范圍壓力，適用于科研、電子器件制造及高精度真空系統(tǒng)監(jiān)控。其玻璃材質(zhì)具備優(yōu)良絕緣與耐腐蝕特性，可在潔凈或腐蝕性氣體環(huán)境中穩(wěn)定工作。
產(chǎn)品參數(shù)
- 型號：ZJ-27
- 類型：熱陰極電離規(guī)（玻璃規(guī)管）
- 測量范圍：1×10⁻¹ Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa（高真空段）
- 工作電壓：燈絲加熱電壓 4.5V~6V AC/DC；收集極電壓 -150V~-200V；柵極電壓 +100V~+200V（具體依控制器而定）
- 發(fā)射電流：常用 5mA（可調(diào)）
- 靈敏度：約 0.15~0.25 Torr⁻¹（視氣體種類不同有差異）
- 耐壓強(qiáng)度：玻璃殼體可承受內(nèi)部高真空與外部大氣壓差無滲漏
- 工作溫度：-20℃~+80℃（環(huán)境溫度），規(guī)管內(nèi)燈絲耐溫≤1200℃瞬時
- 接口形式：玻璃法蘭或標(biāo)準(zhǔn)CF/KF接頭（依版本）
- 壽命：正常使用≥5000小時（取決于氣體成分與操作頻率）
結(jié)構(gòu)與原理
ZJ-27由直熱式鎢絲陰極、螺旋柵極和圓筒形收集極構(gòu)成，封裝在硬質(zhì)玻璃殼內(nèi)。通電后陰極發(fā)射電子，在柵極加速下與氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子，收集極捕獲離子形成離子流，離子流與氣體壓力在一定范圍內(nèi)呈線性比例，通過外部控制器換算為真空度讀數(shù)。
使用注意事項(xiàng)
- 必須在低于1×10⁻¹ Pa的壓力下啟動電離規(guī)，否則會導(dǎo)致陰極燒毀或規(guī)管永久損壞。
- 嚴(yán)禁在大氣或中真空狀態(tài)下長時間通電，首次上電需確認(rèn)系統(tǒng)已預(yù)抽到高真空。
- 玻璃殼體易碎，安裝與搬運(yùn)須避免沖擊、擠壓及驟冷驟熱。
- 不可暴露于機(jī)械振動劇烈環(huán)境，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)位移或燈絲斷裂。
- 若用于含腐蝕性或高分子裂解產(chǎn)物的工藝氣體，應(yīng)定期清潔或更換規(guī)管以防污染導(dǎo)致讀數(shù)漂移。
- 更換規(guī)管前務(wù)必對系統(tǒng)進(jìn)行充分放氣與清洗，防止污染物進(jìn)入新規(guī)管。
- 規(guī)管與控制器匹配必須保證電壓、極性、發(fā)射電流一致，錯誤接線會立即損壞規(guī)管。
- 停機(jī)時應(yīng)先關(guān)閉規(guī)管電源再停泵，避免規(guī)管在高氣壓下冷卻造成玻璃裂痕。
- 規(guī)管為消耗件，長時間使用后靈敏度下降屬正常，應(yīng)按校準(zhǔn)周期檢定或更換。
典型應(yīng)用
高真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝腔體、粒子加速器真空段、質(zhì)譜儀分析室、高能物理實(shí)驗(yàn)裝置等對真空度要求達(dá)10⁻⁴ Pa以下且需連續(xù)監(jiān)測的場合。
ZJ-27 高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）
上海雙旭ZJ-27高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）產(chǎn)品使用說明
一、安裝要求
安裝前需確保規(guī)管及真空系統(tǒng)內(nèi)部清潔，無油污、灰塵等雜質(zhì)，避免影響測量精度。規(guī)管應(yīng)垂直安裝于真空系統(tǒng)的合適位置，保證規(guī)管的收集極、燈絲等部件處于正確的工作姿態(tài)，同時需注意安裝過程中避免碰撞玻璃外殼，防止破裂。安裝完成后，需檢查規(guī)管與系統(tǒng)連接部位的密封性，可通過氦質(zhì)譜檢漏儀等設(shè)備進(jìn)行檢漏，確保無漏氣情況。
二、開機(jī)預(yù)熱
首次開機(jī)或長時間停機(jī)后再次使用時，需進(jìn)行充分預(yù)熱。接通電源后，設(shè)置規(guī)管的預(yù)熱模式，預(yù)熱時間建議不少于30分鐘，使規(guī)管內(nèi)部各部件達(dá)到穩(wěn)定的工作溫度，避免因溫度波動導(dǎo)致測量數(shù)據(jù)偏差。預(yù)熱過程中，需密切觀察規(guī)管的工作狀態(tài)指示燈，確保無異常報警信號。
三、參數(shù)設(shè)置
根據(jù)實(shí)際真空測量需求，通過配套的真空計控制器設(shè)置規(guī)管的工作參數(shù)，包括燈絲電流、電離電壓等。參數(shù)設(shè)置需嚴(yán)格遵循產(chǎn)品說明書中的推薦值，避免因參數(shù)異常損壞規(guī)管或影響測量準(zhǔn)確性。設(shè)置完成后，可進(jìn)行小范圍的真空環(huán)境測試，驗(yàn)證參數(shù)設(shè)置是否合理。
四、測量操作
在確認(rèn)規(guī)管預(yù)熱完成且參數(shù)設(shè)置正確后，啟動測量程序。測量過程中，需避免真空系統(tǒng)內(nèi)出現(xiàn)劇烈的壓力波動，如突然放氣、抽氣速率突變等，以免損壞規(guī)管燈絲或?qū)е聹y量數(shù)據(jù)失真。同時，需定期記錄測量數(shù)據(jù)，便于后續(xù)分析真空系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)。
五、維護(hù)與保養(yǎng)
定期檢查規(guī)管的玻璃外殼是否有裂紋、污漬，若發(fā)現(xiàn)污漬可使用無水乙醇輕輕擦拭表面。對于規(guī)管內(nèi)部的燈絲等易損耗部件，需根據(jù)使用頻率定期檢查其狀態(tài)，當(dāng)出現(xiàn)燈絲斷裂、發(fā)射電流異常等情況時，應(yīng)及時更換。長期不使用時，需將規(guī)管從真空系統(tǒng)中拆下，妥善放置在干燥、無塵的環(huán)境中，避免玻璃外殼受潮或被灰塵污染。
六、注意事項(xiàng)
規(guī)管工作過程中，嚴(yán)禁打開真空系統(tǒng)的放氣閥或進(jìn)行可能導(dǎo)致大氣壓直接進(jìn)入規(guī)管的操作，防止燈絲因氧化燒毀。同時，需避免規(guī)管受到強(qiáng)磁場、強(qiáng)電場的干擾，遠(yuǎn)離大功率電器、電磁設(shè)備等，確保測量數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性。若規(guī)管出現(xiàn)異常故障，如無測量信號、報警指示燈常亮等，應(yīng)立即切斷電源，聯(lián)系專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行檢修，切勿自行拆解規(guī)管。
上海雙旭ZJ-27高真空規(guī)管（電離規(guī)玻璃）產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
一、測量精度高
采用先進(jìn)的電離規(guī)技術(shù)，搭配高穩(wěn)定性的玻璃外殼設(shè)計，能夠在高真空環(huán)境下精準(zhǔn)測量壓力范圍，測量誤差小，數(shù)據(jù)重復(fù)性好，為真空系統(tǒng)的運(yùn)行提供可靠的參數(shù)依據(jù)。適用于對真空度要求較高的科研實(shí)驗(yàn)、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等領(lǐng)域。
二、響應(yīng)速度快
規(guī)管內(nèi)部的燈絲與電離結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計，使得其對真空環(huán)境的變化能夠快速響應(yīng)，從壓力變化到輸出穩(wěn)定的測量信號的時間短，可實(shí)時反映真空系統(tǒng)的壓力動態(tài)變化，便于操作人員及時調(diào)整系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)。
三、穩(wěn)定性強(qiáng)
玻璃外殼具有良好的密封性和抗腐蝕性，能夠有效隔絕外界環(huán)境對規(guī)管內(nèi)部部件的影響，同時規(guī)管的燈絲采用優(yōu)質(zhì)材料制作，使用壽命長，在長時間連續(xù)工作狀態(tài)下，仍能保持穩(wěn)定的性能，減少因部件損耗導(dǎo)致的維護(hù)成本。
四、適用范圍廣
可覆蓋較寬的高真空測量范圍，滿足不同真空系統(tǒng)的測量需求，無論是低真空向高真空過渡的階段，還是穩(wěn)定的高真空環(huán)境，都能準(zhǔn)確進(jìn)行測量。同時，規(guī)管的安裝接口設(shè)計符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，便于與各類真空系統(tǒng)及真空計控制器配套使用。
五、安全性高
玻璃外殼具備良好的抗壓性能，能夠承受真空系統(tǒng)內(nèi)部的壓力變化，同時規(guī)管配備完善的過載保護(hù)機(jī)制，當(dāng)出現(xiàn)燈絲電流過大、電離電壓異常等情況時，會自動觸發(fā)保護(hù)功能，避免規(guī)管損壞，保障設(shè)備及操作人員的安全。 |
