ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
產(chǎn)品參數(shù)
- 測(cè)量原理：皮拉尼（Pirani）+ 電阻（熱陰極電離）復(fù)合規(guī)，覆蓋中低真空至高真空范圍
- 測(cè)量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-4 Pa（皮拉尼段）；1×10-1 Pa ~ 1×10-7 Pa（電阻規(guī)段）
- 工作電壓：加熱絲供電 DC 6.3 V（或 AC 6.3 V），燈絲電流 ≤ 50 mA
- 發(fā)射電流：電阻規(guī)段 0~100 μA（可調(diào)），皮拉尼段無(wú)發(fā)射電流需求
- 輸出信號(hào)：模擬電壓 0~10 V（線性對(duì)應(yīng)壓力），或可選 4~20 mA 電流輸出
- 精度等級(jí)：±15%（全量程，恒溫條件下）
- 重復(fù)性：≤ ±5%
- 響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 s（皮拉尼段），≤ 1 s（電阻規(guī)段）
- 工作溫度：規(guī)管本體 -20℃ ~ +80℃，環(huán)境相對(duì)濕度 ≤ 85% RH（非凝露）
- 烘烤溫度：≤ 150℃（規(guī)管不可超過(guò)此溫度，否則損壞敏感元件）
- 接口形式：KF16、KF25、CF35 等標(biāo)準(zhǔn)法蘭（可定制）
- 材質(zhì)：304 不銹鋼殼體，鎢絲加熱體，鎳鉻合金電阻絲（電阻規(guī)段）
- 壽命：≥ 10,000 小時(shí)（正常工況下）
產(chǎn)品介紹
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管采用皮拉尼與電阻復(fù)合測(cè)量技術(shù)，可在單一規(guī)管內(nèi)實(shí)現(xiàn)從大氣壓至超高真空的連續(xù)監(jiān)測(cè)。皮拉尼段利用氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓力變化特性測(cè)量中低真空，電阻規(guī)段通過(guò)熱陰極電離效應(yīng)檢測(cè)高真空，結(jié)合兩種原理消除單規(guī)測(cè)量盲區(qū)。適用于科研真空系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造、鍍膜設(shè)備、分析儀器等對(duì)寬量程和高可靠性有要求的場(chǎng)景。
規(guī)管內(nèi)部采用耐高溫耐腐蝕不銹鋼結(jié)構(gòu)，適配多種真空法蘭接口，安裝維護(hù)簡(jiǎn)便。信號(hào)輸出兼容主流真空控制系統(tǒng)，支持直接接入 PLC 或數(shù)采設(shè)備，便于系統(tǒng)集成與自動(dòng)化監(jiān)控。
使用注意事項(xiàng)
- 安裝前檢查規(guī)管外觀及法蘭密封面，確保無(wú)損傷、無(wú)污染；安裝時(shí)避免機(jī)械沖擊和過(guò)度擰緊導(dǎo)致殼體變形。
- 皮拉尼段禁止在高真空（<1×10-2 Pa）長(zhǎng)期工作，電阻規(guī)段在大氣或高壓下會(huì)迅速燒毀燈絲，需按壓力范圍切換工作狀態(tài)。
- 規(guī)管通電前必須確認(rèn)真空度處于其允許范圍，禁止在大氣狀態(tài)下直接開(kāi)啟電阻規(guī)加熱電源。
- 規(guī)管烘烤溫度不得超過(guò) 150℃，否則會(huì)導(dǎo)致加熱絲氧化失效或結(jié)構(gòu)變形；烘烤時(shí)需斷開(kāi)規(guī)管電源并拆除信號(hào)線。
- 避免暴露于強(qiáng)電磁干擾、腐蝕性氣體或放射性環(huán)境，防止影響測(cè)量準(zhǔn)確性及規(guī)管壽命。
- 定期清潔規(guī)管外部，保持散熱良好；若測(cè)量值異常漂移，應(yīng)檢查真空系統(tǒng)泄漏或規(guī)管污染情況，必要時(shí)更換。
- 規(guī)管為精密測(cè)量元件，運(yùn)輸及儲(chǔ)存時(shí)應(yīng)置于防震防潮包裝內(nèi)，避免劇烈振動(dòng)和高溫高濕環(huán)境。
- 更換規(guī)管時(shí)需匹配原系統(tǒng)法蘭規(guī)格與電氣接口，避免因不匹配造成真空泄漏或信號(hào)不兼容。
ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭ZJ-52T真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）產(chǎn)品說(shuō)明
一、產(chǎn)品概述
上海雙旭ZJ-52T真空規(guī)管是一款基于皮拉尼原理（電阻規(guī)原理）設(shè)計(jì)的真空測(cè)量器件，主要用于中低真空環(huán)境的壓力檢測(cè)，測(cè)量范圍覆蓋10⁵Pa至10⁻¹Pa，廣泛適配真空鍍膜、真空熱處理、真空包裝、半導(dǎo)體制造等各類工業(yè)真空設(shè)備及科研實(shí)驗(yàn)裝置。該規(guī)管通過(guò)檢測(cè)加熱絲在不同真空度下的熱傳導(dǎo)變化，將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，配合對(duì)應(yīng)的真空計(jì)即可實(shí)現(xiàn)真空度的精準(zhǔn)顯示與控制。
二、產(chǎn)品使用說(shuō)明
1. 安裝準(zhǔn)備
安裝前需確認(rèn)規(guī)管及配套真空計(jì)電源處于斷開(kāi)狀態(tài)，避免帶電操作損壞器件。檢查規(guī)管外觀是否有磕碰、裂痕等損壞，確保進(jìn)氣口密封帽完好，防止雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)部影響測(cè)量精度。同時(shí)確認(rèn)安裝接口（通常為KF法蘭或螺紋接口）與設(shè)備真空系統(tǒng)接口匹配，準(zhǔn)備好對(duì)應(yīng)的密封墊圈以保證真空密封性。
2. 安裝步驟
首先移除規(guī)管進(jìn)氣口的密封帽，將密封墊圈放置在規(guī)管接口與設(shè)備接口之間，對(duì)齊接口后均勻擰緊固定螺栓或螺紋，確保密封可靠，避免漏氣影響測(cè)量。安裝過(guò)程中需輕拿輕放，避免碰撞規(guī)管內(nèi)部加熱絲組件。安裝完成后，檢查規(guī)管接線端口，按照真空計(jì)說(shuō)明書(shū)的接線要求，正確連接規(guī)管的電源、信號(hào)輸出等線路，注意接線極性，防止接反導(dǎo)致器件燒毀。
3. 開(kāi)機(jī)與校準(zhǔn)
接通真空計(jì)和規(guī)管電源后，先進(jìn)行預(yù)熱，預(yù)熱時(shí)間建議為15-30分鐘，待規(guī)管內(nèi)部溫度穩(wěn)定后再進(jìn)行測(cè)量。首次使用或長(zhǎng)期停用后重新啟用時(shí)，需在大氣壓環(huán)境下進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)，部分真空計(jì)支持自動(dòng)校準(zhǔn)，可按照設(shè)備操作手冊(cè)完成校準(zhǔn)流程；若為手動(dòng)校準(zhǔn)，需在確認(rèn)系統(tǒng)處于大氣壓狀態(tài)下，調(diào)整真空計(jì)校準(zhǔn)旋鈕至顯示標(biāo)準(zhǔn)大氣壓值（約101325Pa）。
4. 真空測(cè)量與維護(hù)
開(kāi)啟真空系統(tǒng)抽氣后，規(guī)管將實(shí)時(shí)反饋真空度信號(hào)至真空計(jì)，可通過(guò)真空計(jì)顯示屏讀取當(dāng)前壓力值。測(cè)量過(guò)程中需避免系統(tǒng)內(nèi)出現(xiàn)劇烈壓力波動(dòng)，防止規(guī)管加熱絲因熱沖擊損壞。日常使用中，需定期檢查規(guī)管接口的密封性，若發(fā)現(xiàn)漏氣及時(shí)重新密封。當(dāng)規(guī)管測(cè)量精度下降或出現(xiàn)顯示異常時(shí)，需排查是否存在污染：若規(guī)管內(nèi)部被油污、粉塵污染，可在真空狀態(tài)下對(duì)規(guī)管進(jìn)行烘烤（烘烤溫度不超過(guò)150℃），去除污染物；若烘烤后仍無(wú)法恢復(fù)精度，需更換新的規(guī)管。
5. 注意事項(xiàng)
規(guī)管禁止在超過(guò)測(cè)量范圍的壓力環(huán)境下長(zhǎng)期工作，尤其是高壓環(huán)境下長(zhǎng)時(shí)間通電會(huì)導(dǎo)致加熱絲過(guò)載燒毀。避免規(guī)管接觸腐蝕性氣體或強(qiáng)氧化性氣體，防止內(nèi)部組件被腐蝕。運(yùn)輸和存放過(guò)程中，需重新安裝進(jìn)氣口密封帽，保持規(guī)管內(nèi)部干燥清潔，避免劇烈震動(dòng)和碰撞。
三、產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)
- 寬范圍精準(zhǔn)測(cè)量：覆蓋10⁵Pa至10⁻¹Pa的中低真空區(qū)間，測(cè)量精度高，誤差控制在±10%以內(nèi)，能夠滿足大多數(shù)工業(yè)真空?qǐng)鼍暗膲毫z測(cè)需求。
- 響應(yīng)速度快：基于熱傳導(dǎo)原理設(shè)計(jì)，壓力變化時(shí)能快速反饋信號(hào)，響應(yīng)時(shí)間短，可實(shí)時(shí)追蹤真空系統(tǒng)的壓力變化過(guò)程。
- 穩(wěn)定性強(qiáng)：內(nèi)部加熱絲采用高性能合金材料，抗老化、抗腐蝕能力優(yōu)異，長(zhǎng)期使用過(guò)程中性能衰減慢，測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠。
- 安裝適配性好：提供多種接口規(guī)格（如KF16、KF25法蘭接口，M16×1.5螺紋接口等），可靈活適配不同類型的真空設(shè)備，安裝操作簡(jiǎn)便。
- 性價(jià)比高：相較于其他類型真空規(guī)管，皮拉尼規(guī)管的制造成本更低，維護(hù)簡(jiǎn)單，使用壽命長(zhǎng)，在中低真空測(cè)量領(lǐng)域具有較高的性價(jià)比。
- 兼容性廣：可適配市面主流品牌的真空計(jì)設(shè)備，信號(hào)輸出符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，無(wú)需額外定制適配組件，降低設(shè)備升級(jí)或替換成本。
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