ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量原理：皮拉尼（Pirani）+ 電阻（熱陰極電離）復(fù)合規(guī)，覆蓋中低真空至高真空范圍
- 測量范圍：1×105 Pa ~ 1×10-4 Pa（皮拉尼段）；1×10-1 Pa ~ 1×10-7 Pa（電阻規(guī)段）
- 工作電壓：加熱絲供電 DC 6.3 V（或 AC 6.3 V），燈絲電流 ≤ 50 mA
- 發(fā)射電流：電阻規(guī)段 0~100 μA（可調(diào)），皮拉尼段無發(fā)射電流需求
- 輸出信號：模擬電壓 0~10 V（線性對應(yīng)壓力），或可選 4~20 mA 電流輸出
- 精度等級：±15%（全量程，恒溫條件下）
- 重復(fù)性：≤ ±5%
- 響應(yīng)時間：≤ 2 s（皮拉尼段），≤ 1 s（電阻規(guī)段）
- 工作溫度：規(guī)管本體 -20℃ ~ +80℃，環(huán)境相對濕度 ≤ 85% RH（非凝露）
- 烘烤溫度：≤ 150℃（規(guī)管不可超過此溫度，否則損壞敏感元件）
- 接口形式：KF16、KF25、CF35 等標(biāo)準(zhǔn)法蘭（可定制）
- 材質(zhì)：304 不銹鋼殼體，鎢絲加熱體，鎳鉻合金電阻絲（電阻規(guī)段）
- 壽命：≥ 10,000 小時（正常工況下）
產(chǎn)品介紹
上海雙旭 ZJ-52T 真空規(guī)管采用皮拉尼與電阻復(fù)合測量技術(shù)，可在單一規(guī)管內(nèi)實現(xiàn)從大氣壓至超高真空的連續(xù)監(jiān)測。皮拉尼段利用氣體導(dǎo)熱系數(shù)隨壓力變化特性測量中低真空，電阻規(guī)段通過熱陰極電離效應(yīng)檢測高真空，結(jié)合兩種原理消除單規(guī)測量盲區(qū)。適用于科研真空系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造、鍍膜設(shè)備、分析儀器等對寬量程和高可靠性有要求的場景。
規(guī)管內(nèi)部采用耐高溫耐腐蝕不銹鋼結(jié)構(gòu)，適配多種真空法蘭接口，安裝維護(hù)簡便。信號輸出兼容主流真空控制系統(tǒng)，支持直接接入 PLC 或數(shù)采設(shè)備，便于系統(tǒng)集成與自動化監(jiān)控。
使用注意事項
- 安裝前檢查規(guī)管外觀及法蘭密封面，確保無損傷、無污染；安裝時避免機(jī)械沖擊和過度擰緊導(dǎo)致殼體變形。
- 皮拉尼段禁止在高真空（<1×10-2 Pa）長期工作，電阻規(guī)段在大氣或高壓下會迅速燒毀燈絲，需按壓力范圍切換工作狀態(tài)。
- 規(guī)管通電前必須確認(rèn)真空度處于其允許范圍，禁止在大氣狀態(tài)下直接開啟電阻規(guī)加熱電源。
- 規(guī)管烘烤溫度不得超過 150℃，否則會導(dǎo)致加熱絲氧化失效或結(jié)構(gòu)變形；烘烤時需斷開規(guī)管電源并拆除信號線。
- 避免暴露于強(qiáng)電磁干擾、腐蝕性氣體或放射性環(huán)境，防止影響測量準(zhǔn)確性及規(guī)管壽命。
- 定期清潔規(guī)管外部，保持散熱良好；若測量值異常漂移，應(yīng)檢查真空系統(tǒng)泄漏或規(guī)管污染情況，必要時更換。
- 規(guī)管為精密測量元件，運(yùn)輸及儲存時應(yīng)置于防震防潮包裝內(nèi)，避免劇烈振動和高溫高濕環(huán)境。
- 更換規(guī)管時需匹配原系統(tǒng)法蘭規(guī)格與電氣接口，避免因不匹配造成真空泄漏或信號不兼容。
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