ZDF-5210-2 復合真空計
上海雙旭 ZDF-5210-2 復合真空計
產品概述：ZDF-5210-2 復合真空計由上海雙旭電子科技有限公司研制，集成熱偶真空計與電離真空計功能，可覆蓋從大氣壓至超高真空范圍的連續(xù)測量。適用于科研、半導體制造、真空鍍膜、分析儀器等需要寬量程、高精度真空監(jiān)測的場合。
產品參數(shù)
- 測量范圍：熱偶段 1×10⁵ ~ 1×10⁻¹ Pa；電離段 1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁸ Pa（可選擴展至 1×10⁻⁹ Pa）
- 顯示分辨率：熱偶段 0.1 Pa；電離段 0.01 Pa（依量程自動切換）
- 測量精度：熱偶段 ±15% FS；電離段 ±10% RD（在穩(wěn)定條件下）
- 響應時間：≤1 s（熱偶段）；≤2 s（電離段，滿量程變化）
- 控制接口：RS-485/RS-232 可選，支持 Modbus RTU 協(xié)議；模擬輸出 0~5 V / 4~20 mA
- 供電電源：AC 220 V±10%，50 Hz，功耗 ≤30 W
- 工作溫度：0℃ ~ +40℃；存儲溫度 -20℃ ~ +60℃
- 傳感器類型：熱偶規(guī) ZJ-52T（標配），電離規(guī) ZJ-27（標配）/ ZJ-14（選配）
- 安裝方式：面板嵌入式或支架式安裝，適配 DN16~DN35 CF法蘭或KF法蘭
- 防護等級：IP20（室內使用）
功能特點
具備自動量程切換與手動切換模式，支持零點校準與滿度校準；內置過壓保護與反接保護電路；具有真空度超限報警及繼電器觸點輸出；可同時顯示熱偶值與電離值，便于快速判斷系統(tǒng)狀態(tài)；配備大屏 LED/LCD 數(shù)字顯示，讀數(shù)直觀。
使用注意事項
- 安裝前確認系統(tǒng)與真空計測量范圍匹配，避免超量程導致傳感器損壞。
- 電離規(guī)對油污、水汽敏感，必須在潔凈真空環(huán)境下使用，初次啟動或長期停用后需按規(guī)程除氣。
- 熱偶規(guī)不可用于高真空段測量，強磁場環(huán)境會影響熱偶測溫準確性，應遠離電磁干擾源。
- 禁止在壓力高于 1×10⁵ Pa 時開啟電離規(guī)燈絲，否則會燒毀燈絲。
- 進行高壓測試或維修前必須斷開電源，防止電擊及設備損壞。
- 傳感器拆裝需佩戴潔凈手套，避免污染規(guī)管影響測量精度。
- 定期執(zhí)行零點和滿度校準，建議每三個月或在重要工藝前校驗一次。
- 設備應置于通風良好處，避免高溫、潮濕及腐蝕性氣體侵蝕。
- 模擬輸出信號線需采用屏蔽電纜，并做好接地，降低噪聲干擾。
ZDF-5210-2 復合真空計
上海雙旭ZDF-5210-2 復合真空計使用說明
產品概述：ZDF-5210-2 是一款基于電阻式（Pirani）和電離式（熱陰極）傳感器組合的復合真空計，適用于寬量程真空測量。量程范圍通常為10^5 Pa至10^-5 Pa，具體取決于傳感器配置。操作前請確保傳感器清潔且連接正確。
安裝與接線：將電阻規(guī)和電離規(guī)分別連接到真空系統(tǒng)指定接口，避免漏氣。使用配套電纜連接主機與傳感器，注意極性標識。接通電源前，檢查電源電壓（通常為220V AC或110V AC，請參考銘牌）。
操作步驟：1. 啟動電源，等待系統(tǒng)自檢完成。2. 當系統(tǒng)壓強高于10^1 Pa時，僅電阻規(guī)工作，顯示低真空段壓力。3. 當壓強降至10^1 Pa以下且電離規(guī)燈絲加熱后，電離規(guī)自動或手動啟動，切換至高真空測量。4. 定期使用標準氣體校準零點，尤其當測量氣體種類變化時。5. 避免電離規(guī)暴露于高氣壓環(huán)境（>10^1 Pa），否則燈絲易燒毀。
維護與故障提示：常見故障包括“傳感器故障”或“壓力讀數(shù)漂移”。檢查傳感器是否污染（如油蒸汽或顆粒），必要時用酒精清洗電阻規(guī)或更換電離規(guī)燈絲。長時間不用時，關閉電源并保持真空環(huán)境。
上海雙旭ZDF-5210-2 復合真空計優(yōu)點
寬量程覆蓋：復合設計結合電阻規(guī)和電離規(guī)，實現(xiàn)從大氣壓到超高真空的連續(xù)測量，無需切換多個儀表，簡化操作流程。
高精度與穩(wěn)定性：采用數(shù)字信號處理技術，在全量程范圍內提供±0.5%至1%的讀數(shù)精度，且溫度漂移補償設計確保長期穩(wěn)定性。
自動切換與保護：內置邏輯電路自動識別壓力范圍并切換傳感器，同時配合燈絲過流保護，有效防止電離規(guī)因誤操作損壞，延長使用壽命。
易用性與兼容性：配備大屏幕LCD顯示和RS-232/485通訊接口，支持數(shù)據(jù)記錄與遠程監(jiān)控。可適配多種工業(yè)標準真空法蘭（KF25/CF35等），安裝靈活。
經濟性：相比獨立購買電阻計和電離計，此復合方案節(jié)省空間和成本，且模塊化設計便于維修更換，降低長期使用費用。 |
