ZDF-5210-2 復(fù)合真空計
上海雙旭 ZDF-5210-2 復(fù)合真空計
產(chǎn)品概述：ZDF-5210-2 復(fù)合真空計由上海雙旭電子科技有限公司研制，集成熱偶真空計與電離真空計功能，可覆蓋從大氣壓至超高真空范圍的連續(xù)測量。適用于科研、半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析儀器等需要寬量程、高精度真空監(jiān)測的場合。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：熱偶段 1×10⁵ ~ 1×10⁻¹ Pa；電離段 1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁸ Pa（可選擴展至 1×10⁻⁹ Pa）
- 顯示分辨率：熱偶段 0.1 Pa；電離段 0.01 Pa（依量程自動切換）
- 測量精度：熱偶段 ±15% FS；電離段 ±10% RD（在穩(wěn)定條件下）
- 響應(yīng)時間：≤1 s（熱偶段）；≤2 s（電離段，滿量程變化）
- 控制接口：RS-485/RS-232 可選，支持 Modbus RTU 協(xié)議；模擬輸出 0~5 V / 4~20 mA
- 供電電源：AC 220 V±10%，50 Hz，功耗 ≤30 W
- 工作溫度：0℃ ~ +40℃；存儲溫度 -20℃ ~ +60℃
- 傳感器類型：熱偶規(guī) ZJ-52T（標(biāo)配），電離規(guī) ZJ-27（標(biāo)配）/ ZJ-14（選配）
- 安裝方式：面板嵌入式或支架式安裝，適配 DN16~DN35 CF法蘭或KF法蘭
- 防護等級：IP20（室內(nèi)使用）
功能特點
具備自動量程切換與手動切換模式，支持零點校準(zhǔn)與滿度校準(zhǔn)；內(nèi)置過壓保護與反接保護電路；具有真空度超限報警及繼電器觸點輸出；可同時顯示熱偶值與電離值，便于快速判斷系統(tǒng)狀態(tài)；配備大屏 LED/LCD 數(shù)字顯示，讀數(shù)直觀。
使用注意事項
- 安裝前確認(rèn)系統(tǒng)與真空計測量范圍匹配，避免超量程導(dǎo)致傳感器損壞。
- 電離規(guī)對油污、水汽敏感，必須在潔凈真空環(huán)境下使用，初次啟動或長期停用后需按規(guī)程除氣。
- 熱偶規(guī)不可用于高真空段測量，強磁場環(huán)境會影響熱偶測溫準(zhǔn)確性，應(yīng)遠(yuǎn)離電磁干擾源。
- 禁止在壓力高于 1×10⁵ Pa 時開啟電離規(guī)燈絲，否則會燒毀燈絲。
- 進行高壓測試或維修前必須斷開電源，防止電擊及設(shè)備損壞。
- 傳感器拆裝需佩戴潔凈手套，避免污染規(guī)管影響測量精度。
- 定期執(zhí)行零點和滿度校準(zhǔn)，建議每三個月或在重要工藝前校驗一次。
- 設(shè)備應(yīng)置于通風(fēng)良好處，避免高溫、潮濕及腐蝕性氣體侵蝕。
- 模擬輸出信號線需采用屏蔽電纜，并做好接地，降低噪聲干擾。
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