ZJ-51 熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）
上海雙旭 ZJ-51 熱偶規(guī)管（真空規(guī)管）介紹
產(chǎn)品概述：ZJ-51 熱偶規(guī)管為上海雙旭電子有限公司生產(chǎn)的真空測量元件，基于熱偶真空計原理，利用氣體熱傳導(dǎo)隨壓力變化的特性實現(xiàn)真空度檢測。適用于中低真空范圍（10⁻¹～10³ Pa），廣泛用于科研、工業(yè)真空系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、真空爐等場合。
產(chǎn)品參數(shù)
- 測量范圍：1×10³ Pa ～ 1×10⁻¹ Pa（部分型號可擴(kuò)展至 5×10³ Pa）
- 工作電壓：AC 220V ±10%（加熱絲供電由配套控制器提供）
- 加熱絲工作電流：約 90 mA（依控制器設(shè)定）
- 熱偶材料：鎳鉻-鎳硅（K型）
- 規(guī)管接口：Ф15.5mm CF法蘭 / KF16快接（可選）
- 耐壓強(qiáng)度：≥ 0.2 MPa（對大氣）
- 響應(yīng)時間：T90 ≤ 3 s（從大氣壓到 10⁻¹ Pa）
- 環(huán)境溫度：5℃～40℃
- 環(huán)境濕度：≤ 85% RH（無凝露）
- 外形尺寸：約 Φ18 mm × 長度 70 mm（不含法蘭）
- 重量：約 50 g
工作原理
熱偶規(guī)管內(nèi)有一根細(xì)鎢絲或鉑絲作為加熱體，通電加熱后保持恒定溫度；同時焊接一對熱電偶測量加熱絲溫度。氣體壓力降低時，氣體分子帶走的熱量減少，加熱絲溫度升高，熱電偶熱電勢隨之變化。通過測量該熱電勢即可換算出當(dāng)前真空度。此方式適合連續(xù)監(jiān)測中低真空，線性度與氣體種類有關(guān)。
使用注意事項
- 禁止在高壓氣體沖擊或爆炸性氣氛中使用，避免規(guī)管瞬間過載損壞。
- 不可暴露于油蒸氣或腐蝕性氣體環(huán)境，防止加熱絲及熱偶氧化、腐蝕失效。
- 安裝時需保證密封可靠，法蘭面清潔無顆粒，密封圈完好，防止漏氣影響測量。
- 通電前確保真空度不低于 10³ Pa，否則加熱絲易燒毀（大氣狀態(tài)下電流過大）。
- 更換規(guī)管應(yīng)在真空系統(tǒng)泄壓并斷電后進(jìn)行，避免空氣進(jìn)入高溫規(guī)管導(dǎo)致炸裂。
- 規(guī)管長期使用會產(chǎn)生老化漂移，建議定期校準(zhǔn)或更換，保持測量精度。
- 避免機(jī)械振動和撞擊，以免內(nèi)部結(jié)構(gòu)松動或斷裂。
- 不同氣體種類會影響測量值，需按實際氣體類型修正或使用專用標(biāo)定曲線。
- 與控制器匹配使用時，需確認(rèn)供電與控制信號規(guī)格一致，防止過流損壞規(guī)管。
適用范圍與特點(diǎn)
ZJ-51 結(jié)構(gòu)緊湊、響應(yīng)較快、穩(wěn)定性較好，適合嵌入各類真空腔體作過程監(jiān)控。采用標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口，兼容性強(qiáng)。不足在于僅適用于中低真空且受氣體成分影響較大，不能用于高真空（＜10⁻² Pa）測量，此類工況應(yīng)選用電離規(guī)或其他高真空規(guī)管。 |
