MX61L / MX61半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡陜西省延安市支持國(guó)貨
USPM-RU III鏡片反射率測(cè)定儀
USPM-RU III反射儀可精確測(cè)量當(dāng)前分光儀無(wú)法測(cè)量的微小、超薄樣本的光譜反射率，不會(huì)與樣本背面的反射光產(chǎn)生干涉。 是最適合測(cè)量曲面反射率、鍍膜評(píng)價(jià)、微小部品的反射率測(cè)定系統(tǒng)。用物鏡對(duì)焦于樣本表面的微小光斑（?60 μm），可以測(cè)定鏡片曲面及鍍膜層是否均勻。
1、采用特殊光學(xué)系統(tǒng)，消除背面反射光。
2、不必進(jìn)行背面的防反射處理，可正確測(cè)定表面的反射率。
MX61L / MX61半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡陜西省延安市支持國(guó)貨
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MX61L / MX61半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡陜西省延安市支持國(guó)貨
上海雙旭 MX61L / MX61 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 產(chǎn)品使用說(shuō)明
支持國(guó)貨 - 陜西省延安市專供版本
一、產(chǎn)品使用說(shuō)明
1. 開(kāi)箱與安裝：
開(kāi)箱后檢查主機(jī)、物鏡組、目鏡、LED光源及電源線是否齊全。將顯微鏡置于穩(wěn)定防震臺(tái)面，連接電源并啟動(dòng)LED照明。旋轉(zhuǎn)物鏡轉(zhuǎn)換器至低倍物鏡（如5X），調(diào)節(jié)粗調(diào)焦旋鈕使物鏡接近樣品，再通過(guò)微調(diào)旋鈕清晰對(duì)焦。
— 注意：FPD檢測(cè)時(shí)使用傾斜照明模式；半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)需開(kāi)啟暗場(chǎng)或DIC（微分干涉）模塊。
2. 操作步驟：
- 放置樣品：將晶圓或FPD基板放置于載物臺(tái)，使用真空吸附或機(jī)械夾固定。
- 調(diào)整光源：MX61系列采用高輝度LED，無(wú)頻閃。通過(guò)面板按鈕切換明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光模式。
- 對(duì)焦與觀察：先用粗調(diào)找到樣品表面，再用微調(diào)精細(xì)對(duì)焦。目鏡可調(diào)節(jié)屈光度以適應(yīng)不同視力。
- 圖像采集（選配）：連接CCD相機(jī)或C-mount接口，使用配套軟件記錄檢測(cè)結(jié)果。
— 使用后關(guān)閉電源，蓋防塵罩。
3. 維護(hù)與保養(yǎng)：
- 物鏡與目鏡清潔用專用擦鏡紙。
- 定期檢查導(dǎo)軌潤(rùn)滑狀態(tài)。
- 避免在高溫高濕或粉塵環(huán)境使用。
二、產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)（支持國(guó)貨 - 延安市專用說(shuō)明）
1. 國(guó)產(chǎn)高精度光學(xué)系統(tǒng)：
采用上海雙旭自主設(shè)計(jì)的復(fù)消色差物鏡，分辨率達(dá)0.3μm（NA 0.9），適用于6英寸晶圓和大型FPD基板缺陷檢測(cè)。對(duì)比進(jìn)口品牌，同等性能下成本降低40%以上，符合國(guó)家“國(guó)產(chǎn)替代”政策導(dǎo)向，尤其適合延安本地半導(dǎo)體和光電企業(yè)采購(gòu)。
2. 模塊化與定制化：
MX61L專為大型FPD面板設(shè)計(jì)，載物臺(tái)行程達(dá)300x300mm；MX61標(biāo)準(zhǔn)版支持半導(dǎo)體晶圓自動(dòng)尋邊。可加裝紅外觀察、激光標(biāo)記等功能。全模塊均國(guó)產(chǎn)化，售后響應(yīng)小于24小時(shí)（延安地區(qū)有省級(jí)代理服務(wù)點(diǎn)）。
3. 操作簡(jiǎn)便且節(jié)能：
全觸控面板和智能調(diào)焦輔助系統(tǒng)，培訓(xùn)周期僅1天。LED光源壽命超過(guò)50,000小時(shí)，功耗僅30W，適合延安高能耗管控要求。支持多用戶密碼保護(hù)，符合企業(yè)數(shù)據(jù)安全標(biāo)準(zhǔn)。
4. 政策與供貨優(yōu)勢(shì)：
該型號(hào)已列入陜西省高端裝備國(guó)產(chǎn)化推薦目錄，在延安市采購(gòu)可享受15%稅收減免。本地化備件倉(cāng)覆蓋了西北地區(qū)，供貨周期比進(jìn)口機(jī)型縮短60%。
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