ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）
### 上海雙旭ZJ-52T 真空規(guī)管（皮拉尼規(guī)/電阻規(guī)）介紹
ZJ-52T是上海雙旭推出的一款皮拉尼式真空規(guī)管（又稱(chēng)電阻規(guī)），基于熱傳導(dǎo)原理實(shí)現(xiàn)真空度測(cè)量，廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、真空干燥、半導(dǎo)體制造、真空冶金等工業(yè)及科研領(lǐng)域，可精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)低真空到高真空范圍的壓強(qiáng)變化，為真空系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行提供可靠數(shù)據(jù)支撐。
#### 核心產(chǎn)品參數(shù)
1. **測(cè)量范圍**：1×10⁵Pa～1×10⁻¹Pa，覆蓋粗真空到高真空區(qū)間，滿(mǎn)足多數(shù)真空應(yīng)用場(chǎng)景的壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)需求；
2. **規(guī)管類(lèi)型**：皮拉尼電阻規(guī)，采用金屬絲熱敏元件，通過(guò)熱敏電阻值隨氣體熱傳導(dǎo)變化的特性實(shí)現(xiàn)真空度檢測(cè)；
3. **工作電壓**：適配配套真空計(jì)的供電要求，通常為直流或交流激勵(lì)電壓（具體以配套設(shè)備參數(shù)為準(zhǔn)）；
4. **規(guī)管材質(zhì)**：外殼采用不銹鋼材質(zhì)，具備良好的耐腐蝕性和密封性，適配復(fù)雜工業(yè)環(huán)境；熱敏元件選用高穩(wěn)定性金屬合金，確保長(zhǎng)期測(cè)量精度；
5. **連接方式**：采用KF16快裝法蘭接口，安裝便捷，密封性能優(yōu)異，可快速對(duì)接真空系統(tǒng)；
6. **響應(yīng)時(shí)間**：≤3s，能夠快速反饋真空系統(tǒng)內(nèi)壓強(qiáng)變化，保障過(guò)程控制的及時(shí)性；
7. **工作溫度**：環(huán)境溫度范圍-10℃～50℃，規(guī)管本體可承受最高150℃的烘烤溫度，滿(mǎn)足真空系統(tǒng)的除氣烘烤需求。
#### 使用注意事項(xiàng)
1. **安裝規(guī)范**：安裝時(shí)需保證規(guī)管接口與真空系統(tǒng)的密封可靠性，避免漏氣影響測(cè)量精度；規(guī)管應(yīng)垂直或水平安裝，避免熱敏元件受外力損壞，安裝前需清潔接口表面，去除雜質(zhì)；
2. **烘烤要求**：對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行烘烤除氣時(shí)，烘烤溫度不得超過(guò)規(guī)管允許的最高烘烤溫度，且需在烘烤前斷開(kāi)規(guī)管與真空計(jì)的電氣連接，防止高溫?fù)p壞電路元件；烘烤后需待規(guī)管冷卻至室溫再恢復(fù)供電測(cè)量；
3. **污染防護(hù)**：避免規(guī)管接觸腐蝕性氣體、粉塵或油污，防止熱敏元件被污染導(dǎo)致熱傳導(dǎo)特性變化，進(jìn)而影響測(cè)量精度；若規(guī)管被污染，需按照說(shuō)明書(shū)進(jìn)行清潔或更換；
4. **供電匹配**：規(guī)管需與配套的真空計(jì)設(shè)備搭配使用，不得隨意更換非適配的真空計(jì)，防止因供電參數(shù)不匹配損壞熱敏元件；
5. **校準(zhǔn)維護(hù)**：長(zhǎng)期使用后，規(guī)管測(cè)量精度可能出現(xiàn)漂移，建議每1-2年進(jìn)行一次校準(zhǔn)，校準(zhǔn)需由專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)或使用標(biāo)準(zhǔn)真空系統(tǒng)完成；日常使用中定期檢查規(guī)管接口密封性和電氣連接情況；
6. **停機(jī)操作**：真空系統(tǒng)停機(jī)前，需先關(guān)閉規(guī)管供電，待系統(tǒng)內(nèi)壓強(qiáng)恢復(fù)至大氣壓后再拆卸規(guī)管，避免大氣壓快速?zèng)_擊損壞熱敏元件；
7. **特殊環(huán)境**：在含有易燃易爆氣體的環(huán)境中使用時(shí)，需確保真空系統(tǒng)完全置換后再接入規(guī)管，防止發(fā)生安全事故；避免規(guī)管直接接觸液體或劇烈震動(dòng)，保障元件穩(wěn)定性。 |
